Jung-Jae Lee반도체 전체 공정과 그에 따른 장비분류Contents1. Overview1. 연구 목적 2. 반도체 제조장치2. 공정 및 장비 분류1. 전공정 과 장비 2. 후공정 과 장비 3. 검사공정 과 장비 4. AMHS 5. 자동화 관점에서 본 장비 6. 자동화 S/W1. 참고문헌 2. Q A3. 기타1.Overview공정 및 장비 이해 기술 동향 점검 장비제어 요소를 분류 자동화 관점에서의 공정 및 장비 분류 장비 자동화 영역의 S/W 정의 반도체 장비 자동화 시장 조사 수요예측, Target 설정 장비 자동화 제품 개발의 접근 방향을 마련연구 목적반도체 제조 장비2.반도체 제조 공정 및 장비 분류2.1 반도체 전공정 과 장비Lithography반도체 전공정 및 장비회로설계 및 마스크제작전 공정패키징후 공정검사 (Test)웨이퍼 가공 (Fabrication)웨이퍼 제조P/R 도포산화노광현상이온주입CVD금속배선CMPAnnealingCoaterFurnaceStepperDeveloperImplanterCVDSputterCMPRTP식각EtcherP/R제거Asher공정장비반도체 전공정의 분류(공정단위,제조업체 관점)반도체 전공정의 분류(공정기술,장비업체 관점)반도체 전공정의 이해(PPT)반도체 전공정 제조 장비(공정단위,제조업체)반도체 전공정 제조 장비(공정기술,장비업체)반도체 전공정 장비의 이해2.2 반도체 후공정 과 장비Dicing장비반도체 후공정 과 장비Die PreparationLead FinishWafer SawingForming SingulationDie AttachInterconnectionMoldingMarkingTrimmingPackingShipping공정Wafer Mounter 장비Lead Finish 장비Sawing 장비Forming Singulation 장비Bonder (Wire, TAB, Flip Chip)Molding 장비Marking 장비Trimming 장비Packing 장비장비회로설계 및 마스크제작전 공정패키징후 공정검사 (Test)웨이퍼 가공 (Fabrication)웨이퍼 제조반도체 후공정(패키징)반도체 후공정(패키징) 장치2.3 반도체 검사공정 과 장비반도체 검사 공정 과 장비Wafer ProbeElectrical TestBurn-In TestMarkingBake공정ScanProbing 장비Handler Tester환경시험장비Marking 장비Bake 장비장비Scan 장비회로설계 및 마스크제작전 공정패키징후 공정검사 (Test)웨이퍼 가공 (Fabrication)웨이퍼 제조반도체 검사공정반도체 검사장비AMHS2.5 자동화 관점에서 본 반도체 장비반도체 장비 자동화 S/W전공정 장비 제어 S/W챔버 배치형태에 따른 전공정 장비 제어 S/W장비구성 요소에 따른 제어 S/W2.6 자동화 S/W기능별 장비 제어 S/WApplication Frame Work시스템 Integration S/W참고 문헌참고 문헌주요 참고 웹사이트임종성, “반도체 제조장치 입문”, 성안당, 2000 KSIA , “2001 반도체 장비 기술동향”,KSIA, 2001 현대전자 반도체 연구부문, 현대전자 기초 반도체공학(상),현대전자 경영 전략실 , 1998 연합인포맥스 ,“VLSI Research가 11월 30일에 발표한 '04년도 상반기 반도체장비 시장점유율 보고서”, 2004.12 하이닉스, “반도체 기술추이와 Lithography 기술 전망”, 하이닉스, 2003한국반도체산업협회 - http://www.ksia.or.kr 라디언테크 - http://www.semibank.net/ 지엔피텍 - http://www.gnptech.comQ A{nameOfApplication=Show}
