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D.C Magnetron Sputterimg 으로 증착한 Cu 박막 결과 보고서

재료공학실험ⅢVol.01, No.1, 2003, pp.01～03D.C Magnetron Sputterimg 으로 증착한 Cu 박막 결과 보고서한국항공대학교 항공재료공학과요 약DC Magnetron Sputtering을 이용하여 Corning 1737 Glass위에 Cu 박막을 증착하였다. Cu 박막 증착 시 온도는 상온으로 유지하였고, 작업 가스 유량(Ar:O2)은 pure Ar에서 70:30으로 하였고 Plasma Power는 100W로 유지하였다. 증착 후 α-step로 박막의 두께를 4-point probe를 이용하여 표면저항을 측정하고, 표면조도 측정기로 표면거칠기를 측정하였다. 증착 시간에 따른 박막의 두께와 표면 거칠기를 측정하고, 각각의 시간은 2분, 4분, 6분, 8분, 10분, 12분으로 시험한다. 예측 결과는 시간이 길수록 박막의 두께는 증가하고, 표면 거칠기는 감소할 것이다. 박막의 두께는 증착시간에 비례하였으며, 표면거칠기와 표면저항은 12분 증착한 시편에서 우수한 특성을 나타내었다.AbstractWe deposited Cu thin film on corning 1737 Glass substrates using DC magnetron sputtering method. Substrate temperature and plasma power was fixed at room temperature and 100W, while working gas flow ratio was changed from pure Ar to 70:30. We measured thin film thickness using α-step, surface resistance using 4-point probe and surface roughness using surfcorder SE-1700α. We measure the thickness and the rough of the surface along the time of the reaching. Each time is two, four, six, eight, ten, twelve minutes. As the time is longer, the result of the prospecting is that the thickness is increasing and the rough of surface is decreasing. The thickness of the thin film is changed according to the time of reaching. The rough and the resistance of the surface represent a special quality. When they reach at twelve minutes.1.서 론1.1 시험의 목적DC Magnetron Sputtering을 이용하여 Corning 1737 Glass위에 Cu 박막을 증착하여, 증착 시간에 따른 표면 저항과 표면 거칠기의 관계를 알아보자.1.2 예측 결과예측 결과는 시간이 길수록 박막의 두께는 증가하고, 표면 거칠기는 감소할 것이다.1.3 구리 박막의 이용 분야1)반도체 공정에서 금속 배선의 재료로 소자가 1GB이상이 되면서, 알루미늄보다 비저항이 작은 Cu가 사용되고 있다. [1]2)의료용 도뇨관 표면의 도선용 구리 박막 증착 이용※ E-mail : -sayyou-@hanmail.net2. 본 론2.1 스퍼터링고 에너지의 입자를 원하는 박막과 동일인 물질로 이루어진 기판에 충돌시켜 그 곳으로부터 원자와 분자가 떨어져 나와 박막을 만드는 방법을 말한다.