"박막증착실험"의 검색결과 입니다.

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cvd 결과보고서 알파 스텝 반도체 공정실험 박막 증착 전기화학 cv 작성 RF-magnetron sputtering PR두께

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"박막증착실험" 검색결과 901-920 / 1,111건

[공학]Chemical Method에 의한 박막증착 중 Electroplating(전기도금) 을 이용한 박막증착

Ⅰ. 실험 제목 : Chemical Method에 의한 박막증착 중 ElectroplatingⅡ. 실험 목적 : 화학적 방법에 의한 박막증착 중, 전기도금에 의한 방법으로 증착 ... 실험을 해보고, 그 과정과 원리를 이해한다. 그리고 실험의 기본 조건에서 변수를 달리하여 실험 후, 변수에 따른 박막두께 및 질량등의 차이를 비교하여 관찰해본다.Ⅲ. 실험관련 이론 ... 에 같은 수의 전기량이 두 전지를 통과한다. 따라서 전기분해에 사용된 쿨롱상수는 실험전지의 회로에 은전기량계(Silver coulometer)를 직렬로 연결시켜 측정할 수 있

리포트 | 19페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.11.14

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저항

1.실험목적-각종 저항을 알아보고, 색띠표에 의한 저항식별법을 공부한다.2.관련지식○저항의종류-도체는 전류를 잘 흘리는 물체이고, 절연체는 전류를 잘 흘리지 못하는 물체이다.이 ... 여 주물로 만든 것도 있고, 금속이나 탄소 박막에 세라믹도포를 한 것도 있으며, 도선을 감아서 원하는 저항값을 가지도록 한 것도있다.○고정값 저항기1)탄소피막 저항기가장 널리 사용 ... 기로 특히 고주파 특성이 좋으므로 디지털회로에도 널리 사용되고있다. 제조 방법은 세라믹 로드에 니크롬, TiN, TaN, 니켈, 크롬 등의 합금을 진공증착, 스퍼터링등의 방법으로 필름 형태로 부착시킨 후 홈을 파서 저항 값을 조절하는 방법으로 만든다

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.03.25

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[공학]스핀트로닉스의 이해

었기 때문이었다. 그러나 '90년대에 들어오면서 고진공증착기술과 표면과학의 급속한 발전으로 나노미터 두께의 자성박막 제조가 가능하게 되었고, 또한, 이들 인위적 제조물질에서 기존 ... 경우스핀의방향이 박막 면에 수직하게 정렬하는 소위 수직자기이방성을 가진다는 새로운 실험결과를 학계에 발표하면서 이 분야연구의 기폭제가 되었다. 이는 통상 자성박막이 자기지움 ... 를 이용한 박막 트랜지스터(thin film transistor)가 개발되어 여러 논리회로를 고분자 박막으로 만들 수 있다는 것을 증명함으로써 분자 수준의 조작을 통한 다양한 분자전자

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.01.29

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태양전지

-Coating")으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로 증착한후 금속전극을 입힌다. 이미 4ft2 모듈(module)에서 11%의 효율이 기록된 바 있으며 실험실에서는 17 ... 유리와 같이 값싼 기판위에 박막형태의 태양전지를 증착시키는 기술이 주목을 받고 있다. 기존의 박막 제조공정을 이용할 경우 보다 값싼 방법으로 태양전지의 대량생산이 가능하기 때문이 ... 성이 높은 태양전지로 현재 CdTe는 대규모 전력용으로 사용을 위한 실증시험 중에 있다. CuInSe2는 실험실적으로 만든 박막 태양전지 중에서 가장 높은 변환효율을 기록하고 있

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.04

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Spin coating 법을 사용하여 발광박막의 제조-ZnO

