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sputtering 금코팅 sputtering 투명전극 스퍼터링 dc 스퍼터 장비 IGZO 반도체 공정 식각공정 진공펌프

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"스퍼터" 검색결과 21-40 / 285건

스퍼터 금속 박막 균일도 예측을 위한 딥러닝 기반 모델 검증 연구 (Verified deep learning-based model research for improved uniformity of sputtered metal thin films)

한국반도체디스플레이기술학회 이은지, 유영준, 변창우, 김진평

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.16 | 수정일 2025.05.10

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스퍼터 장비의 설계 룰을 찾기 위한 Si박막 특성 변화 연구 (A Study on the Change of Si Thin Film Characteristics to Find Design Rules for Sputtering Equipment)

한국반도체디스플레이기술학회 김보영, 강서익

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.23 | 수정일 2025.05.13

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스퍼터용 플라즈마 전원장치의 아크방지를 위한 에너지 회생회로에 대한 연구 (A Study on Energy Recovery Circuit in Sputtering Plasma Power supply for arc Discharge Prevention)

대한전기학회 반정현, 김준석, 한희민

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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버퍼 층을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 Al:ZnO 박막의 성장 (Characterization of Al-Doped ZnO Thin Film Grown on Buffer Layer with RF Magnetron Sputtering Method)

한국진공학회 노영수, 박동희, 김태환, 최지원, 최원국

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.04 | 수정일 2025.03.06

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질소이온 빔 보조 마그네트론 스퍼터로 증착 된 AlN 박막의 물성연구 (A study on the properties of AlN Films deposited with nitrogen ion beam assisted RF magnetron sputtering)

한국열처리공학회 허성보, 이학민, 정철우, 유용주, 김대일, 이병훈, 김민규, 최대한

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.22 | 수정일 2025.05.13

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SnO/Sn 혼합 타겟으로 스퍼터 증착된 SnO 박막의 열처리 효과 (Study of the effect of vacuum annealing on sputtered SnxOy thin films by SnO/Sn composite target)

한국마이크로전자및패키징학회 김철, 조승범, 김성동, 김은경

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 비정질 탄소박막의트라이볼로지 특성에서 CrC 삽입층 효과에 대한 연구 (CrC Interlayer Effect on Tribological Properties of Amorphous Carbon Deposited by UBMS Method)

한국전기전자재료학회 김필중, 박용섭

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.13 | 수정일 2025.05.21

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스퍼터 공정을 이용한 SiZnSnO 산화물 반도체 박막트랜지스터의 증착 온도에 따른 특성 (Effect of Deposition Temperature on the Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistors Fabricated by RF Magnetron Sputtering)

한국전기전자재료학회 고경민, 이상렬

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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RF 스퍼터와 전자빔 조사를 이용한 ITO/Au/ITO 가스센서 제조 및 특성평가 (Fabrication and Characterization of the ITO/Au/ITO Thin Film Gas Sensor by RF Magnetron Sputtering and electron irradiation.)

한국열처리공학회 허성보, 이학민, 김유성, 채주현, 유용주, 김대일

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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단일 복합 타겟으로 스퍼터 코팅된 CIGS 박막의 형성과 열처리에 따른 미세구조 변화 (The Formation of CIGS Thin Films by Sputter Coating Using Single Composite Target and Change of Microstructure with Heat Treatment)

한국표면공학회 송영식, 김종렬

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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비대칭 바이폴라 펄스 스퍼터법으로 증착된 VN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 관한 연구 (Microstructure, Crystal Structure and Mechanical Properties of VN Coatings Using Asymmetric Bipolar Pulsed dc Sputtering)

한국표면공학회 전성용, 정평근

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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롤투롤 스퍼터 시스템을 이용하여 PET 기판위에 성막 시킨 ITO 박막의 특성 연구 (Characteristics of Indium Tin Oxide Films Grown on PET Substrate Grown by Using Roll-to-Roll (R2R) Sputtering System)

한국재료학회 조성우, 최광혁, 배정혁, 문종민, 정진아, 정순옥, 박노진, 김한기

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.23 | 수정일 2025.05.13

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롤투롤 스퍼터를 이용하여 PET 기판 위에 제조된 ITO 박막의 색도(b*) 및 투과도 연구 (Chromaticity (b*) and Transmittance of ITO Thin Films Deposited on PET Substrate by Using Roll-to-Roll Sputter System)

한국재료학회 서성만, 강보갑, 김후식, 임우택, 최식영

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.23 | 수정일 2025.05.13

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DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 나노결정질 TiAlN 코팅막의 물성 비교 연구 (A Comparative Study of Nanocrystalline TiAlN Coatings Fabricated by Direct Current and Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering)

한국세라믹학회 전성용, 김세철

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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고주파 스퍼터타입 이온소스를 이용한 비질량분리형 이온빔증착법에 관한 특성연구 (Fundamental characteristics of non-mass separated ion beam deposition with RF sputter-type ion source)

한국진공학회 임재원, MinoruIsshiki

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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디스플레이 확산 방지층 응용을 위한 비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 질화 티타늄 박막의 특성에 대한 연구 (A Study on Characteristics of TiN Thin Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering Method for the Application of Diffusion Barrier Layers in Displays)

한국전기전자재료학회 박용섭

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.07.11 | 수정일 2025.07.19

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이온빔 전처리가 스퍼터 증착된 Cu 박막과 FR-4 기판 사이의 계면접착력에 미치는 영향 (Effect of Ion-beam Pre-treatment on the Interfacial Adhesion of Sputter-deposited Cu film on FR-4 Substrate)

대한금속·재료학회 민경진, 이기욱, 김재동, 김도근, 이건환, 박영배, 박성철

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.17 | 수정일 2025.05.22

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스퍼터 공정을 이용하여 얇은 글라스 및 두꺼운 플라스틱 기판에 증착된 ITO 투명 전도막의 광학 및 전기적인 특성 분석 (Optical and Electrical Properties of ITO Transparent Conductive Film Deposited on thin Glass and Thick Plastic Substrates using Sputtering Process)

대한전기학회 김경보, 정금관, 김신우, 김무진

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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유도 결합 플라즈마-스퍼터 승화법을 이용한 고분자 전해질 연료전지 분리판용 CrN 박막의 내식성연구 (Anti-corrosion Properties of CrN Thin Films Deposited by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter Sublimation for PEMFC Bipolar Plates)

한국표면공학회 유영군, 주정훈

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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기판 열처리가 롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 터치 패널용 유연 ITO 투명 전극의 특성에 미치는 효과 연구 (Effect of Substrate Preheating on the Characteristics of Flexible and Transparent ITO Electrodes Grown by Roll-to-Roll Sputtering for Touch Panel Applications)

한국전기전자재료학회 김동주, 이원영, 김봉석, 김한기

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.23 | 수정일 2025.05.13

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