BRONZE
BRONZE 등급의 판매자 자료

[반도체공정]산화공정

반도체 공정중 산화공정에 대한 기초를 공부하기 위해서 대학교에서 배운 내용을 바탕으로 정리 해놓았습니다.
5 페이지
한컴오피스
최초등록일 2005.06.29 최종저작일 2005.06
5P 미리보기
[반도체공정]산화공정
  • 미리보기

    소개

    반도체 공정중 산화공정에 대한 기초를 공부하기 위해서 대학교에서 배운 내용을 바탕으로 정리 해놓았습니다.

    목차

    화학공학의 응용- 반도체 제조공정
    반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 산화(oxidation) 공정

    본문내용

    전기적으로 부도체인 산화막 층은 반도체 소자에 있어 게이트 산화층(gate oxide), 필드 산화층(field oxide), 축전기 산화층(capacitor oxide), 자동정렬 마스크(self-aligned mask), 표면 보호막(surface passivation film), 층간 절연막(interlayer dielectric) 등 매우 다양한 용도로 사용되고 있다. 실리콘 IC가 현재의 인기를 누리게 된 주된 이유 중의 하나도 실리콘이 손쉽게 양질의 산화규소(SiO2) 층을 형성할 수 있다는 데 있다. 실리콘 위에 SiO2 층을 형성시키는 방법은 여러 가지가 있는데, 이들은 열 산화(thermal oxidation)법, 화학기상증착(chemical vapor deposition; CVD)법, 그리고 전기화학적 산화(electrochemical oxidation; anodization)법 등이다. 이중 본 절에서는 열 산화법에 대해 소개하기로 한다.
    열 산화법은 산화층 내부와 SiO2/Si 계면에 결함을 거의 생성시키지 않는 방법으로서 우수한 특성의 절연막을 형성시킬 수 있는 기술이다. 이 기술은 산화 반응에 사용되는 기체의 종류에 따라 건식 산화(dry oxidation)법과 습식 산화(wet oxidation)법으로 구분되는데, 반응기체로 순수한 산소를 사용하는 경우를 건식 산화라 하고, 산소와 수증기의 혼합물을 사용하는 경우를 습식 산화라 한다.
    열 산화 공정은 일반적으로 수평 원통형 전기로 반응기에서 진행되고, 이때 반응기 시스템은 크게 네 부분 즉, 반응 기체들을 보관하고 공급해 주는 원료기체 캐비넷(gas source cabinet), 전원 공급장치와 석영반응기, 열전쌍(thermocouples), 가열코일 등을 포함하고 있는 전기로 캐비넷(furnace cabinet), 웨이퍼를 공급해 주는 공급 준비실(load station), 그리고 컴퓨터 제어기(computer controller)로 구성된다. 현재 실리콘 IC의 제조에 많이 사용되고 있는 산화 반응기들은 8인치 웨이퍼를 한꺼번에 200장까지 처리할 수 있는 능력을 가지고 있다.

    참고자료

    · 없음
  • 자료후기

      Ai 리뷰
      이 자료는 깊이 있는 내용과 함께 과제에 적용 가능한 내용이 많아 도움이 되었습니다. 과제에 바로 활용할 수 있어 매우 만족스러웠습니다. 감사합니다.
    • 자주묻는질문의 답변을 확인해 주세요

      해피캠퍼스 FAQ 더보기

      꼭 알아주세요

      • 자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
        자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
        저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.
      • 해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.
        파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
        파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

    함께 구매한 자료도 확인해 보세요!

    찾으시던 자료가 아닌가요?

    지금 보는 자료와 연관되어 있어요!
    왼쪽 화살표
    오른쪽 화살표
    문서 초안을 생성해주는 EasyAI
    안녕하세요. 해피캠퍼스의 방대한 자료 중에서 선별하여 당신만의 초안을 만들어주는 EasyAI 입니다.
    저는 아래와 같이 작업을 도와드립니다.
    - 주제만 입력하면 목차부터 본문내용까지 자동 생성해 드립니다.
    - 장문의 콘텐츠를 쉽고 빠르게 작성해 드립니다.
    - 스토어에서 무료 캐시를 계정별로 1회 발급 받을 수 있습니다. 지금 바로 체험해 보세요!
    이런 주제들을 입력해 보세요.
    - 유아에게 적합한 문학작품의 기준과 특성
    - 한국인의 가치관 중에서 정신적 가치관을 이루는 것들을 문화적 문법으로 정리하고, 현대한국사회에서 일어나는 사건과 사고를 비교하여 자신의 의견으로 기술하세요
    - 작별인사 독후감
    해캠 AI 챗봇과 대화하기
    챗봇으로 간편하게 상담해보세요.
    2025년 07월 28일 월요일
    AI 챗봇
    안녕하세요. 해피캠퍼스 AI 챗봇입니다. 무엇이 궁금하신가요?
    6:32 오전