1. 목적Spin coating 법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조공정의 이해를 돕는다.Spin coating이나 진공 증착으로 제작되는 유기 전계 발광 소자 ... 하는 경우도 많이 알려져 있다. 이러한 구조의 유기 전계발광소자의 제작방법은 저분자 유기 전계발광 소자의 경우 4층의 유기막들을 진공증착법을 통하여 순차적으로 증착하여 형성을 하고 있 ... 으며 고분자의 경우는 용매에 고분자를 녹여 코팅 또는 프린팅 기술을 이용하여 형성을 하고 있다.박막제조공정(Thin film process)의 개요Thin film process

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.01.03

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플라즈마란

는 플라즈마.플라즈마를 이용한 증착법을 쓸 경우, 부착력이 좋고 증착 온도가 낮아져 기존의 방법에서와 같이 증착시 기판의 고온 가열이 필요하여 이에 수반되는 모재의 변형, 변성을 줄일 수 ... 자동차 부품생산에서 진공열처리, 플라즈마 표면처리, 경질박막 기술을 보유하고 있다. 플라즈마 코팅공정은 금속 부품소재의 내마모성과 내식성, 고온강도 내피로성, 내부식성 등을 향상 ... , 반응 물질을 플라즈마 상태로 만들어 기판 상에 증착하거나, 플라즈마 상태의 반응 물질을 이용, 세정(cleaning), 애슁(ashing) 또는 에칭(etching)하는 데 이용

리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.09

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[디스플레이]ito투과도와 면저항 실험

으로 박막을 증착하는 방법도 사용되고 있다. Sputtering 방법은 진공 챔버에서 코팅 source가 되는 타겟에 (-)전압을 인가하여 Ar gas를 방전을 시킨다. 방전된 Ar ... + 이온이 타겟을 때릴때 튀어 나오는 타겟 물질이 코팅 시키고자 하는 기판에 도달하여 박막이 증착이 된다.Ion Plating 기술은 증착입자를 전자빔 또는 도가니로 가열하여 증착입자 ... .3.이론적 배경ITO 코팅유리란 유리기판 위에 ITO타겟을 물리적으로 진공 증착하여 유리기판에 얇은 막이 형성된 유리를 말한다.이러한 ITO 코팅유리는 전기가 흐르는 특성과 함께

리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.06.19

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유기박막트랜지스터

박막질에 따라 여러 종류가 있다. 여러 유기물을 이용한 TFT 실험들이 행하여지다가 사용할 수 있을 정도의 성능을 보인 것들을 위주로 살펴보면, 폴리타이오핀(polythiophene ... 유기박막트랜지스터0.0. 연구의 배경최근 전도성 유기물을 이용한 다이오드나 트랜지스터 등이 큰 이슈가 되고 있다. 전도성 유기물이란 전기적으로 금속이 아니고 자유전자를 가지 ... 를 가지면서도 초박막 형태에서도 그 기능이 유지되기 때문에 초박막 나노 소자도 개발이 가능하다.유기물을 이용한 전자 소자는 매우 다양한 종류가 있다. 우리가 살펴보려고 하는 유기박막

리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.07

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포토리소그라피(photolithograpy)공정의 기본과 금속배선공정인 무전해, 전해도금의 기초 및 원리

Fabrication)Ⅱ. 금속 배선 기술1. Sputtering1.1 Sputtering의 개요- 스퍼터링은 전자 박막재료 증착 과정 중 하나인 Physical Vapor ... 하게 되는 현상을 말한다.그림 . Sputtering의 기본 원리(출처 : www.cstl.nist.gov)박막 증착에서 sputtering이라 하면 target 원자의 방출과 그 ... 의 박막을 장벽 또는 전도체와 실리콘 기판 사이의 절연체로 사용한다. 또한 불순물 침투나 접합이 필요한 곳 어디나 이런 장벽 물질에 구멍이나 창을 뚫게 된다.패턴 창을 가지는 마스크

