"박막증착실험"의 검색결과 입니다.

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cvd 결과보고서 알파 스텝 반도체 공정실험 박막 증착 전기화학 cv 작성 RF-magnetron sputtering PR두께

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"박막증착실험" 검색결과 981-1,000 / 1,111건

탄소나노튜브에 대해서

레이저 사용시 유지보수의 문제가 있고 생산량이 극소량이란 단점이 있다. 실험실에서 소재의 물성연구 등에 주로 사용한다.● 열화학 기상증착식: 고온의 로안에 탄소 성분의 가스를 흘려주 ... 되고 있다.? 탄소나노튜브 기술- 탄소나노튜브를 합성하는 방법은 크게 2세대로 구분된다. 1세대 방법으로는 전기방전법이 주류를 이루었으나, 이후 레이저증착법, 열분해법이 제시 ... 시킨 후 전기방전을 유도하는 방법. 양극쪽과 챔버 겉면에서 탄소나노튜브가 생성된다. 이 방법은 제품의 품질은 우수한 반면 양산에는 다소 문제가 있는 것으로 평가된다.● 레이저 증착식

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.06

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생명공학나노공학정보통신공학등과학기술의발전현황이우리일상에미치는영향에대하여-fp

를 바탕으로 노광 기술부터 식각 기술, 박막 증착 기술 등에서 나노미터 크기를 다를 수 있는 실리콘 기술을 개선 발전시켜 나노 영역에서 세심하게 적용되어야 합니다. 이론적으로 실리콘 ... 되고 있는 집적 회로의 최고 밀도는 제곱인치당 1GB며 실험실에서는 10GB까지 개발된 상태입니다. 100GB 이상은 ‘초상자성 한계’로 인해 더 이상 기억 밀도를 높이기는 불가능

리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.11.07

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[재료실험] 진공증착(evaporation)

, 응축 계수(condensation coefficient)등에 의존하므로 진공증착 박막실험시 세심한 주의와 관찰을 필요로 한다.그림 1. Evaporation from (a ... 1. 실험 목적:진공중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착시켜 기판의 전기전도도를 측정한다.2. 실험 ... 이론:진공증착 박막방법의 장점은(1) 장치전체의 구성이 비교적 간단하다.(2) 매우 많은 물질에 쉽게 적용할 수 있다.(3) 박막이 될 수 있는 메카니즘이 비교적 단순하기 때문

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.11.26

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[기술]제진합금, 비정질 합금

]공증착, 스퍼터링(Sputtering)법 등이 대표적인 것이다.진공 증착법은 진공 용기 속에서 금속을 가열하여 기체 상태로 만들고, 기판표면에 수증기를 부착시켜 박막을 만드는 것 ... (Coating)법무전해 코팅법수 mm 후막기상에서부터 급랭진공 증착법이온 도금법스퍼터링(Sputtering)법화학 증착법(CVD)법10～10Å극박막10~10Å극박막10~10Å극박막수 mm ... 이다. 스퍼터링법은 Ar과 같은 불활성 가스를 방전하여 플라즈마(Plasma)로 만들고, 모합금에 충돌시켜 튀어나온 원자를 기판 위에 부착하여 박막을 만드는 것으로, 희토류 금속

리포트 | 22페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.03.28

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[환경공학]탄소나노튜브

)등의 실험적 결과를 해석하는데 중요하다1. 합성온도에 따른 탄소나노튜브의 구조특성을첫째, 열 화학기상증착법으로 합성시킨 탄소나노튜브는 합성온도에 관계없이 모두 내부공간이 비어있 ... , 열화학기상증착법으로 합성시킨 탄소나노튜브의 팁은 끝부분이 막혀있고, 팁 형상이 곡면형태를 가지고 있다.다섯째, 열화학기상증착법으로 합성시킨 탄소나노튜브에서 대나무 구조의 형태 ... 를 이용한 전자방출특성은 기존의 실리콘 팁이나 DLC 박막 또는 탄소박막에서 보고되고 있는 전자방출전압과 전자방출전류밀도 수준에 비해서 대략 10 - 100배 이상의 높은 값을 나타냈

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.01.23 | 수정일 2015.10.06

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[예비]아보가드로수의 결정

(Langmuir-Blodgett film)수면의 흡착현상을 이용한 유기초박막을 제작하는 방법. 진공증착법 등과 비교해서 에너지가 현저하게 적게 들어 결함이 적은 막일뿐만 아니라, 비교적 간단 ... 실험 예비 보고서아보가드로수의 결정학과 학년 학번 이름 실험조제출일 담당교수 담당조교1. 실험명 : 아보가드로수의 결정2. 실험일자 : 년 월 일3. 실험목표 : 물 위에 생기 ... 는 기름 막을 이용해서 몰(mole)을 정의하는데 필요한 아보가드로수를 결정한다.4. 실험이론· 아보가드로수 (Avogadro's number,)1mol의 물질입자 (분자·원자·이온