[2]2.2 스퍼터링에 의한 박막의 특징1.스텝 커버리지(STEP COVERAGE)가 좋다.2.퇴적막의 치밀성이 우수하다.3.취급에 숙련을 필요로 하지 않는다.4.넓은 면적에서 균일한 박막 두께 증착 가능5.전처리 청결 공정 가능 [3]2.3 공정 변수1) 이온 충돌 원자에 의해 증착막이 받는 영향의 정도는 이온 의 운동에너지, 이온의 유속 밀도, 증착원자에 대한 이온의 비, 표면 원자에 대한 이온의 상대적 질량비에 영향을 받는다.(2) 성장하는 막에 이온이 충돌을 하는 동안 일어나는 이온-고체 상호 작용① 흡수된 불순물 방출② 이웃한 표면 원자의 변이③ 기판 원자의 sputter 현상④ 증착된 원자의 재 sputter⑤ working gas entrapment- 이들 상호 작용은 에너지 조사량에 따라 잔류응력, 격자상수, 저항, 화학량론, 배향, 밀도 등을 변화시키고, 생성된 막의 겉보기 경도와 증착 도중 성장 속도도 변화시킨다.(3) 기판 표면에서 이온 충돌의 영향을 완전히 이해하기 위해서는 화학적, 물리적 특성의 조사 이외에도 특히 기판 근처 플라즈마의 변화와 다양한 공정 조절 변수와의 관계를 이해하는 것이 필요하다. [4]2.4 Four Point Probe 이론4-four point probe 는 동일선상에 놓여진 텅스텐 와이어 프로브를 포함하고 있으며, 샘플의 표면을 접촉하도록 되어 있다. 전류(I)는 바깥쪽 프로브 사이에서 흐르며, 전압(V)는 안쪽 프로브 사이에서 측정하여 전류의 손실이 없도록 하였다. 샘플이 어느 정도 유한한 부피를 가지고 있고 프로브 안쪽의 간격이 s1= s2 = s3 = s라면 ,어느 정도 유한한 볼륨의 저항은 다음과 같다.Rs =(2 Pi s)V/Iπ/ln2=4.532정도Rs=4.532 V/I=ρ/t ρ=1/σ여기서 Rs는 면저항, ρ는 비저항, t는 두께,σ는 전기전도도 [5] -비저항값은 일정하지만, 시간이 지남에 따라서 두께가 증가한다. 이로 인하여 면저항은 낮아진다.2.5 표면 거칠기2.5.1 최대 높이단면 곡선에서 기준 길이만큼 측정한 부분의 평균선에평행한 두 직선으로 측정한 부분을 끼울 때, 이 두 직선의 간격을 미크론(㎛, micro-meter)로 표시한것을 말한다. 즉, 최대값에서 최소값을 뺀 값과 동일하다. 이는 중심선을 결정하지 않고서도 측정할 수 있기 때문에 비교적 많이 사용된다. [6]-스퍼터링은 스텝 커버리지(STEP COVERAGE)가 좋기 때문에 시간이 지나갈수록, 많은 Ar원자가 전자와의 충돌에 의해서 양이온의 Ar이 target에 충돌하여 Cu원자의 양이 증가한다. 이로 인해서 재료의 도금 두께는 증가한다.2.6 스퍼터링에 의한 증착막 비교 (재료: 구리, 알루미늄)유리에는 Al증착막이 잘 떨어진다. 하지만 Cu에서는 이에 비해서 잘 떨어지지 않는다.이는 탄성충돌이기 때문이다.질량 mi와 mt를 갖는 두 기체 입자가 탄성 충돌 할 때를 고려해 보자. 질량 mt를 갖는 입자는 정지해 있고, 질량 mi를 갖는 입자는 속도 vi를 가지고 충돌 각도 θ로 충돌한다.운동량(momentum)이 보존되므로, 또한 운동 에너지도 보존된다.4mimt/(mi+mt)2은 에너지 전달 함수(energy transfer function)로 알려져 있으며, mi = mt일 때최대 값을 갖으며 mi ≪ mt일 경우는 4mi/mt가 되고, mi ≫ mt일 때는 4mt/mi가 된다.따라서 mi ≫ mt일 때 ut = 2ui가 된다. 이 결과의 의미는 매우 무거운 입자가 매우 가벼운 입자에 충돌할 경우 매우 가벼운 입자는 매우 무거운 입자가 갖았던 속도 성분의 2배에 해당하는 속도로 운동하게 된다는 것을 의미한다.Cu의 원자량:63.5Al의 원자량:27질량이 큰 Cu원자의 속도가 더 빠르기 때문에 재료에 충돌하는 에너지가 높기 때문에 증착이 잘 된다. [7]3. 