법면공사 어떤 것들이 있을까 ? 2018.05.16 / JJLEE v1.0산사태방지대책공법 ( 법면공사 ) 안전율 유지 법 안전율 증가 법 물리역학적 방법 생물화학적 방법 활동력감소법 저항력증가법 배수공 : 침투방지 , 수로 , 암거공 , 지하 : 횡보링공 , 집수정공 , 배수터널 블럭공 : 블럭공법 및 격자블럭예 : 프리케스트 콘크리트 블록 , 연속콘크리트보 피복공 : 시드스프레이 , Texsol , 숏크리트 , 친환경생식 ( 코아네트 , 볏집거적 등과 시드스프레이 결합 ) 표층안정공 : 주입공법 ( 시멘트계 , 시멘트약액계 , 약액계 ), 시멘트크라우트가 쉽고 , 신뢰성 고 절토공 압성토공 : 산사태 우려 자연사면 하단부 성토 앵커공 : Concrete Wall 에 앵커를 박는 공법 , 최근 Soil Nail 철근이나 철봉을 깊이 삽입하여 사면안정 옹벽공 억지말뚝공 : 부동지반까지 말뜩 일렬 설치 ( 강관말뚝 , H 말뚝 , PC 말뚝 , PHC 말뚝 , 마이크로파일 ( 최근 ) 공압분사주입공 침식 / 풍화 대비 산사태방지 ( 법면 ) 대책공법공법 내용 비고 MS Nail 비용 高 , 효과 高 / 보통 Nail( 대나무 Nail, Pipe Nail 등 ) 법면 보호블록 Y 육각면 법면 보호블록 격자블럭 , 육각블럭 , 핀육각블럭 , 수로형격자블럭 , 핀격자블럭 , 계단블럭 , 게다블럭 , i 형블럭 , 교대보호블럭 , 식생블럭 , 호안블럭 , 콘크리트방틀 , 금속수압판 등 삼안기업 ( 법면시공 전문 ) : 왠만한 자료는 다 있음 / 시공방법 등 – 고민하지말고 가보세요 https://m.blog.naver.com/PostList.nhn?blogId=gm5425 코아네트 시드 스프레이 비용 低 , 경사면 30% 이상 효과 低 숏크리트 철망이용 콘크리트 분사 네일공법 네일 + 숏크리트 時 수직법면 효과 高 친환경식생공법 식생토낭 ( 급경사 구간 식생토난 활용 복구 ) -. 돌망태 등 보다 강하다 ? ( 외유내강 !!) Cost 최적 법면 공법 ( 주관적 기준임 ) ※ 옹벽 , L 형측구 , 전석쌓기 등 고비용 일반적 건축공사에서 사용하는 공법제외 , 신재생에너지에 활용가능한 공법 위주로 조사함 . 전석쌓기는 유실의 위험이 있어 상대적으로 시공 시 유의해야 할 공법으로 판단 ( 별도 조사 필요 : 기술 및 cost)MS(Multi-Bar Spring) Nail 공법 - 특징MS(Multi-Bar Spring) Nail 공법 - 시공방법MS(Multi-Bar Spring) Nail 공법 - 사례 헌릉로 확장공사 : 비교 와우고개 조성공사 희망리 잿골 곤지암 리조트MS(Multi-Bar Spring) Nail 공법 - 효과시드스프레이 코아네트 ※ 비용을 줄이기 위한 볏집거적을 시드스프레이와 병행 사용하기도 함숏크리트 + Nail법면보호 블록콘크리트 도로 들어내고 시공할 경우 공사규모가 커져서 부득이 지오그리드를 짧게 설치하고 대신에 억지말뚝 등올 추가 보강한 장명 참조 : https ://m.blog.naver.com/greenteeth/80183868091 톨회스큐 등 3 종의 양생화 등을 시딩 하고 , 6 개월 후 방문하여 확인한 사진 (9 월식생 ) Cf. 붕괴사면 복원한 경우 준공이후 3 회 이상 방문하여 시공구간 및 주변 점검 必 침식사면 식생토낭 복구 사례 시사점 1. 시드 스프레이도 관리하기 나름이다 ? 2. 억지말뚝 등 물리역학적 , 생물 화학적 방법이 항상 답은 아니다 ? 식생토낭 활용하면 저비용 고효과를 누릴 수 있을 듯 … ( 그런데 몇 년갈까 ?) 식생토낭 식생토낭 참조 : http ://www.ecosoilbag.com/catalogue/files/publication.pdf 친환경 식생공법 ( 식생토낭 : Eco Soil Bag) – 사면안정 , 옹벽 , 침식방지 , 녹화 , ...기타 : 입체결합 옹벽블록향후 계획 비용대비 효과가 높은 공법위주로 재 정리 (Cost 및 내역포함 ) 공법 별 시공시 유의사항 기술 ( 전석쌓기 , 시드스프레이 ) 레퍼런스 포함 ( 자체 시공분 ) 계절 / 현장 별 적정 공법 ( 예 : 여름은 … 기술 지향 / 지양 , 경사도 30 도 이상은 … 공법적용 , …) 기존 공법을 변형한 형태 개발 ( 최적 형태의 신공법 개발 : 예 식생토낭 + 식생 / 입체블럭 + Nail 기법 수직형 법면의 경우 ){nameOfApplication=Show}