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.02.12

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MEMS 란

- 1980년대 이후 : surface micro machining 기술로 기판을 손대지 않고, 기판 위에 증착된 희생 박막을 에칭해서 박막으로 된 3차원 구조물을 만들게 되었다. MEMS ... 의 보안장치에도 사용되고 있다.3. MEMS 의 활용방안MEMS 에 대하여 조사하고 책도 읽어보았지만 아직 확실하게 어떤것을 MEMS라고 하는지 감이 잘 잡히지 않는다. 우리가 실험

리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.11

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[다공성 실리콘] 전기화학 에칭으로 생산된 다공성 실리콘의 조직성과 광학적 성질

하였다.가. Metalization1) Surfactant-assisted processing ; CVDMOCVD에 의한 금속 증착에서 박막성장 양상 중 가장 이상적인 것은 한층씩 쌓여가 ... 는 layer-by-layer 성장이다. 이러한 양상으로 증착되는 금속 박막은 기판의 표면을 균일한 두께로 덮는 conformal deposition이 가능하며 다층배선의 층간을 연결 ... 하고 bottom up filling을 가능하게 해주는 첨가제의 개발하는 것이다.3) Catalytic CVD금속 박막의 MOCVD의 또 하나의 단점은 증착 속도가 너무 낮은 것이

리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.06.15

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PVD, CVD 그리고 Nucleation

증착하고자하는 박막에 따라 반응 용기 안에 원하는 종류의 재료를 설치하게 되는 Target 등으로이루어 진다.1.1. PVD 기술에 의한 박막 형성법가) 진공 증착법저압하에서 열선 ... 으로 만들어진 도가니 안에 금속 물질을 넣어 놓고 열을 가하면 금속물이 융점 이상의 온도에서 증발되어 나온 입자를 기판 위에 증착 시키는 기술로 박막을제조하는 방법을 말한다. 가열 ... 하고 있는 양 이온들이 전기적인 힘에 의해Target 표면에 충돌하여 Target에서 떨어져 나온 원자들을 기판 위에 증착 시키는 기술로 박막을 제조하는 방법을 말

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.23

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스퍼터링 증착

< 실험 보고서>SPUTTERING- sputtering법에 의한 금속박막의 증착과 밀착력 측정교 과 명 : 재료공정실습학 과 : 신소재공학과교 수 님 : 김상호교수님조 교 ... 님 : 서윤석조교님학 번 : 2002171002이 름 : 곽 유 란1. 실험제목sputtering법에 의한 금속박막의 증착과 밀착력 측정2. 실험목표1) sputtering법을 이용 ... 하여 금속(구리)를 증착시킨다.2) 밀착력측정법을 숙지하고 실제로 박막의 밀찰력을 측정할 수 있다.3) 밀착력의 차이를 증착시의 공정변수와 관련지어 원인을 규명한다.3. 실험이론1

리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.26

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SEM(주사전자현미경)의 미세먼지 실험

SEM(주사전자현미경) 미세 구조 분석 실험『목차』1. 실험목적2. 실험장비3. SEM의 원리, 장점, 구조, 용도4. 미세구조 분석 실험 과정※ 폴리싱 하는 이유※ SEM 사용 ... 시에 시편에 에칭을 하는 이유5. 실험결과6. SEM과 광학현미경 비교7. 논의 및 고찰1. 실험목적- 배율 X 100,000 이하의 고배율을 얻을 수 있는 주사전자현미경의 작동 ... 원리를 이해하고 본 실험에서는 주사전자현미경을 이용하여 세라믹 재료의 파단면 형상, 기공의 존재, 분말의 입자크기 , 그리고 표면형상 및 평균 결정립 크기를 조사하기 위한 시료

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.04.14 | 수정일 2017.04.06

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Cell gap 측정, 표준 셀의 유전율 측정

LCD 표준 셀 특성평가 실험 1 : Cell gap 측정, 표준 셀의 유전율 측정1. 실험목적완성된 표준 셀의 셀 간격을 측정한다.주입된 액정의 유전율을 측정하여 액정이 저장 ... 다. 컬러 필터 기판은 흔히 공통 전극 기판이라고 부른다. 이 기판 위의 투명 공통 전극은 ITO (Indium Tin Oxide)로 만들어지고 컬러 필터의 위쪽에 증착되어 있 ... to Peak법이 가장 널리 이용되고 있다. 그러나 액정이 주입된 셀의 cell gap측정시 이 측정법에서는 투과율이 LCD에 사용되는 액정, 박막 및 유리등과 같은 LCD구성

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.11.03

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온도압력 예비결과 보고서

mm의 광축에 대해서 절출시킨 것인다. 즉,게루마늄 및 실리콘 반도체에 존재하는 피에조저항효과를 이용한 벌크 게이지와 실리콘을 적당한 내열성의 베이스 상에 박막상으로 진공 증착 ... Ⅰ. 온도 측정 실험1. 결과 table(1) 가열실험PT100REFReading(℃)PT100INDReading(Ω)ThermocoupleReading(μV ... .87246437178.577(2) 시간 응답성 실험종류PT100REFPT100INDThermo-coupleThermistorLiquid inGlasstemp.increase

