[반도체공학]플라즈마

소개

플라즈마에 대하여 대학교에서 배운 내용을 정리 해놓았습니다.

목차

1. 플라즈마란?

2. 플라즈마의 생성 / 구조와 그에 따른 성질

3. DC에서의 플라즈마 / RF에서의 플라즈마

4. 플라즈마의 application

5. 용어정리

본문내용

신소재 합성 - 종래의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 형태로 얻어지고 있으며, 이종 기판상 단결정 다이아몬드 성장이 가능해 질 경우 극한 상황에서도 동작하는 반도체 소자나 청색 발광 다이아몬드 등과 같은 획기적인 이용분야가 전개될 전망이다..
금속 표면처리 - 금속 표면에 TiN/C, CrN/C, AlN 등과 같은 초경 피막을 코팅함으로써 표면의 내마모, 내부식 성질을 개선할 수 있다. 플라즈마를 이용한 증착법을 쓸 경우 부착력이 좋고, 증착 온도가 낮아질 수 있어서, 종래의 방법에서와 같이 증착시 기판의 고온 가열이 필요하여 이에 수반되는 모재의 변형, 변성을 줄일 수 있는 등의 장점이 있기 때문에 플라즈마를 이용한 초경피막 기술 등이 산업체에서 쓰여지기 시작하고 있다.
환경 정화 - 전자빔이나 글로 방전 플라즈마를 이용하여 공장의 배기 가스 중 NOx, SOx를 제거하는 건식 처리 기술은 환경분야에서도 플라즈마가 중요히 쓰여짐을 보여준다.
이밖에 최근에는 차세대 고선명 텔레비전에서 요구되는 대화면(50인치) 평판 표시장치의 하나인 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel)에 대한 연구가 수해오디고 있고, 장기적으로는 21세기에 들어 요구되는 에너지, 신재료, 반도체 소자 제조, 환경분야 등에서 플라즈마의 이용이 점점 더 늘어날 전망으로 있으며, 이에 따라 다양한 플라즈마의 생성 및 제어, 측정 기술, 플라즈마의 물성을 측정하는 플라즈마 진단법의 개발이 이루어질 것으로 전망된다.

참고자료

· 없음