ESS 현황 및 대응 ( 案 ) 2018.06 JJLEE All rights reserved by JJLEE, 본 문서의 모든 권리는 작성자 개인에게 있으며 무단복제 및 배포를 금합니다 .개요 I ESS 사업 형태 II ESS 구축사례 III 정부정책 및 전망 IV 접근 방안 ( 기술 , 사업 ) V 기타 (Q A, 견적 , 구성 ) VI ESS 현황 및 대응 ( 案 )Photovoltaic Wind Power Plant Proposal ESS 소개 ESS 목적 別 적용대상 ESS 설치현황 기대효과 당사 접근 전략 Overall I1. ESS 소개 ※ 출처 : 효성 ESS 사업소개자료[Back-Up] ESS 소개 ※ 출처 : 에너지관리공단2. ESS 목적 別 적용대상 ( 그래픽 ) + [ 발전소 ] 저감운전 회피로 발전량 증대 ※ 출처 : 효성 ESS 사업소개자료2. ESS 목적 別 적용대상 ( 도표 ) + 저감운전에 따른 발전량 감소 회피 가능 (5% 발전량 증대 可 ) ※ 출처 : 에너지관리공단[Back-Up] ESS 적용 형태 (Benefit) ※ 출처 : 에너지기술연구원[Back-Up] 비상용 예비전원 활용 원전 20 기에 해당하는 비상발전기를 ESS 구축을 통해 비상시 전력운용 안정성 상향 , Peak Saving 을 통한 전력부하 평준화 / 전기료 절감 . ※ 출처 : 노컷뉴스 2011.9.15 정전사태[Back-Up] 신재생 에너지 연계 풍력 , 태양광 등 급격한 출력변동에 따른 전기계통 악영향을 ESS 를 통한 출력변동 완하하여 수용성 향상 , 신재생에너지 연계조건 개선을 통한 신재생 에너지 확대 기여 ※ 출처 : 에너지관리공단 2017[Back-Up] 보조서비스 ( 주파수 조정예비력 ) 제공 수요변동에 따른 주파수 조정을 위한 발전소 감발운전 회피로 약 5% 가량 상향운전통해 발전비용 감소 , 정출력 고품질 전력 제공 可 ※ 출처 : 에너지관리공단 20173. 국내외 적용 현황 □ 국내 ESS 시장 현황 -. ‘17 년 기준 국내주요 배터리 업 철강 , 기계 , 조선 등 ) 중심 수요증가 예상 . ‘8 차 전력계획수급계획 – 경부하중심 수급계획 조정 기본요금할인 (~’20 년 감축량 3 배수 적용 ), 충전요금 할인 (~’20 년 경부하 시간대 50 할인 ) □ 전 세계 ESS 시장 현황 . 미국 , 유력 등 주요국가 정책지원 확대로 ’17 년 1.2GW ’24 년 9.7GW 예상 ( 전력망 안정성 확보 목적 ) . ESS 통한 전력산업 구조변화 : 전력 생산 후 소비 또는 소멸 에서 저장 수요관리 소비 전력산업 효율성 제고 한국이 전세계 배터리시장 (59%) 및 설치 (25%) 를 주도 , 전 세계 시장도 주요국가 정책지원으로 년당 1GW 단위성장 , 전력산업 구조변화 전망 ※ 출처 : 에너지관리공단 (ESS 성장성 및 전망 2018.05)4. 사업접근 전략 □ [ 구도 ] 삼성카드 , CJ 헬로 유사형태의 렌탈 , 발주자 부담비율 조정 등을 통한 접근 □ [ 대상 ] -. 기 / 신규 구축 발전소 – Benefit 제시 -. 대규모 빌딩 보유 정부기관 , 기업 , 조합 , 개인 대상 영업 -. 해외 신재생에너지 접근 시 ESS 포함 – Benefit 제시 □ 각 주체 별 Win-Win 전략 -. 대금미회수 , 협력사 부도따른 유지보수 햇지방안 -. 