(특집) 포토공정 심화 정리18편. Soft Lithography

소개글

(특집) 포토공정 심화 정리18편. Soft Lithography 파일입니다.

총 19편으로 구성되어 있으며 해당 포토공정 공부를 통해 반도체 회사에 입사할 수 있었습니다.
반도체업계 취업준비를 하고 있다면 큰 도움이 되실거에요!

목차

1) Micro Contact Printing
2) Micro-molding in Capillaries(MIMIC)
3) Nanoimprint : Molidng Stramp + Resist

본문내용

* Soft Lithography
​
- Molding, Printing, Material Transferring을 이용한 Lithography
- Energetic Beam(전자, 이온)이나 조사(DUV, X-ray)가 없는 공정
- 비교적 저렴한 공정 가격, More flexible
- Soft Lithography의 종류는 크게 Micro Contact Printing / MIMIC / Nanoprint 등이 있습니다.

(1) Micro Contact Printing
​
- Mold 틀 만들었던 것으로 도장찍듯이 찍어내는 방법
- 나노미터 단위의 도장을 이용한 Printing 방법
- Stamp : 탄성 중합체 PDMS, Ink : Alkanethiol 용액

참고 자료

없음