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"리소그래피장비" 검색결과 101-120 / 255건

  • 세미콘 코리아 강연내용을 요약한 파일입니다.
    Semiconductor Industry- ASML이란포토리소그래피는 기판위에 빛으로 반도체의 패턴을 그리는 기술. 이 반도체 공정 장비를 만드는 회사가 바로 ASML이다. 중요한 것은 패턴 ... 을 찍고, 결함을 계측하고, 수정하는 역할을 한다.ASML은 1984년 네덜란드에서 반도체 공정의 핵심장비리소그래피 생산 기업으로 설립된 이래현재 세계에서 가장 규모가 큰 광학 ... 리소그래피 공정 장비를 공급하는 네덜란드계 기업입니다.- ASML의 직군포토 장비를 만드는 회사이기 때문에 장비에 문제가 생기기 마련이다. 이러한 장비는 쓰다보면 문제가 생기
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.04.16
  • LED 제조공정
    -GaN가 드러날 때까지 EtchingICP(inductively coupled plasma)장비 사용Wet Station을 이용하여 mask제거(P-GaN, N-GaN ... 에만 metal 올림 → 모든 곳에 올릴 경우 쇼트 발생)P-GaN, N-GaN에 PR이 날아가도록 포토리소그래피(Photolithography) 공정을 함E-Beam Evaporator ... (RTP 장비) 필요공기 중에 노출이 될 경우 오염물질이 쌓여 쇼트 발생가능 / 오래된 것은 활성층면이 산화되어 성능이 저하될 가능성이 있음이를 방지하기 위해 보호할 부분
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.07.10
  • 실리콘 웨이퍼 표준 세정, Cr증착, photolithography 공정 최종보고서
    화공소재실험결과보고서실리콘 웨이퍼 표준 세정, Cr증착, photolithography 공정제 1 장. 실험목적반도체 제조공정의 핵심공정인 포토리소그래피 공정까지의 공정을 수행 ... 함으로서 세정방법과 증착의 원리, 포토리소그래피 공정의 중요성 등을 인식하고 공정을 이해하기 위함.제 2 장. 이론(요약)1. 세정법[1]웨이퍼를 제조하여 준비된 이후 이를 공정 ... 하였는데, PVD 장비에는 evaporator와 sputter가 있다. 두 가지 PVD 장비를 다음의 차이점을 통해 간략히 정리한다.표3. sputter 와 evaporator의 장단점s
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.04.01 | 수정일 2020.08.17
  • Photolithography and Moore’s law
    듯이 전자 회로를 그린다고 하여 '포토'라는 이름이 붙여졌습니다. 따라서 '포토리소그래피(Photolithography)'는 원하는 회로설계 디자인을 유리판 위에다가 금속의 패턴 ... 이 좁을수록 전자의 이동량이 많아져서 회로의 작동 속도가 빨라지는 것을 말합니다.반도체 노광 장비는 그동안 개구수(numerical aperture, NA)가 파장이 짧은 빛 ... 을 광원으로 사용하고, 높은 큰 렌즈를 사용하며 발전해왔습니다. 그러다 30nano대 이하로 게이트 폭이 줄어들게 되면서 기존의 액침 ArF 노광 장비의 patterning 능력이 한계
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.01.08
  • 2019 패터닝 예비보고서 (74.5/80)
    ) 선성형(Molding)→ 최종 검사Lithography 란?포토리소그래피Lithography공정이란 노광 공정이라고도 하며 웨이퍼에 도포한 빛을 조사하여 광화학 반응을 발생 ... 시킴으로써 포토레지스트에 마스크 패턴을 전사하는 공정이며 반도체의 제조 공정에서 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 형성하는 가장 중요한 공정이다. 리소그래피에서는 광원의 빛을 마스크를 통과 ... 트의 막질이 변화한다.리소그래피 공정 순서리소그래피 공정은 위의 그림과 같이 7가지로 분류할 수 있다. 먼저, 웨이퍼의 표면을 화학 처리하는 HMDS 처리이다. 이 과정을 통해
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.04.14
