반도체 제조 공정

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-쿼치 (석영유리) 란?
석영유리는 순수한 규리로 이우러진 유리이다.
석영유리는 불순물이 수백 ppm 이하인 고순도의 규산을 고온에서 용융하여 제조한 유리이다.
일반적으로 천영광물 형태로 존재하는 순수한 규산 광물을 석영이라하고, 이들 중 투명한 결정을 수정이라고 하는데 인위적으로 제조하고 있는 석영유리와 구분할 수 있다.
석영유리는 연화온도가 1600도 이상이며, 열팽창 계수도 5.5 정도로 열출격저항이 우수하여 열선보호관, 이화학기구, 특수 조명용관으로 사용되고 있다. 이외에도 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 운반하는 기구로도 사용되고 있다.

3.라소그래피 공정
노광공정(진도엥 매우 민감)이로고도 하며 설계한 회로패턴을 웨이퍼로 옮기는 기술이다.
산화공정을 마친 웨이퍼위에 감광액을 떨어트리고 고속으로 회전시켜 감광박을 도포한다. 막이 형성된 웨이퍼를 노광장치에 고정한 후 패턴이 새겨진 마스크를 대고 자외선에 노출시키면 현상과정을 거쳐 감광막에 패턴이 형성된다.

참고 자료

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