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.17

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epitaxy 공정

)은 초고진공(10-11 torr 이하) 장치 내에서 원료 물질을 증발시켜 기판에 증착시키는 물리적 증착 기술 즉, PVD 기술의 하나이다.- 이러한 성장 방법들에 의해 Si ... 과 GaAs를 포함하는 광범위한 반도체 박막 결정들이 키워지고 있다. 특히 화합물 반도체를 이용한 전자 및 광전자 소자의 구현에 있어 에피택시 공정은 필수적인 공정이라 하겠다.다음 ... )과 실험 결과(점선)을 보여주고 있다.점선 : 실험치, 실선 : 계산치2.2 CVD 실리콘 에피층 성장의 화학반응실리콘 에피층을 형성시키는 반응 원료 기체는 아래의 4가지이

리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.06.21

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Photolithography

1.실험제목 : Photolithography2.실험목적Photolithography를 이용해 실리콘 웨이퍼 위에 원하는 모양으로 산화층 패턴을 넣고 Al증착 바로 전단계 ... 까지 완성할 수 있다.3.실험이론Photolithography란?우선 실리콘 산화막 위에 액상의 감광제 (photoresist)를 회전도포(spincoating)하여 적정한 두께로 형성 ... 들로는 점성계수, 다중체(polymer)함량, 회전 속도와 가속도 등이 있다. 점성 계수는 감광제 박막의 두께를 결정하는 가장 중요한 척도로, 반도체 공정에 쓰이는 대부분의 감광제

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.09.26

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[재료공학]uv-visible spectrophotometer, 굴절 실험

1.서론실험 목적우리는 재료의 광학적 성질에 대한 이해를 하고자 soda lime glass에 불순물(TiO2 +Fe2O3)의 농도를 1,3,5 mol%로 달리하여 증착시켜 각각 ... 3의 그래프를 그린다.9)불순물의 몰농도에 따른 굴절지수의 차이를 알아본다.실험 장비soda-lime glass에 TiO2 + 1, 3, 5mol% Fe2O3를 증착시킨 시편 각각 ... -ss)에 TiO2 +Fe2O3를 증착시켜서 농도에 따른 굴절지수의 차이를 알아보는 실험이었다. 이 실험을 통해서 우리는 용질의 농도에 따른 굴절률의 변화 실험을 통해 재료의 광학

리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.08.07

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SEM/EDS에 관한 보고서

기계재료실험:SEM 사전조사공주대학교 기계설계과 제 1조이종원 정효진 이창준박기성 이헌주 신동석2010.12.06목 차―――――――――――――――――――――1 ... 하는 방법을 사용하는데 반해, 전자현미경은 가시광선 영역이 아닌 전자(전자선)를 주사하여 확대하는 현미경을 말합니다. 자장의 전자선에 대해 렌즈의 작용을 실험으로 확인한 것은 1927년 ... 시켜 관찰하며, 진공증착이나 sputter등에 의해 시편을 도체화한다.?시료의 CoatingBeam에 의한 damage 감소와 2차 전자의 발생을 위함. 시편 material과 관측 부분

리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.01.03 | 수정일 2021.04.04

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[전자재료실험]열증발증착(Thermal evaporator)에 대하여

이나 다른 금속 물질들의 박막 형성에 많이 사용되는 이유는 다음과 같은 장점들이 있기 때문이다.- 증착률을 크게 할 수 있다.- 0.1eV 정도의 낮은 에너지로 기판에 손상을 주지 않 ... 는다.- 고진공이므로 순수한 박막을 얻을 수 있다.이에 반하여 진공 증착은 다음과 같은 문제점들을 내포하고 있다.- 스퍼터링에 비하여 정확한 합금성분 조절이 어렵다.- 기판의 in ... -situ cleaning 이 불가능하다.- X-선 손상이 발생한다.{박막두께아래의 그림과 같은 좌표계에서 증착시키고자 하는 물질 Q가 원점에 놓여 있다고 할 때, 열에너지를 받

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.10.22

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[반도체] rf 마그네틱 스퍼터링으로 증착된 Zno의 온도에 따른 변형거동

