Soft Lithography

소개

Soft Lithography 기술의 장단점
종류 몰딩 방식
PDMS의 장단점

목차

Soft Lithography
종류 및 장단점
Molding방식
PDMS의 장단점

본문내용

정합접촉의 효과를 높이고 간편한 공정을 지향하는 방식으로, 탄성 중합체(Elastomer) 재질의 PDMS 스탬프의 물리적 접촉을 이용하는 공정을 Soft Lithography라고 한다. Soft Lithography에는 프린팅 방식의 Microcontact Printing이 있으며, Molding 방식의 Transfer Printing, Near-Field Lithography 등이 있다.
Soft Lithography는 마스터 패턴 제작이 전제조건으로, 일반적으로 광학리소그래피 또는 나노스케일 패턴 구현을 위해 전자빔 리소그래피, 레이저 간섭차를 이용한 리소그래피 등이 사용되고 있다. 마스터 패턴 위에 PDMS Casting 또는 코팅방식으로 증착하고 Curing 후 떼어내면, 음각/양각이 바뀌어진 패턴 형상을 가진 PDMS 스탬프를 얻게 된다. Soft Lithography는 대면적 고분해능 패터닝 공정 시 유리한 경제적인 방법이라고 볼 수 있다. Field Size에 무관하며 EUV(Extreme Ultraviolet)공정에 의한 최서 패턴 크기(20nm)에 버금가는 정밀도를 가지고 있으며, Flexography와 같은 연속 공정 개념을 적용할 수 있어 월등한 생산성 향상을 가져올 수 있는 잠재성을 지니고 있다. 또한 지수적으로 증가하는 광학 리소그래피의 장비가격에 비해 낮은 인프라 비용이 요구되어, 인프라 비용과 공정비용 측면에서 매력적인 기술이라 할 수 있다.
그러나 Soft Lithography는 stamp와 mold의 변형이 쉽게 일어나며 형성된 패턴 내에서 결함 밀도(density of defect)가 생성 되며, 고 분해능에 맞춰 찍기 어렵다는 단점도 가지고 있다.

참고자료

· •Nanostructures & Nanomaterials. Guizhong Cao, ICP
· •나노테크놀러지 최전선 기술, 전파과학사
· •나노 공정․측정 기술, 한국과학기술정보연구원
· •http://sms.kaist.ac.kr/%7Eischoi/bk/lecture/class%2009.pdf
· •http://blog.naver.com/ioyou64.do?Redirect=Log&logNo=120019552834
· •http://www.optrontec.co.kr/sub_02_09-01.htm
· •Introduction to Microfabrication Sami Franssila ,John Wiley & Sons
· •재료공학실험3 실험교안
· •Nano Letters - Volume 6 Issue 3 (March 08, 2006)
· http://pubs.acs.org/cgi-bin/article.cgi/nalefd/2006/6/i03/pdf/nl052110f.pdf