SEM 보고서

소개

"SEM 보고서"에 대한 내용입니다.

목차

1. 실습장비명
2. 실험 분석기기 이론
3. 기기 사용 시 주의사항
4. 실험 목적
5. 실험 과정 및 방법
6. 실험 결과 보고
7. 실험 결과 해석
8. 고찰

본문내용

1. 실습장비명

SEM(주사식 전자 현미경)
- 현미경의 일종으로, 진공에 놓인 시료의 표면을 1~100 nm의 전자선으로 관측하는 현미경

2. 실험 분석기기 이론

■주사전자현미경(SEM) 분석의 개요

분석 특징 및 분석기법
분석능
배율
- 표면 형상 및 구조의 관찰
- SE와 BSE 영상
- EDS 원소 분석
- SEM의 공간분해능: ~1nm
- EDS 원소 분석의 검출 범위: C(Be)-U
- SEM의 배율
M=L(CRT)/L(Specimen)

■주사전자현미경(SEM) 의 원리
- 집속된 전자빔을 시료표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전자 혹은 후방산란전자를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비이다.

■주사전자현미경(SEM) 의 구성

1. 전자총
- 전자총은 광원으로 쓰이는 전자를 만들고 가속시키며, 전자선의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급하게 된다.
2. 자기렌즈
- 전자기렌즈는 코일이 감아진 원통형의 전자석으로 전자가 자장에 의해 휘는 성질을 이용하여 전자를 한 곳으로 모으는 역할을 합니다.

참고자료

· 없음