  • 디스플레이 아이디어 레포트
    0 /6 Idea 명 포토리소그래피를 이용한 고해상도 OLED 화소 구현 제안 분야 신기술 Idea 요약 본 idea 는 미세패턴 구현이 가능한 포토리소그래피를 OLED 공정 ... 에 접목시켜 ppi 를 적어도 33,892 까지 향상시킬 수 있다 . 더 상세하게는 OLED 유기물을 손상시키지 않는 Photo Resist 를 이용해 R,G,B 순으로 포토리소그래피 ... 됨 기존의 고집적 반도체 구현에 사용하는 포토리소그래피 공정을 OLED 소자 구현에 접목함 압도적으로 높은 ppi 구현 가능 대화면 구성 시 FMM 처럼 쳐지지 않기 때문에 대형
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.12.27
  • 생산공학 연세대 기말고사대비 자료 중요예상문제 및 답안 정리 [A+]
    Photo lithography로 몰드를 제작하는 과정을 도식화해서 설명하라.1. 일반적인 포토리소그래피포토리소그래피는 빛을 이용하여 돌판에 그림을 그린다는 의미이다. 공정 ... 에는 노광기, mask, PR, 기판 등이 사용된다. 포토리소그래피에는 다음의 과정이 있다.Cleaning : 아세톤/에탄올/증류수로 rinsing하여, 유기질, 무기질 불순물을 제거 ... 하고 PR이 반응하는 파장 대의 빛을 조사한다. 조사 시간이 부족하면, development 과정에서 불완전한 현상이 될 수 있다. 빛의 회절하는 성질 때문에 포토 리소그래피의 한계
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.06.30 | 수정일 2020.04.07
  • 포토리소그라피 공정 반도체 실험 과정과 결과물
    .photolithography의 개요빛을 사용하여 노광하는 포토리소그래피 장비의 기본적인 형태는 사용되는 광학계에 따라서 결정되는데, 크게 나누어서 근접 노광 방식과 투영 노광 방식이 있 ... . (Did u get to know the principle of lithography? And explain it in the report포토리소그래피(Photolithography ... 하나의 원판을 정확하게 제작한 후 빛을 사용하여 같은 모양의 패턴을 반복하여 복사하면 짧은 시간에 소자의 대량 생산이 가능하다. 물론 포토리소그래피 공정만으로 3차원 구조가 만들
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 22페이지 | 4,000원 | 등록일 2019.02.28 | 수정일 2021.07.07
  • MEMS관련 기술 논문 분석
    장비를 이용하여 PVC(Polyvinyl Chloride) 시트를 유리전이온도까지 가열한 뒤 매미 날개를 그 위에 올려놓고 압력을 가함으로써 매미날개의 표면구조가 역상의 형태 ... 와 증류수의 접촉각을 측정하여 표면구조가 없을 때보다 투과도 및 접촉각이 증가함을 확인하였다.이기중, 신용범, 조나래 (2014). 희생층과 UV 나노임프린트 리소그래피를 이용 ... 하면 유기용메에도 메탈을 쉽고 빠르게 lift-off 할 수 있다.김진승, 조중연, 이헌 (2012). 나노임프린트 리소그래피를 이용한 나노 패턴 사파이어 기판 제작과 이를 이용
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.11.22
  • VLSI공정 6장 문제정리
    에 의해 노광을 하고자 하는 영역 이외의 부분에도 영향을 끼쳐, 원하지 않는 패턴의 형성이 생기는 현상이다.장비가 고가이다.d) 더욱 해상도가 높은 전자선 리소그래피를 위해서 전자 ... -> negative PR이 현상 시 PR이 현상액을 흡수하여 부피가 팽창한다. 이로 인해 negative PR은 해상도가 제한된다.6-2. 20keV의 에너지의 전자를 이용하는 리소그래피 ... `t유리한 근본 이유는?-> 작은 패턴을 형성하기 위해서는 해상도와 DOF가 매우 중요한데, 전자선 리소그래피는 광 리소그래피에 비하여 초점심도(DOF)가 높기 때문에 작을 패턴
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2018.06.05 | 수정일 2020.05.03
  • 단국대 반도체 공정 구용서교수님 과제
