Pump의 종류와 magnetron sputtering

소개

Pump의 종류와 magnetron sputtering에 대한 설명이 있습니다.

목차

1.turbo molecular pump
2.cryo pump
3.getter pump
4.magnetron sputtering

본문내용

● 원리
터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 fig1과 같이 플레이드에 부딧힌 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어 진다.
but, 실제 상황에서는 진공용기의 압력에 따라 다르다.
① 진공용기의 압력이 높은 경우
: 기체분자의 양이 많기 때문에 기체 분자들은 독립적으로 움직이지 못하고 서로 영향을 받게 되는데, 이처럼 분자의 평균자유행로(mean free path)가 짧고 분자들 사이에 힘이 작용하는 경우를 viscous flow라고 한다. 이때 기체 분자는 완전 탄성구처럼 작용하여 충돌이 일어나면 그대로 다시 튀어나가게 되고 또한 압력 구배에 따른 자연스러운 흐름을 갖게 된다. → 역류(back stream)에 대한 우려가 없고, 그림에서처럼 블레이드에 부딪힌 분자는 자연스럽게 배기된다.

참고자료

· 관련서적,
· internet site,
· 등