Scanning Electron Microscope(SEM) 결과보고서

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1. 이론적 배경
Scanning Electron Microscope (SEM)은 시료 표면 위에 전자빔을 주사하여 입체구조를 파악할 수 있게 해주는 전자현미경으로 이때 시료 표면에서 발생하는 여러 종류의 전자들을 감지하여 이미지로 보여준다. 주사된 전자빔이 시료에 충돌할 때 발생하는 전자는 이차전자(Secodary electron), 후방산란전자 (Backscatteredelectron), 투과전자(Transmission electron), X선등 다양한데 이 정보 중 일부를 감지하여 화면상에 시료의 모양, 구조 등의 표면정보와 함께 구성원소의 분포까지 나타낼 수 있다.
전자 현미경은 전자를 주사하기 위한 전자 광학 시스템, 시료를 배치하기위한 시료 스테이지, 2차 전자를 수집하는 2차 전자 검출기,이미지 디스플레이 장치 및 다양한 작업을 수행하기위한 운영 시스템으로 구성되어 있다.

참고 자료

고려대학교 화공생명공학과, 화공생명공학실험Ⅰ 매뉴얼
정석균, 전정범(2010). 주사전자현미경의 기본원리와 응용(Part2)
https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=4389568&cid=60217&categoryId=60217
SEM 사진, https://allgo77.tistory.com/21

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