진공의 이해

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2018.06.10
최종 저작일
2018.06
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소개글

진공의 이해

목차

1. 진공이란
2. 진공의 단위 및 분류
3. 증착 장비
4. Magnetron Sputtering
5. 플라즈마 기초 및 응용분야
6. 플라즈마란?
7. 상태 안정
8. 플라즈마
9. 플라즈마 적용
10. 플라즈마응용 표면차리기술
11. 진공증착
12. 물리적 증착- Sputtering
13. Sputtering
14. Evaporation
15. 플라즈마 기술의 장래성
16. 플라즈마 산업기술
17. 세계시장 현황 및 전망
18. 일반 진공 이론
19. 진공장치 구성(스퍼터링)
20. 진공장치
21. 고진공 pump
22. 저진공 pump
23. 증착용 전원 부품
24. 진공 Gauge
25. 진공 Component

본문내용

진공이란
• 라틴어 “Vacua”에서 유래
• 이상적인 진공 상태: 기체(물질)가 없는 공간 상태 (0기압)
• “대기압보다 낮은 상태의 압력” (ISO,AVS 규정)
- 분자 밀도: 2.5× 1019 분자/㎤
• 진공의 필요성
- 깨끗한 환경 제공: 불순물, 산화물 제거 등
- 적절한 환경 제공: TV모니터, 입자 가속기 등 적정 진공도 필요
- 진공 특성 이용: 진공청소기, 진공 보온병 등

<중 략>

플라즈마란?
▪ 플라즈마는 고체, 액체, 기체에 이어 이온화된 제4의 신물질
▪ 플라즈마는 우주의 95%를 차지함
▪ 플라즈마는 중성기체, 이온 및 전자의 집합체로 비평형상태로 존재
▪ 플라즈마는 핵융합 발전연구에 활용되는 초고온 플라즈마와 산업용으로 활용되고 있는 수만-수십만도의 저온 플라즈마 2가지로 크게 분류됨

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