비정질 '진공'

목차

1. 진공 개략도
1) 실험목적
2) 실험과정
3) 실험결과 및 고찰

2. 로터리 펌프(Rotary Pump)
1) 로터리 베인 펌프
2) 로터리 피스톤 펌프
3) 로터리 기어 펌프

3. 확산 펌프(Diffusion Pump)

4. Getter
1) 우수한 게터란?
2) Getter pump

5. 엘링감 도표(ellingham diagram)

6. 공정점 찾는 이유

7. 결론

8. 참고문헌

본문내용

1. 진공 개략도
※ 참고사항
1. 저진공(Rotary Pump)부터 잡아야 된다.
2. Foreline valve와 Roughing valve가 동시에 열려 있으면 안된다.
3. Rotary pump는 대기압에서 10^-3torr까지이며 Chamber의 크기에 따라 Rotary pump의 용량이 달라진다.
4. Diffusion pump는 항상 진공상태를 유지하고 10^-3 ~ 10^-10torr의 범위를 가지며 냉각수가 녹아야 하는 수냉식 펌프라고 한다.
5. Leak valve는 공기가 들어가서 대기압과 같아지기 때문에 작업이 끝난 후 열어준다.
6. Gas system은 Chamber내에 Ar gas를 공급하는 장치이다. 만약 추가로 산소가 질소 등을 넣어야 할 필요가 있다면, 가스의 종류는 많아진다. 그냥 단순히 가스만 연결 시킨게 아니라 MFC(Mass Flow Controller)가 가스종류 한 개 당 하나씩 달려 있다. MFC는 말 그대로 질량 유량계를 뜻하는 것으로 원하는 양의 가스를 정확히 Chamber내에 주입한다. 이 때 가스의 양은 sccm이라는 단위로 들어가게 되는데 sccm은 Standard Cubic Centimeter per Minute를 의미한다.

참고 자료

‘신소재 공학’ 오세동 복두출판사 2014. 02
‘비정질 박막재료와 그의 응용’ 이현용 전남대학교출판부 2003. 11
한국교육학술정보원
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