리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.01.19 | 수정일 2014.02.04

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식각 공정

1. 실험제목박막재료의 표면 처리 및 식각 공정2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1)증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 ... 그리고 (3) 식각공정으로 구분된다. 이러한 공정 들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하 ... 여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 널리 사용되는 실리콘 산화막

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.07.03

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금속 산화물 및 질화물의 합성 및 특성 예비보고서

금속 산화물 및 질화물의 합성 및 특성2007년 4월 13일금속 산화물 및 질화물의 합성 및 특성1. 실험 목적알루미늄 착물을 이용하여 질화알루미늄(AlN)분말을 합성 ... 이 매우 낮아야 된다. 또한 완전한 밀도의 소결체를 얻기 위해서는 입자의 크기가 미세해야 하며, 좁은 입도분포를 가져야 한다.아래의 에 지금까지 알려진 질화알루미늄의 분말합성법과 박막 ... 합성법(화학증착법)을 실었다. 분말의 합성법 중에서 공업적으로 많이 사용되고 있는 합성법은 다음의 두 가지이다: 금속알루미늄을 고온에서 질소 혹은 암모니아 기체와 직접적으로 질화

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.03.09

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[공학]Ag(Cu)/Si의 열처리 및 silicide 형성에 따른 영향

Ag(Cu)/Si의 열처리 및 silicide 형성에 따른 영향1. 실험목적Si기판에 Ag(Cu)를 증착을 하여 만든 Ag(Cu)/Si 반도체를 제작하여 보고 이를 각각의 온도 ... (scratch test), TEM(Transmission Electron Microscopy)3. 실험결과1) 면저항과 증착된 길이(두께)를 통한 비저항값두께 : 2000 ... 에 따라 열처리하여 Ag(Cu)/Si의 열처리 온도에 따른 비저항의 변화를 관찰하고 silicide의 형성에 따른 Ag(Cu)/Si 반도체의 특성을 관찰하여 본다.2. 실험방법기판

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.10

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진공펌프의 종류와 용도

용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태이다. 음식건조, 증류, 박막 증착,플라즈마 공정, 네온사인 등이 이영역의 진공대에서 운용되고 있다. 고진공은 10-3~10 ... ray tube), 이온주입(ion implantation), 증착(evaporation), 전자현미경 등이 니 영역의 진공대에서 운용되고 있다. 초고진공은 10-8Torr범위의 속 ... 한 진공상태이고 분자가 진공용기 내부 표면에 단일층을 형성하는 시간이 충분히 오래 걸려 여러 가지 표면에 관한 실험을 할 수 있는 상황이 된다. 우주관련 연구, 물질연구, 표면분석

리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.10

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CVD로 성장시킨 실리콘 나노와이어의 분석

는 이지기, 광전자 소자등에 적용될 수 있는 가능성이 증명되었다.2. 실험 방법2nm 두께의 Au 박막이 코팅된 글래스 기판을 산소 플라즈마를 이용하여 클리닝 한다. 산소는 에너지 ... -목차-Abstract1. 나노와이어2. 실험 방법3. 나노와이어 생성 메커니즘4. 실험결과4.1 XRD4.2 SEM4.2.1 Si 나노와이어4.2.2 ZnO 나노와이어5. 참고 ... 이 1064℃로 금속중 비교적 낮은편에 속하여 thermal evaporation으로 증착하는 방법이 일반적이다. 또한 화학적으로 매우 안정하여 화학적으로 작용하는 촉매 활성이 거의 없

리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.12.09

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RF Magnetron Sputtering

지 않는다.공기 압력이 충분한가 살핀다.Shotter valve가 동작하지 않는다.전선 누전을 확인실험중 타는 냄새가난다.진공확인.용기 오염정도, 펌프 오일이 역류했는지 확인증착후 면 ... 에서 plasma가 유지 금속 이외에도 비금속, 절연체, 산화물, 유전체 등의 sputtering이 가능 13.56MHz의 고주파 전원 사용 다양한 재료의 박막제조 가능 전자를 타겟 주위로 묶 ... 이 일어남 (13.56MHz, 27.12MHz의 RF가 사용) 절연체 target은 열전도성이 좋지 않아 열충격에 의하여 깨질 수 없기때문에 제한되 증착속도 만 증착 해야 한다

리포트 | 35페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.04.20

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[박막증착]박막증착

하다. 형성분무법 (Spray)화학증착법 (CVD)APCVD, LPCVD, PECVD, EPITAXY, MOCVDSOL_GELDIPPING물리적 박막 형성진공증착법 ... 1. PVD, CVD, 무전해도금◎ PVD (Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E ... -beam evaporation), 열증착법 (Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착

리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.20

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