[박막] PECVD에 대하여

소개글

ㅎㅎ

목차

1. Introduction

2. CVD

3. APCVD

4. LPCVD

5. PECVD

6. PLC Process

본문내용

(1) 반응기 벽의 온도에 의한 분류
- HOT WALL CVD : 주기적인 CLEANING 필요
- COLD WALL CVD : 냉각 장치 필요
(2) 반응기 내부의 압력에 의한 분류
- APCVD (Atmospheric Pressure CVD) : 대기압 (1 atm)
- LPCVD (Low Pressure CVD) : 수십 mTorr~ 수십 Torr
(3) 활성화 에너지 공급방법에 의한 분류
- Thermal CVD : resistance heating or rf induction heating
- PECVD (Plasma Enhanced CVD) : rf(13.56MHz) or microwave(2.45GHz)
- PCVD (Photo-assisted CVD) : UV LAMP, IR LAMP- LCVD (LASER-assisted CVD) : LASER

참고 자료

없음