크린룸 clean room

목차

1. Cleanroom이란?
2. Cleanroom 사용
3. 공기흐름
4. 오염측정방법
5. 구조

본문내용

1. Clean room 이란?
1)정의
먼지나 세균이 전혀 없는 방.
불과 몇 ㎟밖에 안 되는 크기에 10만 개 이상의 트랜지스터나 저항기를 조립할 수 있는 초(超)고밀도집적회로(VLSI)나 유전자조작과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 극미산업(極微産業)에서는 미세한 먼지나 세균도 커다란 영향을 끼친다. 그래서 방 전체의 공기를 여과하거나 펌프로 흡인해서 청결하게 한다. 그와 같은 방 외에 상자형(箱子型) 실험박스를 넣어서 균이 밖으로 새어 나가지 않도록 엄정하게 관리하는 고도안전실험실도 있다.

VLSI 공정에서 먼지는 치명적이다. 더욱이 보통의 인간은 1분간에 수천 개나 되는 먼지의 조각들을 피부·모발·의복 등에서 흩뿌리고 있다. 그러므로 클린룸에는 가능한 한 사람을 출입시키지 않는 것이 좋지만, 실제로는 사람이 들어가서 작업해야 하는 경우가 대부분이므로 무균복(無菌服)을 입는다.

참고자료

· 없음