"박막증착실험"의 검색결과 입니다.

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cvd 결과보고서 알파 스텝 반도체 공정실험 박막 증착 전기화학 cv 작성 RF-magnetron sputtering PR두께

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"박막증착실험" 검색결과 1,021-1,040 / 1,111건

[CNT] CNT 가스 센서

은 30분 동안 하며, 약 200nm의 두께의 나노튜브 박막이 형성 된다. 이렇게 형성된 CNT 박막 sensor를 이용하여 NO2와 CH4 가스에 대해 sensing 실험과, 산화 ... 의 흡착에 대한 연구는 최근 실험적으로나 이론적으로나 활발히 진행되고 있다. 실용적 측면에서 보면, nanotube(나노튜브)는 흡착성으로 인한 저장성이 굉장히 좋기 때문에, 가스 저 ... rf bias voltage를 -150, 1 torr의 압력, 650℃의 온도에서 CNT가 증착 되어 진다. 총 CH4 가스의 유량은 84sccm으로 유지시켜 준다. 증착 시간

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.19

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[전자현미경의 미세구조와 관찰] 실험 5. 투과전자현미경(TEM)을 이용한 재료분석

실험 5. 투과전자현미경(TEM)을 이용한 재료분석1. 서론투과전자현미경은 주사전자현미경과 마찬가지로 전자를 이용하여 미세구조를 관찰하는 현미경이다. 그러나 주사전자와 다른 점 ... 높은 분해능을 가질 수 있는 것이다.TEM의 구조를 이해하면서 장비를 작동하는 것을 관찰하고 시편에 대한 미세구조관찰과 영상처리에 대한 결과를 얻어 보도록 한다.2. 실험방법투과 ... 전자현미경은 네덜란드 필립스의 제품으로 제품명은 테크나이 20을 이용하여 실험하였다. 시편은 두 가지로 첫 번째 시편은 우주공장에서 제조한 고무 공을 가지고 관찰하였다. SEM

리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2003.05.11

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압력측정방법

mm의 광축에 대해서 절출시킨 것인다. 즉,게루마늄 및 실리콘 반도체에 존재하는 피에조저항효과를 이용한 벌크 게이지와 실리콘을 적당한 내열성의 베이스 상에 박막상으로 진공 증착 ... 다.압력에 따른 부르돈관 운동의 정확한 해석은 매우 복잡하며, 현재까지 완전한 이론식은 확립되어 있지 않다. 그러나 다음과 같은 실험식을 이용하여 사용하고 있다.θ = 압력을 가 ... ,두께,물결무늬의 형태와 수, 재질의 탄성 계수등에 의해 달라진다. 변형에 대하여 이론적으로 확실하게 정립된 것은 없고, 다음은 Capsule형의 실험에서 결정되어진 식이다.여기

리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.03.12

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[바이오센서 시장조사]바이오 센서의 이해

Machining 이라고 부른다. 1980년대이후 Surface Micro Machining 기술로 기판을 손대지 않고, 기판위에 증착된 희생 박막을 에칭해서 박막으로된 3차원 구조물 ... tability)선택도 (selectivity)복귀도 (reversibility)신뢰도 (reliability)Biosensor응용분야: 의료, 환경, 식품, 군대, 산업, 실험연구센서 ... : ogy)- 기판 위에 도포된 박막층을 이용 - 빔, 베어링, 회전자 제작마이크로머시닝 기술마이크로머시닝 기술 (1)Photolithography가공기술- UV

리포트 | 66페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.06.10

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Soft Lithography 와 그의 특징, 종류 및 장․단점,PDMS 물질의 장·단점

Casting 또는 코팅방식으로 증착하고 Curing 후 떼어내면, 음각/양각이 바뀌어진 패턴 형상을 가진 PDMS 스탬프를 얻게 된다. Soft Lithography는 대면적 고분해능 패 ... 에서 기판으로 이미지를 전달 할 때 사용되는 에칭이나 증착의 등방위성이다. 이러한 단점 때문에 해상도를 50nm정도에서 낮추기 힘들어, 최근에는 고체 잉크를 사용하는 방법이 개발되어지 ... 의 장점은 비독성으로 투명하고 autofluorescence가 매우 적어 형광측정 등이 빈번한 생물학 실험에 특히 유용한 장점이 있다. 또한, 완성된 PDMS 표면을 플라즈마 처리를 하

리포트 | 9페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.02.21

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[공학]대체에너지(태양광 발전을 중심으로)

을 것으로 보고 있다. 기존에 시도되고 있는 저열화 태양전지 제작 방법으로는 수소 희석에 의한 i층 사용, 열선 증착법 (Hot wire CVD)에 의한 저열화 박막 증착에 관한 ... 부터 우리 한국에너지기술연구소와 한전기술연구원 공동으로 5.9kW급 인산염형 연료 전지 본체를 수입하여 국내 최초로 발전 시스템을 구성하여 성능 실험을 실시한 것이 효시이다. 이 ... 연구가 있으나 실험실 규모의 소면적에서 안정화 효율이 9.2 % (United Solar사) 정도가 최대이다. 아직은 비정질 실리콘 태양전지의 결정적인 문제인 열화를 해결할 수 있

