진공 기술 및 플라즈마

소개

플라즈마를 main으로 하여 진공으로 도입을 하고 sputtering등을 예로 들어 플라즈마의 원리 생성 과정들을 자세하게 만들어 보았습니다. 직접 진공 및 플라즈마에 대한 실전적인 지식을 갖고 계신분들에게 교육을 받은 내용들을 넣어보았습니다.

목차

1. 진공이란?
1.1진공이란?
1.2진공의 필요성
1.3진공도
1.4압력의 단위
1.5기체의 평균자유행로
2. vacuum pumps
2.1 진공 펌프의 역할
2.2 conductance 란?
2.3 진공 펌프의 종류
- 로타리 베인 펌프
- 터보분자 펌프
3. plasma
3.1 plasma의 정의
3.2 plasma의 생성조건
3.3 plasma의 생성 과정
3.4 plasma의 특징
3.5 plasma를 이용한 증착법
4. plasma의 기술과 적용
4.1 plasma의 이용분야
4.2 plasma의 발전가능 분야
4.3 대기압 plasma의 장.단점
4.4 plasma를 이용한 lead frame 도금 전처리 세정공정

본문내용

1. 진공이란?
절대진공 - 아무것도 없이 비어있는 공간
실제진공 - 대기압보다 낮은 일정공간
-> 즉, 진공 chamber가 아니더라도 1기압보다 기압이 낮은 상태
2.69 × 1019/cm3 (1기압)이하의 분자 밀도를 갖는 상태

2. 진공의 필요성
깨끗한 환경 제공 – 오염이 없는 상태 유지,
산화막 차단, 공기 차단
극 청정 환경제공
적절한 환경 제공 – 안정된 플라즈마를 유지
우주환경 제공
생화학 반응 억제
진공의 특성을 이용 – 압력차에 의한 힘의 발생
단열효과
입자의 장거리 비행 가능
증발과 승화작용

3. plasma의 생성 과정
1. 전자의 발생(......)
2. 전기장으로 부터 전자가속
3. 중성 gas입자와 가속전자 충돌로 이온화
4. Avalanche(전자사태)
5. 생성률 > 손실률 : 플라즈마 생성
등등등

참고자료

· 없음