반도체 제조 공정 및 실습 PPT

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2016.11.21
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목차

1. 반도체 제조 공정 및 실습
2. 실습결과 및 고찰(α-Step, 반사율)
3. 실습결과 및 고찰(접촉각)

본문내용

실습결과 및 고찰(α-Step, 반사율)
- Nano Scale의 박막
① 박막이 너무 얇을 경우 Si 기판의 반사율에 영향을 받으며 W의 반사율에 비해 높은 값을 나오는 것으로 예상
(Si의 경우 Polished Si 이기 때문에 반사율↑)

② 박막두께가 반사율에 영향을 미침

참고 자료

없음

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