사업주에 , . 구축금액 부담해소를 위한 다양한 지급형태 선택지 제공 . 정부정책 , 안한 최대이익 도모목적 설계 (ESS 규모 , 운영방안 , 신재생연계 , …) -. 대주단 입장 자금 회수 안정성 , 규모의 경제 제공 EPC 중심에서 사업주관점 자금조달 , 유지보수 , 자금회수를 고려한 대주단 , 보증보험과 협업을 통한 당사 특성을 고려한 ‘ESS 사업 플랫폼 구축 ‘ 하여 사업활성화 체계 및 안정적 구도 확보 .Photovoltaic Wind Power Plant Proposal 정부주요 정책 현황 관련기관 지원정책 정부 , 주요기관 정책 IV전기사업법 개정 (’18.05.18 국회통과 ) 개정된 전기사업법은 전기 신사업으로 소규모 전심 수직적 전기공급 체계로 인해 새로운 유형의 사업을 제도적으로 수용하는 데에 한계 □ 주요내용 -. 전력중개사업 신설 . 現 발전사업자가 전력시장에 참여하여 직거래 소규모사업자가 중개거래 . 1MW 이하 신재생에너지 , 에너지저장장치 , 전기차 생산 또는 저장된 전기 거래 가능 -. 전기자동차 충전사업 신설 . 現 지능형전력망법에 근거하여 사업 중 전기사업법상 사업자의 법적 지위 명료화 . 주유소와 마찬가지로 , 충전소도 충전요금표시 및 공개할 수 있도록 법적 근거 마련 -. 위 두개 전기신사업은 허가가 아닌 등록만으로 사업개시하고 , 약관도 인가없이 신고可 ( 사업요건을 대폭 완화 ) □ 기대효과 -. 투자촉진 , 제품 중심의 에너지신산업이 서비스 부문으로의 확대 . 가상발전소 (Virtual Power Plant), V2G(Vehicle to Grid) 와 같은 서비스모델 창출 기대 . 신 서비스모델 예 , 주파수안정을 사업모델로 하는 유럽업체 존재 cf. 한국은 전력품질 高 그러나 신재생에너지 증가로 ESS 활용한 서비스 모델 가능할 듯 ※ 출처 : 산업통산자원부 전력진흥과 ‘ 보도참고자료 ’ (2018.05.18)한국전력 ESS 요금제도정부 정책현황 – ESS 요금제 (1/2)정부 정책현황 – ESS 요금제 (1/2) [ BackUp ] 실구축 후 저감사례 ( 금액 ) 제시Photovoltaic Wind Power Plant Proposal 에관공 우수사업 ( 삼성카드 , CJ 헬로 외 ) 금융형태 및 지원사 ESS 사업형태 II사업모델 (CJ 헬로 )사업모델 (CJ 헬로 )사업모델 ( 삼성카드 - 기본구조 )[Back-Up] 사업모델 ( 삼성카드 - 보험주요내용 )[Back-Up] 사업모델 ( 삼성카드 – ESCO vs 렌탈상품 장단점 )[Back-Up] 금융형태 및 지원사 – ESS 협약보증대출 중소기업 에너지신사업 (ESS) 진출지원의 방안으로 ‘ 협약보증서발급기업 ’ 대상 신한은행이 대출지원 , 한국에너지공단은 신용보증기금에 ESS 환산 구축 ( 案 ) 사업대상 주체 別 Win-Win 전략 접근방안 VPhotovoltaic Wind Power Plant Proposal EPC 관점 구축범위 및 프로세스 구성요소 블록체인 적용사례 및 사업모델 ESS 구축 사례 IIIEPC 관점 구축 범위 및 프로세 스 + Cloud EMS 활용한 통합관제와 유지보수 사업연관한 사업추가로 안정적 수익기반 확보[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : 시뮬레이션[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : ESS 용량산정[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : ESS 설계[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : ESS 배치[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : