[표면처리] 진공펌프

목차

1.진공펌프

2.크라이오펌프
1)구성
2)작동원리

3)오일확산펌프

4.이온펌프

5.분자펌프

6.게이지

7.피라니게이지

8.전리게이지

9.격막게이지

본문내용

진공시스템에 알맞은 펌프를 선택하는 것은 중요하다. 여러 펌프들이 진공 작업에 사용된다. 어떤 펌프는 진공용기로부터 기체를 제거하고, 그 외의 다른 펌프들은 기체를 포착하거나 그들의 형태를 바꾼다. 펌프의 동작 범위는 다르고 일반적으로 한 개의 펌프로 우리가 원하는 진공의 범위를 만들지 못한다. 그러므로 펌프는 다양하게 조합되어 사용한다. 하나의 펌프가 대기로부터 고진공과 초고진공의 범위까지 시스템을 만드는 것은 기대 할 수 없다. 특별한 압력에 도달하고 유지하기 위해 둘 또는 그이상의 펌프가 이용되어져야 한다. 아래 그림에서 볼 수 있듯이 각 형태의 펌프 종류가 유용한 동작범위를 갖는다는 것을 알 수 있다. 고압력에서 어떤 펌프는 동작하지 않고 심지어 시스템을 오염시킬 것이다. 펌프는 그들의 동작 압력 범위내에서 이용되어지면 펌프는 잘 동작한다. 만일 공정 압력과 시스템이 요구하는 기본 압력이 둘 다 러프진공 범위에 있다면 하나의 러프펌프로 충분하다. 아래 그림은 펌프의 전형적인 작동 범위를 나타낸 것으로 그전체의 압력범위는 대기압에서부터torr 이며 펌프는 그 압력범위로 러프펌프, 고진공 펌프, 초 고진공 펌프로 나눌 수 있다.대부분의 터보 펌프의 제조회사에서는 질소 ,헬륨 그리고 수소에 대한 배기 속도 명세서가 주어진다.기체 종류에 따른 배기 속도는 배기되는 분자의 열속도와 로터 날개의 최고 속도의 속도 비율 함수이다. 헬륨과 수소분자들은 450 m/sec 의 질소 분자의 속도와 비교할 때 1000 m/sec 이상의 높은 열속도를 낸다.

참고자료

· 없음