화시키는 것이므로 주로 C-축 방향으로 배향되었을 거라 예상된다. 따라서, X-ray 회절 실험을 추가한다면, 위의 성향들이 패턴에 반영 되어질것이다.증착된 박막의 두께는 증착 온도 ... -Al같은 n형 반도체의 경우 전도전자의 농도가 증가하게 되고, 또한 Al양이온이 전자의 산란에 영향을 주게 되므로 전자의 Mobility가 감소하게된다. 하지만 본 박막증착실험 ... 내지 이동거리의 비가 다를 수 있으므로 증착 온도가 변하면 도핑의 농도에도 영향이 있을 것이지만, 이 실험의 온도범위가 좁으므로 그러한 영향은 무시한다.세번째는 박막의 두께이

리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2005.01.13

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스퍼터링 실험실 설계

) 좋지 않은 현상으로 인식 -박막작성의 응용연구 1963년 - Bell Lab., Western Electric (DC Sputtering) 1966년 - IBM , 고주파(RF ... 하는 원자의 에너지는 ～50eV정도. 증착과 비교하여 대단히 높다.。Sputtering의 성막방향Sputtering의 장점 • 부착강도가 강하다. – ～50eV정도의 에너지로 입사 ... 빈도가 낮아 양산에 적합하다.이온빔 스퍼터링의 장치도Sputtering의 창치 구성로터리 펌프(rotary vane pump) 로터리 펌프의 내부구조 및 작동순서일반적으로 실험실

리포트 | 54페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.03.28

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sheet resistance

1.실험제목 :Sheet resistance2.실험목적 : 박막물질의 sheet resistance가 나오는 원리를 이해한다.3.실험기구, 장비, 재료 : 면저항 측정기4.실험 ... resistance)표면저항은 표면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용한다. 표면저항값은 Wafer, LCD, 태양전지, 연료전지, OLED 등 박막증착 후 박막 ... )로 탐침을 정렬시킨 것을 말한다. 이것은 이용반도체의 resistivity, 특히 그림과 같이 절연체 위에 형성된 금속박막의 저항율를 측정하는데 있어서 가장 널리 사용되는 방법

리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.24

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[화학실험]비정질벌크 및 박막제조(pre레포트)

1.실험 목적1)amorphous 박막제조에 필요한 다양한 이론진공의 원리와 진공장치박막공정기술2)amorphous bulk 제작 실험3)amorphous bulk를 이용한 박막 ... 제조 실험을 수행하고 익히는데 목적이 있다.2.실험 이론(박막제조)1)박막생성 과정1증발(evaporation) - source(target)에서 물질의 제거.2이동 ... 반도체"이라고 말한다.박막 증착에서 Sputtering이라 하면 Target원자의 방출과 그 원자의 Substrate에의 부착이라는 2가지 과정을 포함하는 개념으로 볼 수 있

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.02

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재료공학실험 (결정의 전기전도도)

1. 실험제목: 결정의 전기전도도2. 실험목적-금속의 박막과 반도체의 온도변화에 따른 전기전도도의 변화를 비교하고 전기전도도의 차이가 나는 이유를 실험을 통하여 검증한다.3 ... . 실험장비Si wafer, Al alloy, thermocouple, thermometer, hot plate5. 실험방법1Si wafer와 Al alloy thin film을 증착 ... 한 시편을 준비한다.2먼저 Al alloy thin film이 증착된 시편을 hot plate의 온도를 올려서 각각의 온도에서 의 전기전도도를 측정하여 이론치와 비교한다.3그 다음

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.07.01

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[공학기술]기계공학실험(마이크로 표면 측정)

실험: 마이크로 표면 측정1. 실험 목적본 실험에서는 마이크로 디바이스(micro-device, MEMS)에서 중요한 요소의 하나인 표면특성에 대하여 알아본다. 접촉각(c ... 방울과 고체면의 각도를 측정한다.2) Wilhelmy plate method3) Tilting method4) Captive drop method3. 실험 순서① 주사기 ... 한다.⑨ mode에 맞추어 측정한다.⑩ word를 누르면 자동으로 report 된다. 이를 표에 적는다.⑪ 5회 측정하고 계산된 평균을 적는다.4. 실험 결과 및 고찰◎ 실험결과

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.06.19

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