    Ultraviolet) 이란 차세대 노광장비의 광원으로, 가시광선보다 짧은 13.5 나노미터 파장을 이용한 리소그래피 기술을 말한다. 최근 삼성전자를 비롯해 TSMC, 인텔, SK하이닉스 등 ... 되며, 깊이에 대한 원자분포의 모양이 생성되게 된다. SIMS는 실리콘의 불순물 분포를 알아보기 위해 필요한 민감도를 갖고 있으면 표면 분석에만 사용되는 장비.Oxide thickness ... 세계적인 파운드리 업체가 10나노대 미세공정 기반의 칩셋 개발에 주력함에 따라 웨이퍼 당 노광공정 스텝 수를 축소할 수 있는 EUV장비에 대한 수요가 높아지고있다. 이러한 노광
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.12.13
  • (A+레포트) PSM, OPC, OAI, Double Patterning 같 분해능 향상 기술
    REPORT반도체 소자를 제조할 때 제조업체는 리소그래피 공정을 통해 마스크의 패턴과 정확히 같은 형상을 웨이퍼 상에 전사시켜야 한다. 현대에 들어 마스크의 패턴은 더 미세화 되 ... 되도록 인위적으로 변조시킨 마스크를 이용하여 리소그래피를 하는 방법을 말한다. Reticle Design상에서 Pattern Edge부에 Cr 추가 및 제거를 통해 PR ... 노광에 사용되는 노광 장비의 로 퓨필(raw pupil)을 모델링하고 퓨필 파라미터를 수집하는 단계, 테스트 마스크를 이용하여 샘플 웨이퍼를 제작하는 단계, 샘플 웨이퍼의 CD
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.07.02
  • ASML 이력서+자소서
    한국커리어개발원최종합격2016.02통계적공정관리 2급한국커리어개발원최종합격2016.03자기소개서ASML 지원 동기리소그래피 장비 산업에서 ‘세계 최고’라는 성과를 내는 ASML ... 에 지원하게 된 동기는 다음과 같습니다.▶첫 번째는 저는 ASML의 뛰어난 기술력에 매력을 느꼈습니다.저는 리소그래피 장비를 이용하여 졸업 작품을 연구를 진행한 경험이 있습니다. 제 ... 가 사용하는 장비를 공부하면서 리소그래피의 선구 기업이 ‘ASML’ 임을 알게 되었습니다. Youtube에서 10nm 이하의 공정을 가능케 하는 EUV 장비 영상을 접하게 되
    Non-Ai HUMAN
    | 자기소개서 | 5페이지 | 9,500원 | 등록일 2018.11.17
  • 레이저 공학 레포트 (응용분야, 레이저 거리 센서)
    리소그래피(1) 레이저 플라즈마 X선 발생원리 (2) LAPLAX 리소그래피4. 자외선 펄즈레이저에 의한 반도체 표면 에칭 계측(1) 드라이 에칭의 레이저 계측 (2) Si기판 ... ) 내부전반사 조명법 (4) 전방 산란법10, 레이저 클리닝(1) 표면경화 (2) 레이저 어닐링 (3) 표면합금화 처리11. 엑시머 레이저에 의한 리소그래피(1) 스캔방법 (2) 광학 ... 기 군사 장비와 달리 레이저 거리계는 단일면 또는 360도 스캔 모드로 고정밀 스캐닝 기능을 제공한다.가능한 한 적은 오류로 완벽한 3D 모델을 생성하기 위해 단일 객체의 여러
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2018.11.15 | 수정일 2018.11.22
  • 포토리소공정
    포토리소그래피(Photolithography)공정1. 정의 : 포토리소그래피 공정은 어떤 특정한 화학 약품이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용한 것이 ... 다, 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 패턴 마스크와 동일한 패턴을 형성시키는 공정이다.2. 실험 목적1) OLED공정의 포토리소그래피 공정 ... 의 순서를 안다.2) 포토리소그래피의 각 공정 마다 하는 목적과 특징을 이해한다.3. 실험 이론포토리소그래피 공정 순서세정 - PR도포, 코팅 - 소프트베이크 - 노광 - 현상 -하
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.11.15
  • 실리콘 웨이퍼에 패터닝 후 에칭과 P/N type 판정
