[나노화학실험] CVD 예비보고서 Chemical Vapor Deposition 화학기상증착

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최초 등록일: 2021.06.23
최종 저작일: 2021.06; 6페이지/ 어도비 PDF; 가격 5,000원

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소개글

※ 본 실험보고서는 수기로 작성한 것입니다.
※ 본 보고서는 참고 목적으로 이용이 가능하며, 그대로 복사해 다른 보고서를 작성하는 것을 금지합니다.

1. 실험목적

2. 관련이론
1) 진공(Vacuum)
2) Mean Free Path(평균자유행로)
3) 기체흐름
4) Pump 종류 및 원리
5) Gauage 종류 및 원리
6) CVD(Chemical Vapor Deposition)
7) ALD(Atomic Layer Deposition)
8) PVD(Physical Vapor Deposition)
9) CVD vs PVD vs ALD
10) UV-Visible Spectroscopy
11) 기구 및 시약
12) 실험방법

본문내용

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참고 자료

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ALD 예비보고서 4페이지

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CVD method를 통한 ZnO NWs synthesis 예비보고서[1]. 11페이지

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