결 론3. 실험측정3.1 면저항 측정1회2회3회평균값2분5.18164.82325.35965.1214674분2.655362.603682.644342.634466분1.500061.158081.539321.3991538분0.994140.991580.986270.99066310분0.745160.749860.742870.74596312분0.654660.656410.647550.652873-그래프 상에서는 시간이 지남에 따라서 면저항이 낮아진다.이는 증착막이 두께가 두꺼워지기 때문에 발생한다.3.2 조도측정1회2회3회평균값2분0.67040.63530.51730.6076674분0.43630.46510.61940.5069336분

공학/기술| 2003.07.17| 3페이지| 2,000원| 조회(911)

스퍼터링, D.C Magnetron Sputte, Cu 박막

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대중가요속의 대중사상

*대중가요의 특징-대중가요는 대중들의 노래이며, 대중들을 위한 노래이다. 대중가요는 대중이 형성된 시기인 산업화 이후에 나타난 노래이다. 또한 대중가요는 노래로서 산업 시대의 대중들의 삶과 생활 감정과 밀접한 관련을 맺고있다. 이전의 전승된 노래에서 이러한 요소를 찾지 못하면, 다른 나라에서 들여와 이전의 것과 결합하거나, 외국의 대중가요를 그대로 차용한다. 또한 대중가요는 하나의 상품이다. 상품은 필요성이 있을 때 만들어지며, 수요자가 많을 때 이 대중가요는 성공하여 많은 사람에게 불리워진다. 이를 위해서 노래를 기존의 전승처럼 직접 전달하지 않고, 산업화의 산물인 인쇄기를 통하여 노래를 활자화거나 다른 매체를 통하여 녹음한 다음, 유성기같은 음성매체를 이용하여 전파를 하고 유행을 시킨다.대중가요의 이와 같은 속성을 통하여 우리의 대중가요가 일본으로부터 이입된 것이라고 주장하는 학자들의 논리적 근거를 보면, 우리의 근대화가 일본의 식민자본에 의하여 시작하였고, 대중가요도 이 시기에 일본에 의하여 이식되어 형성되었다는 의미를 포함하고 있다. “대중 개념을 민중 개념과 대립되는 개념으로 상정하고 대중을 식민지 시대 이후의 소비적이고 수동적인 존재로서만 파악함으로써, 내재적인 근대화 추진의 주체로서 조선 후기 대중의 적극적 의의를 무시하는 한편, 대중문화의 범위를 축소시켜 부정적 측면만을 부각시킨 것이 아닌가 생각되는 것이다.”-19세기 말 이래(서양음악 도입기) /대중들이 즐겨 부르는 세속적인 노래-유행가라고도 함 / 예술성과 심미성에 가치를 두는 과 달리감각적 대중성, 오락성 통속성, 상업성에 기초-실제적으로 예술가곡을 제외한 가요 전체-시대를 뛰어넘어 면면히 이어지는 소박한 노래 형태인 와도 구분됨-1937년 중일전쟁 발발 이후 일제 군가, 애국가요, 국민가요 명칭 사용 → 이의 상대 개념으로 사용-순수가요는 - - 어로 명칭이 변경되어 감-"양악기로 반주하는 경음악 형식의 가곡" 이라는 정의도 가능-산업화에 따른 매스컴의 발달의 영향 → 도시에서 시 유명한 것은 [장한몽]의 주제가 [이수일과 심순애]였다. 이 노래는 일본의 신파극 [곤지끼야사]의 주제곡을 번안한 것으로 전국적인 인기를 누렸다. 유행창가는 주로 이 룰 수 없는 애정, 이별, 삶의 비애와 절망, 혹은 전혀 반대로 소시민적 향락이나 희화된 애정을 그리면서, 일제 식민 통치에 지친 조선민중을 마취시키는 역할을 하였다. 다음 의 작품은 그러한 폐해의 대표적인 예이다.