    제목실리콘 웨이퍼에 패터닝 후 에칭과 P/N type 판정실험목적실리콘을 이용하여 반도체 제조 공정의 기본인 리소그래피와 에칭을 한다.이론적 배경리소그래피 방법웨이퍼 세척웨이퍼 ... , 웨이퍼에 불순물이 묻지 않도록 주의한다.)조각난 샘플은 N2 blowing을 이용해 표면에 달라붙어 있는 먼지, 불순물을 제거한다.리소그래피 (Lithography)PMMA를 준비 ... (7:1)용액의 엣칭 속도 : BOE 1122 Å/min (at 300 K)Etch rate : 160 초에이프런, 안면보호대, 마스크, 장갑 등 보호장비를 착용하고 테플론 비커
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.08.18
  • 건국대학교 기계제작공정(기제공) 10장 과제 솔루션(해답)
    하는가? 사용될 수 있다면 어떤 부분에 사용될 수 있는지 설명해라.- 벌집구조의 구리로 된 라디에이터는 열전도를 향상시킬 수 있다.10.31 각종 스포츠장비를 조사하고 복합재료 ... 하는 경우, 필요하다고 생각되는 마무리작업들을 나열하여라.- 마무리작업은 여러가지 시작품 생산 공정에 필요하다. 예를 들면 스테레오리소그래피 같은 경우 레이저만으로는 중합을 모두 할 ... 에서의 그것과 달라질 것이기 때문이다.10.50 스테레오리소그래피로 제작한 긴 외팔보는 경화 과정에서 잔류응력이 제거되면서 휘는 문제가 생긴다. 이 문제를 없애거나 제어할 방법을 제안하여라경한다.
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.08.15
  • 판매자 표지 자료 표지
    KCC 대졸(전역)장교 합격자소서
    공정을 수행을 위해 학부생 연구 프로그램을 통해 장비 SET-UP부터 반도체 8대 공정 경험을 쌓았습니다. 2학년 겨울방학 동안 RF 스퍼터를 통해 Mo 박막을 제작하고 전착 ... FABRICATION 실험을 통해 반도체 공정 이론과 포토리소그래피에 대해 심층적으로 학습할 수 있습니다. PR 코팅부터 노광, 에칭, 마지막 클리닝까지 이론과 함께 직접 실험할 수 있 ... 성을 포함 특성 분석 실험을 했습니다. 실험 초기 고진공이 되지 않는 문제가 발생해 실험을 진행할 수가 없었지만 Post-Doctor 선배와 함께 장비의 한 펌프가 제대로 결합되지 않
    Non-Ai HUMAN
    | 자기소개서 | 2페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.10.31
  • 반도체의 개요
    한 포토 리소그래피에 사용되는 회로의 원판으로서 레이저 전자빔을 이용한 최첨단 장비를 사용하여 석영위에 미세한 크롬패턴을 형성한 것을 말한다. 따라서 회로원판에 존재하는 Eroor는 곧 ... 면 그 순서에 따라 장비나 작업을 자동으로 제어할 수 있게 되는데, 이러한 반도체는 ‘마이크로프로세서’라고 한다.Ⅳ. 반도체 재료의 종류1.개요반도체 재료란 칩을 직접 구성하거나 칩 ... 상에 구현하는 포토리소그래피 공정이 가장 중요한 부분을 차지하는데, 이것은 이 공정에서의 퀄리티가 반도체 chip의 생산성은 물론 전체 품질을 좌우하기 때문이다. 포토 마스크는 이러
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 9페이지 | 3,800원 | 등록일 2017.12.24 | 수정일 2021.04.16
  • 판매자 표지 자료 표지
    [A+ 보고서] 패터닝 예비보고서
    적으로 제거될 수 있도록 한다. (a)에서 (c)까지의 단계를 거치면 리소그래피의 전 공정이 완성된다.(4) 식각(etching)의 종류와 정의 (식각 장비의 종류와 원리를 중점 ... 한다.6. 밀봉(potting) : 다이를 밀봉해서 보호하기 위해 패키지에 껍질을 씌운다.(3) Lithography(리소그래피) 란?▲ 리소그래피 공정의 요약 반도체의 기판 위 ... 다. 리소그래피 공정에서의 주요 단계는 오른쪽의 그림으로 설명된다. 이 그림은 필름의 패턴을 만드는 것이다. 맨 처음에 웨이퍼의 윗면은 포토레지스트 라 불리는 자외선 감광 재료로 코팅
    Non-Ai HUMAN
    | 리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.02.24
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2025년 10월 30일 목요일
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