ESS 설치공사 (1/3) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : ESS 설치공사 (2/3) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[Back-Up] 컨설팅 및 설계 : ESS 설치공사 (3/3) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016구성요소 ( 예시 ) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[Back-Up] 배터리 ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[ Back-Up]BMS(Battery Management System) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[ Back-Up]PCS (1/2) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[ Back-Up]PCS (1/2) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[Back-Up] EMS – Main 화면 (1/2) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016[Back-Up] EMS – 운전화면 (2/2) ※ 출처 : 한국전력거래소 본사사옥 ESS 백서 2016블록체인 적용사례 및 사업모델 □ 에너지 거래 네트워크 -. 신재생에너지발전량을 토큰화된 디지털 자산으로 변환 , 거래 ( 투명성 보장 , 가상화폐를 이용한 REC 발급과 거래 단순화 ) -. 로 변환 , 거래 ( 투명성 보장 , 가상화폐를 이용한 REC 발급과 거래 단순화 ) -. 사례 . SolarCoin : 태양광 발전량에 대한 가상코인 발급 . ElectriCChain : PV 발전량 데이터의 발행과 검증 표준 도구 □ IoT 데이터 Infrastructure -. 블록체인이 IoT 운영에 필요한 도구 제공 가능 ( 장치 식별 , 투명성 , 거래네트워크 , 데이터 보안 / 승인 등 ) -. 사례 . Slock.it : 전기차 충전 과금 결제에 적용 . FILAMENT: IoT Device 의 식별 , 승인 및 자율운용에 적용 에너지부문에서의 블록체인 적용 사례를 보여주고 있으며 , Redox, NaS 등 대용량 밧데리를 통한 전력이송 및 이를 ICO 형태로 변환 , 거래하는 형태의 사업 가능할 것으로 판단 . 사업모델 (Business Model) 스타트업 관점 . 전기차 충전 , 에너지 거래 수수료 . Blockchain 기반 Smart Meter 판매 수익 전력회사 관점 . Community/Utility Microgrid EPCM 수익 (MG 내 이웃간 발전량 거래 ) . Local Energy Market 운영 수익Photovoltaic Wind Power Plant Proposal 하이브리드 구성 ( 신재생 , 건축물 ) 내역 ( 구성품 ) 예시 최대 이익실현 시뮬레이션 ( 엑셀 별도 ) Q A 기타 VI[ 참고 ] ESS 용 PCS, 배터리 국제 , 국내 표준 현황 ’13 년 ESS 보급위해 고효율기기 인증제도 활용 , 관련 국제표준과 KS 표준 부재로 PCS, 배터리 단체 표준 / 인증 활용 -. IEC 표준 제정 : 산업용 리튬이차전지 (’14.11), 안정성 (‘17.02) / IEC 국제표준을 준용한 KS 부합화 추진 (~ ‘17.6) -. 기존 국제표준이 존재하지 않는 경우 , 단체표준으로 시험 후 관련 시험 / 인증서 제공으로 공급 가능 -. 전지협회 표준인증 리튬이차전지 : 8 개기업 (10 개공장 ), 38 개 모델 how}