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[공학]플라즈마의 이해

1) 플라즈마의 정의플라즈마 상태는 고체, 액체, 기체 이외에 물질의 제 4 의 상태라고 불리워진다.이러한 플라즈마는, 분자, 원자, 이온(바닥상태 또는 여기된 상태), 전자, 양자들로 이루어지며, 전체적으로 준중성으로 알려진, 전기적 중성상태에 있다. 이러한 물질의 상태에 따른 분류에 의하면, 우주의 99%이상이 플라즈마 상태라고 볼 수 있다. 전형적인 예로서, 태양은 그 내부온도가 107K에 달한다. 플라즈마 상태는 고체, 액체, 기체들에 비해 큰 에너지를 보유하고 있어서 다양한 분야에서 응용되고 있다.2) 플라즈마 상태 (제 4 의 상태)물질의 상태고체 액체 기체 PLASMA상변화fusion evaporation dissociation & ionisationEntalpy change(kcal/mol)(1~10) (10~100) (~100, ~1000)플라즈마 영역 내에서는 각 성분의 이온화와 재결합 반응속도가 균형을 이루어 정상상태에도달된다. 플라즈마가 갖고 있는 에너지에 따라 전리(이온화)도가 변하며, 큰 에너지를 보유하는 경우 완전히 전리된 플라즈마가 된다.이온화는 큰 에너지 복사(UV, X-ray, etc.),전장에 의한 충돌(주로 전자의 충돌), 열운동에의한 충돌에 의해 일어난다.3) 플라즈마의 분류고온플라즈마(평형플라즈마 또는 열플라즈마)국부열평형상태 LTE(Local Thermodynamic Equilibrium)(Te = Th), > 104 K (Te : electron temperature,Th : heavy particle temperature)일반적으로 대기압 또는 고압에서 활용저온플라즈마(비평형플라즈마)비평형상태(Te ) Th), (Te : 104 K, Th : room temperature)일반적으로 감압하에서 발생4) 플라즈마 기술의 동향열플라즈마의 적용분야플라즈마 용접, 절단Plasma의 고온을 이용한 재료의 가공.Plasma 용사고융점 분말을 Plasma로 녹여 고체 표면 위에 coating시켜 내열, 내식, 내마모성 등을 높임.초미립자 제조열플라즈마의 고온, 고활성을 이용하여 기상반응으로 합성된 입자를 급냉시켜 초미립자로 합성플라즈마 화학 또는 물리 증착플라즈마를 이용한 기능성 막을 생성열플라즈마 환경기술열플라즈마의 고온, 고활성을 이용하여 폐기물을 분해 및 유리화(고형화)시킴플라즈마 소결난소결성의 세라믹 등을 단시간에 치밀화시킴.플라즈마 야금플라즈마의 고온, 활성을 이용하여 금속을 정련, 제련저온 플라즈마의 적용분야Dry etching플라즈마에 의해 활성화 된 라디칼, 전자 등을 이용하여 etching.CVDPlasma를 이용하여 기상합성으로 기능성 막을 생성시키는 방법(주로 반도체 분야의 thin film 형성에 적용).Plasma 중합플라즈마에 모노머를 주입시켜 polimerization을 통하여 기판에 고분자막을 생성시킴표면개질Plasma에 의해 활성화 된 이온이나 전자들에 의해 고체 표면을 화학적으로 개질하는 것.Sputteringion등을 전계로 가속시켜 대상물질에 입사시키면, 대상물질에서 이온등의 입자가 방출되고, 이것들을 기판에 증착 또는 코팅시킴.KONICS PLASMA 참조 PAGE 3/ NUMPAGES 3#

공학/기술| 2005.12.13| 3페이지| 1,000원| 조회(857)

플라즈마, 표면처리, cvd, PVD, 플라즈마 용사

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