이내몸은 강언덕에 시드른 방초 어여쁜 너도 또한 시드른 방초 너와 나는 이 세상에 있을 동안에 다시 피여 보지 못할 시드른 방초흘러가는 물결 좇차 돛을 달고서 무정한 이 세상을 등에 버리고 죄악과 법률도 볼 수가 없는 죽음의 저 나라로 저어가 보자 [시드른 방초]요나누키의 퇴영적 선법과 맞물린 이러한 20년대 유행창 가의 정서는 그대로 한국대중가요의 원형으로 자리잡게 되었으며 이로부터 왜곡된 음악적 정서가 오늘날까지 자리잡고 있다.3)예술가곡에 대하여 1920년 홍난파의 [봉선화]가 발표되면서 학교 창가를 중심으로 예술가곡의 탄생을 보임으로써 대중적인 유행창가와 예술가곡이 분화되는 현상이 나타난다. 서구 유학의 경험 을 가지고 있는 문화엘리트들에 의해 주도된 예술가곡들은, 처음에는 서양음악에 대한 무조건적인 맹종의 태도에서 벗어나지 못했다. [봉선화]는 본디 바이올린을 위한 감상적 기악곡이었고 그 수준도 초보적인 서양음악의 단순한 모방 에 지나지 않았다. 또, 홍난파와 더불어 당시 서양음악 도 입의 선구였던 현제명의 [니나]는 음악 비평가 김관으로부 터 '노골적인 표절'이라는 공격을 당하기도 했다. 식민지 의 비참한 현실에 대한 인식이 부족했던 이들의 말로가 일제 말 적극적인 친일행위로 간주되었던 것은 우연만은 아닐 것이다. 서양음악의 무비판적 수용에 대한 반성은 전통민요 에서 새로운 음악언어를 찾아내려 노력한 안기영에 의해 제 기된다. 그의 가곡 [그리운 강남]은 '조선의 특유한 멜로디를 넣어 가지고 된 독창성을 가졌다'는 평가를 받기도 한 다. 안기영이 민요적 감상【 새로운 음악언투쟁가요들은 그 담당자들이 북한의 주도세력이 되었던 탓 에 자료를 입수하지 못하고 있는 형편이다. 이들 독립군가 는 국내의 노래문화가 일제의 이데올로기 공세 속에서 찌들어갈때, 생산과 투쟁의 현장에서 제작, 보급된 노래들이기 때문에, 그 내용의 건강성과 함께 형식적인 면에서도 서양 음악과 전통리듬을 잘 조화시켰다는 평을 받고 있는 등, 오늘날 왜곡된 노래문화를 바로잡는데 중요한 음악적 유산 중 의 하나이다.6)해방공간의 노래 민족의 자주적 힘으로서가 아닌, 외세 -- 그것도 체제를 달리하는 두 강대국에 의해서 주어졌던 8.15해방은 한국을 그야말로 '해방된 식민지'로 남게 하면서 엄청난 혼란을 예 고하고 있었다. 이른바 해방공간이라 불리는 1945년에서 1947년까지 2년여의 짧은 시기에 창출되었던 음악문화는 가 히 혁명적이었다. 일제에 깊이 협력하였던 우익예술가들이 침묵할 수밖에 없었던 반면, 상대적으로 일제시대의 정치 적 굴레에서 자유로웠던 좌익진영은 신속히 예술계를 재편, 최고도의 조직적 탄력성을 발휘하게 된다. 이 중 주목할 만한 것은 김순남, 강장일 등이 주축이 되어, 좌우익의 무원칙한 통일체였던 조선음악건설본부(음건)를 지양해 내고 민족문화 건설과 음악운동의 대중화 전선구축이라는 뚜렷한 목표 하에 건설한 프롤레타리아 음악동맹의 활동이다. 이들 은 최초의 조직적 틀 안에서의 음악 운동이라는 성과뿐만이 아니라, 김순남, 이건우, 안기영 등 뛰어난 작곡가들도 보유했던 관계로 작품생산에 있어서의 뿌리깊은 아마추어리즘 을 일거에 청산할 수 있었다. 민주주의 민족문화의 건설이 라는 대명제 아래 진행되었던 이들의 활동을 '민족음악의 수립'이라는 음악 자체에 대한 성찰과, '인민을 위한 음악' 이라는 또 하나의 대의 명제인 대중화 운동으로 나누어 살펴보자. 첨예한 정치적 대립의 연속이었던 당시의 시대적 요청에 부응하기 위해 이들은 각종 운동단체 결성에 대한 문화 지원, 쟁의 중인 노동현장에서의 문화 공작대 역할수 행 등 활발한 활동을 벌이는데, 이 과정에서 많은 보다 저열했고 사회적 적극 성은 고사하고 초기 포크가 가진 반문화적 분위기도 나타나지 않았다. 새로운 실험보다는 대중적 인기를 고려하여 수상작이 결정되었고, 회가 거듭할수록 '가수등용문' 같은 상업적 경향은 더더욱 강화되었다. 대학가요제와 강변가요 제의 그나마 새로운 경향은 '록'이었다. 영사운드, 히식스, 신중현 등과는 비교할 수 없는 수준이었지만, 이들 대학생 록그룹들은 상당한 인기를 모으며 청소년 문화의 판도를 바꾸어 놓았다. 