리포트 | 32페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.08.31

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ESCA(XPS)원리와 특징

ESCA(XPS)의 장비 구성 및 역할(2)시료처리실 증착 : peak 위치를 보정 cutting : 오염된 고체표면 제거 Ion etching : 깊이 방향의 조성변화 조사 온도 ... , 물리연구, 우주실험10-9 ~ 이하극고진공 (Extremely High Vacuum)터보분자, 저온냉각, 크라이오 펌프전자현미경, 표면연구, 재료분석10-6 ~ 10-9 Pa초고 ... 에 따른 조성변화와 화학적 상태 변화를 분석하는 방법이다. 다층 구조로 된 박막이나 계면의 연구에 필수적인 방법으로 coating과 박막의 두께, 부동태의 피막, 세라믹스, 반도체

리포트 | 34페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.06.11

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발광박막의 제조 (Fabrication of Light Emitting Thin Films)

과 기판을 밀착시킨다.④ 증착용액을 기판위에 떨어뜨린 후 회전판을 회전시켜 용액을 도포한다.⑤ 도포된 용액박막을 oven에 넣어 건조시킨 후 꺼낸다.3. 결과 및 토의우리조는 실험 ... 발광박막의 제조Fabrication of Light Emitting Thin Films1. 실험목적발광특성이 있는 물질을 사용한 간단한 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 ... Convection Oven에서 10분간 건조시킨다.2-2-2. 진공증착법에 의한 박막증착① 세정된 기판 위에 shadow mask를 씌우고, crucible에 유기물 시료(Alq3

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.12.25

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[공학]이온교환을 통한 반도체 양자점 합성

제올금속화학증착법과 같은 기술을 이용하여 수 나노미터 수준의 양자우물을 기판위에 형성시키는 연구가 집중적으로 이루어져 왔다. 양자우물은 밴드갭이 서로 다른 두 개의 물질을 샌드위치 ... 과정화학적인 방법을 통해 합성된 양자점은 개별 입자 하나하나의 크기와 성질을 조절할 수 있기 때문에 반도체결정의 물리화학적인 특성을 연구하는데 매우 좋은 실험적인 모델로 이용될 수 ... 이루어져, 현재까지 가장 효율이 높은 조사는 MIT의 Bawendi 그룹에 의해서 만들어졌다. 이 소자는 TPD 분자박막을 정공의 이동층으로 Alq 분자박막을 전자의 이동층으로 사용

리포트 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.01.26

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[재료공학] Ag(Mg)/Si 의 증착 및 열처리

Ag(Mg)/Si 의 증착 및 열처리1. 실험목적Sputter를 사용하여 Ag(Mg)와 Ag(Co)를 증착하고 열처리를 통해 (100℃~500℃ 까지)각 박막의 비저항 ... , Precipitate 형성, 박막 내부에서의 Alloy element 의 확산거동을 확인하려는 실험2. 이론Thin Film기계가공으로는 실현 불가능한 두께 μm 이하의 엷은 막 ... 박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 ·초전도(超電導)박막 등이 진공증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기도금법, 기체

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.13

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[공학]전자재료

전자재료실험 예비보고서1.PVD (Physical Vapor Deposition ; 물리적 기상증착)과CVD (Chemical Vapor Deposition ; 화학적 기상증착 ... 의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 형태로 얻어지고 있으며, 이종 기판상 단결정 다이아몬드 성장이 가능해질 경우 극한 ... onductivity)우수한 밀착특성 (Excellent adhesion)PVD법을 크게 분류하면① 이온을 이용하지 않는 진공증착(evaporation), ② 이온을 이용하는 스퍼터링(s

리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.10 | 수정일 2024.01.14

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[공업화학실험] 박막재료의 표면 처리 및 식각 공정

{1.실험제목박막재료의 표면 처리 및 식각 공정2.실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 ... 그리고 (3) 식각공정으로 구분된다. 이러한 공정들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하 ... 여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3.실험방법(1) 산화막(SiO2)의 패터닝

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.01.20

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[학부실험] 재료의 산화실험

하여 시편의 (Δ, Ψ)실험치를 측정한다.㉡ 이론적으로 시편의 (Δ, Ψ)이론치를 계산한다.㉢ 실험치와 이론치를 비교하는 과정에서 원하는 물리량을 추출해 낸다.● 다층박막의 두께 측정 ... 여러 층으로 된 박막구조서 각 층의 두께라든지 특정 층의 광학적 성질을 측정할 때 사용되는데 여러 가지 다른 방법이 있기 때문에 실리콘 기판 위에 성장된 실리콘 산화막(단층박막 ... )의 두께를 단일파장 ellipsometer로 측정하는 경우를 예로 들고자 한다. 단층 박막이 있는 경우 p-파와 s-파에 대한 반사계수는 다음의 Drude 공식으로부터 구할 수 있

