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소개

CVD Chemical Vapor Deposition 화학 기상 성장법에 대한 PPT입니다.

목차

◆ CVD란?
◆ 전기전자 소자 제조공정에서 CVD
◆ CVD의 종류
◆ 기타용도의 CVD

본문내용

CVD 란?
Chamical Vapor Deposition
가스상태의 화학반응에서 석출되는 물질로 박막을 성장시키는 방법
용도
금속,세라믹 등에 도금층 형성
IC 생산 공정
광학용 박막
반도체 소자 제조 공정
반도체용 CVD장비
LCD용 CVD장비
** 기타 용도의 CVD
다이아몬드 코팅 기술
공구용
의료용
열발산재료
태양전지의 증착
Cr 코팅
미적 용도
TiC, TiN 코팅
공구용
절삭용
광학용 박막

참고자료

· CVD코팅 기술동향-포항산업과학연구원 부품 신소재연구팀
· 집적회로 공정기술-이종덕(대영사)
· 표면처리공학-김희재(도서출판봉명)
· 반도체 소자 제조공정http://blog.naver.com/gaeggi/100021513982
· 세메스 홈페이지-http://www.semes.co.kr
· AUK 홈페이지-http://www.auk.co.kr
· 주성엔지니어링 홈페이지-http://221.163.10.3/kor/
· 두산 Encyber백과사전
· Pascal 백과사전
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- 최초등록일
  
  2007.10.20
- 최종저작일
  
  2006.09
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