3-1. AMOLED Tooling 및 진공 기초 report (A0)

소개글

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목차

1. 실험 제목
2. 실험 목표
3. 실험 이론
4. 실험 방법
5. 실험 결과
6. 토의 및 고찰

본문내용

1. 실험 제목
Tooling 및 진공 기초

2. 실험 목표
- 진공의 기본적 이론 이해
- 알파 스텝을 통한 막 두께 측정과 Tolling의 이해

3. 실험 이론
- 진공 ( Vacuum )
진공이란, 물질이 전혀 존재하지 않는 공간을 의미하지만, 실제로는 이렇게 만들기가 어렵기 때문에 1/1000㎜Hg 정도 이하의 저압을 가리킨다. 진공단위에서는 토르(Torr)가 많이 쓰인다.

- 진공의 필요성
극 청정의 환경제공 및 우주에서의 환경제공
압력차에 의한 힘의 발생
입자의 장거리 이동가능
안정된 플라즈마 유지
증발 및 승화작용
생화학 반응 억제
단열효과

- 진공 압력
OLED를 증착할 때는 High vacuum에서 공정을 한다. 왜냐하면 증착을 할 때 Thermal evaporation을 하는데, 그 때 균일한 증착을 위해 High vacuum에서 공정을 한다.

참고 자료

https://www.jove.com/video/56593/production-characterization-vacuum-deposited-organic-light-emitting