"스퍼터"의 검색결과 입니다.

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sputtering 금코팅 sputtering 투명전극 스퍼터링 dc 스퍼터 장비 IGZO 반도체 공정 식각공정 진공펌프

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"스퍼터" 검색결과 41-60 / 285건

RF/DC 마그네트론 스퍼터로 제조한 NiInZnO/Ag/NiInZnO 다층박막의 Ag 금속 삽입층 두께 변화에 따른 특성 연구 (A Study on the Characteristics of NiInZnO/Ag/NiInZnO Multilayer Thin Films Deposited by RF/DC Magnetron Sputter According to the Thickness of Ag Insertion Layer)

대한전기학회 김남호, 김은미, 허기석, 여인선

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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펄스 주파수 및 듀티 사이클이 중간 주파수 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 ZrN 코팅막의 미세구조, 잔류응력 및 기계적 특성에 미치는 영향 (Effect of pulse frequency and duty cycle on microstructure, residual stress and mechanical properties of ZrN coatings deposited by mid-frequency magnetron sputtering)

한국표면공학회 전성용

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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폴리머 기판에 스퍼터법으로 경사 증착한 Cr박막의 특성

한국재료학회 배광진, 최인균, 정은욱, 김동용, 이태용, 조영래

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

한국재료학회 오일권, 윤창모, 장진욱, 김형준

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.10.11 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터 원리와 종류

스퍼터의 원리와 종류*스퍼터의 원리Sputtering은 chamber내에 공급되는 gas cathode에서 발생되는 전자 사이의 충돌로부터 시작된다.그 과정을 보면 진공 c ... 이용가능, 박막의 밀착력 우수단점- 성막 속도가 낮다, 박막이 UV, 전자, 이온 등에 노출되어 가열된다, 성막 조건이 민 감하고 서로 영향을 끼친다.*스퍼터의 종류-DC ... )에서도 스퍼터 증착이 가능하도록 한 장치이다. 자기장(대략 25 G)을 인가해 주면 전자가 나선형 운동을 하기 때문에 더욱 많은 기체 입자를 이온화시킬 수 있어 플라즈마 밀도가 높아질

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.06.30

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스퍼터 조건에 따라 TiO2/Ag 계 박막의 결정구조 및 광학특성

한국재료학회 차영원, 이경준, 김영환

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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롤투롤 스퍼터 시스템을 이용하여 PET 기판위에 성막 시킨 ITO 박막의 특성 연구

한국재료학회 조성우, 최광혁, 배정혁, 문종민, 정진아, 정순욱, 박노진, 김한기

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| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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In-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성

한국재료학회 구대영, 김원목, 조상무, 황만수, 이인규, 정병기, 이택성, 이경석, 조성훈

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| 논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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롤투롤 스퍼터를 이용하여 PET 기판 위에 제조된 ITO 박막의 색도(b*) 및 투과도 연구

한국재료학회 서성만, 강보갑, 김후식, 임우택, 최식영

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| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제작한 MGZO 박막의 구조적 및 전기적, 광학적 특성에 미치는 스퍼터링 전력의 영향

한국재료학회 김인영, 신승욱, 김민성, 윤재호, 허기석, 정채환, 문종하, 이정용, 김진혁

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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RF 마그네트론 스퍼터로 증착된 In2O3 박막의 질소분위기 열처리에 따른 특성변화

한국재료학회 공영민, 이영진, 허성보, 이학민, 서민수, 김유성, 김대일

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| 논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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ICP 스퍼터를 이용한 TMR 소자 제작에서 절연막의 플라즈마 산화시간에 따른 미세구조 및 자기적 특성 변화

한국재료학회 이영민, 송오성

Non-Ai HUMAN
| 논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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DC Magnetron Sputtering 법에 의해 ATO 박막 제조시 스퍼터전력 및 산소유량이 전기적 성질에 미치는 영향

한국재료학회 이환수, 이환수, 이혜용, 윤천

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| 논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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Transfer Matrix를 사용하여 예측한 TiO2/Ag/TiO2 박막의 광학적 성질 및 스퍼터 증착된 박막과의 특성 비교

한국재료학회 김진일, 김진현, 김영환, 오태성

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| 논문 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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스퍼터를 활용한 자성박막 증착(결과)

재공 실험 4 결과 Report스퍼터를 활용한 자성박막 증착임 상호 교수님1. 자성에 의한 물질의 분류는 어떻게 이루어지는지 간단히 설명하세요.자성이란, 물질이 나타내는 자기적인

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| 리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.04.23

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Effect of Annealing on a-Si:H Thin Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering (RF 스퍼터를 이용하여 제작된 a-Si:H 박막의 어닐링 효과에 관한 연구)

한국재료학회 Kim, Do-Yun, Kim, In-Soo, Choi, Se-Young

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| 논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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[반도체 관련 장비] 스퍼터 원리와 DC,RF 스퍼터

스퍼터 증착(Sputter deposition)(1) 스퍼터링의 정의스퍼터링은 높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해 타겟(target)이라고 불리워지는 물질의 표면 ... 에도 SiO2와 같은 비전도성 물질의 증착에도 사용할 수 있다. 이러한 스퍼터링의 장단점을 표 1에 나타내었다.일반적으로 스퍼터 공정은 먼저 이온들이 생성되어 타겟쪽으로 이동을 하

Non-Ai HUMAN
| 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.06

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반도체 공정 term project

하며, 전압과 전류와의 관계는 기체의 압력이 결정한다. 스퍼터되는 속도는 target에 충돌하는 이온(중성 원자)의 개수 및 에너지와 sputter yield에 의하여 결정 ... 된다. 이온 에너지는 전압에 의존하기 때문에 결국 스퍼터 속도는 sheath voltage에 의존하게 된다. Glow discharge가 유지되기 위해서는 0.1 ∼ 2.0 mA/cm2 ... target의 면적이 작으면 작을수록 전압 강하가 많아져 큰 음의 self-bias가 걸린다는 것을 의미한다.Sputter System1.스퍼터 장비 정의:반도체, 플라스틱, 섬유

리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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Effect of Intermediate Metal on the Methanol Gas Sensitivity of ITO Thin Films (Effect of Intermediate Metal on the Methanol Gas Sensitivity of ITO Thin Films)

한국진공학회 이학민, 허성보, 공영민, 김대일

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.12 | 수정일 2025.05.09

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유기소재실험2_고분자_박막_제조

레벨의 입자가 큰 에너지를 갖고 고체와 충돌할 때에 고체를 이루는 원자가 외부로 튀어나가는 현상을 스퍼터링 또는 스퍼터라고 부른다. 스퍼터링에 튀어나간 원자를 기판위에 퇴적시켜 박막

리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2023.08.31

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