샌드페블즈, 활주로, 이명훈등. 또한 김창완 3형제의 산울림은 70년대 후반까지의 록 1세대의 부드러운 분위기를 탈피하고 이장희 등의 포크 록과도 구별을 짖는 감 각적파격과 지적인 이미지를 몰고 왔다. ,,,등 그러나 아직 록은 70년대 포크가 해냈던 정도의 새로운 인식이나 정서를 담아내지는 못하였고, 단지 질감과 양식 의 변화로서만 받아들여졌다. 폭발적인 정서의 표출, 강한 리듬과 큰 음량, 전자악기의 금속적 질감의 사이키델릭한 분위기 등 록 고유의 질감과 정서가 돋보일 뿐이었고, 가사의 중요성은 줄어들었다. 이러한 록의 열풍은 록의 제2세 대라고 부를만하며, 80년대 초반으로 이어진다.*민중가요 문화의 성립1) 낭만적 학생운동기의 종말과 새로운 출발 75년 긴급조치시대의 시작과 함께 낭만적 학생운동기는 끝을 맺게 되고, 학생운동은 양적인 축소와 함께 질적인 심화를 동반하게 된다. 즉, 운동권과 비운동권이 분리되게 되고, 운동권은 일반학생대중과는 다른 인식, 다른 생활, 문화를 가짐으로써 자신의 모든 것을 반성하고, 바꾸고자 노력하며 대학 생활4년 동안 일생을 거는 결단을 해야 했다. 이들은 대중가요에 대해서도 비판적 관점을 가지면서 대중 가요가 가지는 체제순응성에 대한 비판적 인식을 가지고 자신의 노래문화를 반성하였으며, 새로운 노래문화를 원하였다. 민중가요는 바로 요 지점, 즉 학생운동권의 노래문화로 시작하였다. 대중가요에 대한비판 내지는 극복의 전망 을 가지고, 대중가요와는 구별되는 향유층, 별도의 존재 방식을 가진 독자적인래 시작5)베트남전쟁을 전후해서 동남아시아와 멀리 유럽이나 미국 등지로유능한 가수들 해외진출= 패티 김, 윤복희, 이연옥, 곽순옥, 김성옥, 로라 성 등-1980년 독재정권의 시대*80년대 초중반의 대중가요1.대중가요계의 제 3의 안정기와 슈퍼스타 조용필 -1) 가요계의 천하통일, 조용필 70년대는 포크의 등장으로 기존 가요계의 주된 흐름인 트로트와 스탠더드와는 분리된 새로운 경향을 만들어나가 고, 70년대 후반 록이 거기에 또 하나의 경향을 보태는 등 새로운 경향들이 어느 것 하나도 뚜렷한 주도성을 잡지 못 한 채 솟아오르는 시기이다. 79년에 조용필은 이전까지의 가요의 성과를 종합하고 총괄함은 물론 그 수준을 한 단계 높이면서 슈퍼스타의 위치를 차지하게 된다. , , , , , 등 그의 재기를 성공시킨 노래들은 모든 계층에 고루 대중적이면서 선율적이며 느낌이 풍부한 단조스탠더드와 강한 리듬?음색의 록을 결합시킨 노래들이다. 또한 조용 필은 다양한 쟝르의 곡을 통해 거의 전 연령층?전 계층에 호소력을 발휘한다. 조용필의 노래들을 분석해보면 다음 과 같이 다양한 쟝르에걸쳐 분포되어 있음을 볼 수 있다.록에 가까운 노래들 :, 등정통 스태다드 :, , 등정통 트로트 :데뷔곡 , , 등포크적?가곡적 분위기의 노래 : 민요 : , 등이렇게 다양한 장르를 소화한 가수가 소화한 예는 일찍 이 없었다. 스탠다드와 록을 결합한 노래들을 성공시킴으로써 80년대 전반 가요계의 판도를 결정지었고, 이러한 경 향에 따라 김수철, 전영록, 윤시내, 이은하, 이선희 등 가요계의 대중적 히트곡이 나오게 된다. 이렇게 80년대 가요계는 70년대와는 달리 슈퍼스타 조용필을 중심으로 일정한 안정기를 맞게 된다.2) 최고의 상품으로서의 조용필 거의 전 연령층, 전 계층에게 호소력을 가지고 다양 한 취향을 만족시킨다는 것은 그만큼 많은 구매자를 확보한 다는 것을 의미하는 것으로 조용필은 가요계에서 최대이윤 을 창출하는 가장 우수한 상품이며, 그 상품적 우수성을 확보하기 위해 작위적인.

사회과학| 2003.07.15| 17페이지| 1,000원| 조회(887)

사상, 가요, 대중

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