논문 Soft lithography for micro- and nanoscale patterning 을 한국어로 번역 및 요약한 내용.
- 최초 등록일
- 2020.08.31
- 최종 저작일
- 2017.10
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소개글
"논문 Soft lithography for micro- and nanoscale patterning 을 한국어로 번역 및 요약한 내용. 포토리소그래피, 소프트리소그래피에 대해 특징, 비교점 등을 알 수 있습니다.
목차
1. Introduction
2. μCP (microcontact printing)?
3. REM (replica molding)?
4. Photolithography versus soft lithography
5. Experimental design
6. Design of pattern.
7. Fabrication of mask.
8. Fabrication of master.
9. Fabrication of elastomeric stamp.
10. μCP.
11. REM or embossing of structures in a polymer
12. Troubleshooting
본문내용
포토리소그래피 (photolithography)는 생물학적 시스템과 관련된 응용에 많은 한계를 가지고 있다.
첫 번째, 공정이 비싸다. 사용 된 장비가 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조에 있어서 고도로 요구되는 공정을 위해 개발되었기 때문에 공정이 비싸다. 포토 리소그래피를 만들기 위한 clean room을 위해서 자본투자가 요구되기 때문에 대부분의 화학자, 생화학자, 생물학자들이 접근하기 어렵다. 두 번째, 포토 리소그래피는 종종 포토 마스크상의 패턴을 포토 레지스트 막 상에 투영함으로써 수행된다. 세 번째, 포토 리소그래피는 표면 화학을 거의 또는 전혀 제어하지 못하며 곡선이거나 비평면의 기판에는 적용 할 수 없다.
소프트 리소그래피 (Soft lithography)는 특히 저렴한 비용이 필요할 때, 마이크로 스케일과 나노 스케일에서 평면, 곡선, 유연하고 부드러운 기판에의 신속한 시제품 제작을 위한 개념적으로 다양한 접근법을 나타낸다.
참고 자료
Qin, Dong, Younan Xia, and George M. Whitesides. "Soft lithography for micro-and nanoscale patterning." Nature protocols 5.3 (2010): 491-502.