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.23

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금속산화물 및 질화물의 합성 및 특성 예비레포트

는 입자의 크기가 미세해야 하며, 좁은 입도분포를 가져야 한다.표 1에 지금까지 알려진 질화알루미늄의 분말합성법과 박막합성법(화학증착법)을 실었다. 분말의 합성법 중에서 공업적으로 많이 ... 금속산화물 및 질화물의 합성 및 특성1.실험목적알루미늄 착물을 이용하여 질화알루미늄(AlN)분말을 합성하고, AlN이 생성되는 반응과정, 즉 반응메카니즘을 추정해 본다.2. 이론

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.04.10

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[신소재]Nanostructured Materials

다양하게 이용하여 나노결정립 분말을 합성하거나 코팅할 수 있는 졸겔법 (Sol-Gel Methods ) 있으며, 기상반응인 화학증착법을 응용하여 나노결정립 분말 내지는 코팅체 ... 를 제조할 수 있다.물리적방법기계적으로 파쇄를 계속하여 결정립의 크기를 나노미터 영역으로 작게 할 수 있는 기계적 합금화법(Mechanical Alloying) 과 물리증착법을 이용 ... 하여 나노결정립 분말이나 박막을 제조할 수 있는 스퍼터링(sputtering)이나 증발법(Thermal Evaporation or Inert Gas Condensation)이 있

리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.01.12

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이력서, 자기소개서 (한글, 영문)

formation- Sputter : 박막증착- Furnace : 산화공정 및 열처리공정- Thick Film Tape Casting Machine : 후막필름 제작- Dicing Saw ... 이 력 서성명 :생년월일 :주소 :전화번호 :휴대전화 :전자메일 :경력 및 연구사항2007. 01. 01~ 현재 : 학국과학기술연구원(KIST) 박막재료연구센터 학연주요업무 ... : Wafer 절삭Evaluation & Measurement- AFM : 표면 구조 분석.- XRD : 결정 구조 분석.- 4-point probe : 박막의 면 저항 측정.

자기소개서 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.06.28

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[마이크로머신]MEMS란?

년대 이후 : surface micro machining 기술로 기판을 손대지 않고, 기판 위에 증착된 희생 박막을 에칭해서 박막으로 된 3차원 구조물을 만들게 되었다. MEMS ... 자를 가지고 실험을 하는데 한계가 있었다. 하루에도 수백개 이상 밝혀지는 새로운 유전정보들을 기존 방법들로 연구한다는 것은 너무나 많은 시간을 요구하기 때문이다. 그러나, MEMS

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.05

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[재료공학] 박막 제조법

3 박막 제조 방법1) 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근 ... 방법은 다른 코팅방법(예를 들면, 전기도금, 화학적 증착법)에 비하여 피복율이 낮은 편이나, 금속, 합금 및 복합물을 순도, 조직, 접착성을 조절하여 피처리물 표면에 피복시킬 수 있 ... 어서, 절단 혹은 절삭공구인 드릴, 다이 등의 고경도 표면층의 형성에 주로 적용됨은 물론 전자부품, 반도체, 태양열에너지, 광학 및 미장 등 다양한 분야에 응용되고 있다. 진공증착

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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[고분자화학 ] cage compound

하여 직경이 1nm 수준인 단중벽 나노튜브 (single wall nanotube; SWNT) 합성을 발표 1996년 Smalley 등은 레이저증착법(laser vaporization ... )등이 플라즈마화학기상증착법을 사용하여 글라스기판위에 수직배향된 고순도의 탄소나노튜브를 합성Cage type compound : Carbon nanotube성장특성 성장온도가 증가 ... 방출특성 기판에 수직배향된 탄소나노튜브를 이용한 전자방출특성은 기존의 실리콘 팁이나 DLC 박막 또는 탄소박막에서의 전자방출전압과 전자방출전류밀도에 비해 10-100배이상의 높은 값

리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.06.20

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[진공과학] 진공과학

이 안정되어 서서히 하강해 간다.이것은 증발원으로부터의 가스발출이 감소한 원인도 있지만, 증착된 알루미늄 박막이 진공장치내의 잔류가스를 흡착하는 펌프작용이 있기 때문이다.증발원이 점 ... 으로 하는 구의 표면에서 얻어지기 때문이다.웨이퍼가 큰 경우 증발원에서 기판까지의 거리는 일정하지 않고 웨이퍼의 중 심이 가장 증발원과 가깝게 되어 있다. 즉, 증착된 박막의 두께 ... 는 일정하지 않 게 된다. 작은 웨이퍼를 여러개 동시에 증착하는 경우 박막의 두께를 일정하게 하기 위해, 웨이퍼의 자전과 공전운동을 시켜 두께를 균일화 시키는 연구를 하 고 있

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.12.05 | 수정일 2018.01.08

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