(특집) 증착공정 심화 정리4편. 증착공정 中 화학적 반응 공정, 물리적 반응 공정

동동이33
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최초 등록일
2021.11.02
최종 저작일
2021.11
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소개글

(특집) 증착공정 심화 정리4편. 증착공정 中 화학적 반응 공정, 물리적 반응 공정 파일입니다.

총 5편으로 구성되어 있으며 해당 증착공정 공부를 통해 반도체 회사에 입사할 수 있었습니다.
반도체업계 취업준비를 하고 있다면 큰 도움이 되실거에요!

목차

(1) CVD(Chemical Vapor Deposition)
(2) LPCVD{Low Pressure CVD)
(3) PECVD(Plasma Enhanced CVD)
(4) Metal - Organic CVD

본문내용

네번째 시간은 '증착공정 중 화학적 반응 공정과 물리적 반응공정 '에 대해서
개략적으로 소개하겠습니다.
모든 반응공정들이 그렇듯 증착공정(Deposition)의 경우도 화학적 반응과 물리적 반응으로 이루어져 있습니다.

화학적 반응 공정의 경우는 아래 그림처럼 주기율표 상 원소간의 반응을 통해서 이루어지는 공정을 말합니다.
원소가 가지고 있는 전자를 몇개를 가지고 있느냐에 따라 O족 원소라고 부르며 전자의 이동을 통해 원소간에 반응이 일어납니다.
​​
물리적 반응의 경우는 아래 풍선의 그림처럼 작용과 반작용 / 원심력과, 구심력 등의 물리적인 힘에 의해서 반응이 일어나는 경우를 말합니다.

참고 자료

없음
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