"박막공학"의 검색결과 입니다.

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화공생명공학과 기계제어공학부 나노소자> 비할로겐 카이스트 반도체 화학공학과 gist 신소재 포스텍 대학원

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"박막공학" 검색결과 41-60 / 1,563건

고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착

. 31: 1326진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(결과보고서) PAGE \* MERGEFORMAT 1고려대학교 신소재공학부 ... AMSE305진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (결과보고서)실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비 ... 의 원리를 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.진공 증착 개요 및 원리박막을 제조하는 기술은 크게 물리적 방식을 이용하는 Physical Vapor

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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[재료공학]박막의 두께 측정방법

박막의 두께 측정 방법서문반도체 제조 공정 중 중요한 공정인 두께 측정에 대한 조사를 동하여 반도체 설계 시 표면의 거칠기와 두께 측정이 얼마나 반도체의 성능을 좌우 할 수 있 ... 는가에 대하여 조사하고 또한 종류는 어떤 것 들이 있는지에 관하여 조사한다.반도체 박막두께 인증표준물질최근 반도체 소자가 고집적화ㆍ소형화됨에 따라 반도체 소자 제조공정에서 사용 ... 되는 박막의 두께가 단일 원자층 수준으로 급격히 얇아지고 있다.반도체 소자는 실리콘 웨이퍼에 얇은 막을 입힌 후 그 표면에 식각이나 산화ㆍ증착ㆍ배선 등 다양한 공정을 거쳐 만들어지

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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[화학공학] 발광박막의 제조

실험 3. 발광박막의 제조Fabrication of Light Emitting Thin Films1. 실험목적발광특성이 있는 물질을 사용한 간단한 발광박막의 제조를 통하여 박막 ... 재료 제조 공정의 이해를 돕는다.2. 이론오늘날의 고부가가치형 재료 제조업에 있어 표면 개질이나 박막 코팅을 이용한 제조 기술은 제품의 특성 향상과 부가가치의 창조에 있어 매우 중요 ... 한 역할을 담당하고 있다. 박막제조기술은 산업의 쌀이라 일컫는 반도체 직접회로(IC), TFT-LCD를 대표로 하는 평판형 디스플레이(Flat Panel Display, FPD

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.07

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[박막공학] MBE, CBE, GSMBE

의 장단점♧ 장점 ◈ 초고진공을 사용하기 때문에 챔버내 잔류불순물의 부착이 매우적어 고순도의 박막을 얻을 수 있다 ◈ 증착속도가 대단히 느리기 때문에 단원자층 두께로 박막을 제어 ... 할 수 있다 ◈ 기판에 도달한 분자들이 충분한 표면이동을 할 수 있기 때문에 큰 면적에서 원자단위 정도의 균일하고 평탄한 막을 얻을 수 있다 ◈ 각 증착된 셀에 있는 기계공학적인

리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2004.11.02

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[디스플레이공학]OLED실험 박막제조공정

< 고분자 박막 제조 >1. 조 및 보고자- B-1조 /2. 보고 일자- 2006년 3월 28일 화요일3. 목적- 고분자 박막을 만들기 위한 고분자 유기물질의 용액 제조 ... 와 Spin coater 사용법을 익힌다. 이것을 이용하여 고분자 박막을 만들어 보고 박막 두께의 측정법에 대하여 알아본다.4. 실험 준비물① 용액 상태의 고분자 유기물질( 0.2 wt ... . 실험 방법- 고분자 박막 제조 공정① 스핀코팅 하기전 solution의 이물질 제거를 위해 필터(0.45㎛)를 이용해 한번 걸러준다.② 준비된 Glass를 스핀코터 위에 올려놓

리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2006.05.06

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(재료공학실험)진공증착기를 이용한 ohmic contact 형성용 metal박막증착

Ⅵ. 진공 증착기를 이용한Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비 보고서)2007170033신소재공학부이희준1. 실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험 ... 을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의기본개념을 이해한다.2. 실험 예비 문제1) 진공에 대해서 조사하시오.진공의 사전적 의미

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.22

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[공학]Thermal Evaporation법을 이용한 발광박막의 제조

Ⅰ. 서 론1-1. 실험 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.1-2. 실험 배경증발 증착된 박막 ... 은 1857년에 Faraday가 처음으로 얻었다. 그는 불활성 분위기 (inert atmosphere)에서 금속 wire를 폭발시키는 방법으로 박막을 형성하였다. 그 이후로 1887년 ... 에 Nahrwold가 백금 wire를 Joule heating시켜 박막을 얻었으며, 1888년에는 Kundt가 굴절율(refractive index)을 측정하기 위한 금속 박막을 얻

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.22

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[공학]박막재료의 표면 처리 및 PR제거

1. 실험제목박막재료의 표면 처리 및 PR제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 ... 그리고 (3) 식각 공정으로 구분된다.이러한 공정들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하 ... 여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 널리 사용되는 실리콘 산화막

리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.06

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[공학]박막특성 측정방법 예비보고서

. indentation load-depth curve & log plots of unloading curveNanoindentation은 최근의 경도 측정방법으로 박막과 같은 수 μ ... 의 한편, 박막의 코팅 방법이 다양해짐에 따라 코팅 공정이 계면접합특성에 미치는 영향이 더욱 중요시되고 있는데 코팅시의 입자에너지, 기체의 종류?압력 및 조성, 모재의 온도, 모재 ... 하여 계면접합특성이 향상되기도 한다.(1) Pull-off test핀을 접착제로 박막에 고정시킨 후 인장시험기 이용해 핀을 수직으로 당기는 시험법.박막이 모재로부터 분리된 순간의 응력

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19

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[공학]Chemical Method에 의한 박막증착 중 Electroplating(전기도금) 을 이용한 박막증착

Ⅰ. 실험 제목 : Chemical Method에 의한 박막증착 중 ElectroplatingⅡ. 실험 목적 : 화학적 방법에 의한 박막증착 중, 전기도금에 의한 방법으로 증착 ... 실험을 해보고, 그 과정과 원리를 이해한다. 그리고 실험의 기본 조건에서 변수를 달리하여 실험 후, 변수에 따른 박막두께 및 질량등의 차이를 비교하여 관찰해본다.Ⅲ. 실험관련 이론

리포트 | 19페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.11.14

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고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)

AMSE305진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (예비보고서)실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비 ... 의 원리를 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.배경 이론박막(Thin Film)이란?박막(Thin Film)은 기계가공으로는 만들 수 없는 두께 ... 가 마이크로미터에서 나노미터 정도를 가지는 얇은 막을 의미한다. 전자 반도체 장비나 광학적 코딩이 박막제조의 가장 주요한 활용방안 중 하나이다. 우리에게 친근한 예로는 거울을 들 수 있

리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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[공학]Thermal Evaporation법을 이용한 발광박막의 제조

Thermal Evaporation법을 이용한 발광박막의 제조1. 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕 ... 는다.2. 이론오늘날의 고부가가치형 재료 제조업에 있어 표면 개질이나 박막 코팅을 이용한 제조 기술은 제품의 특성 향상과 부가가치의 창조에 있어 매우 중요한 역할을 담당하고 있 ... 다. 박막제조기술은 산업의 쌀이라 일컫는 반도체 직접회로(IC), TFT-LCD를 대표로 하는 평판형 디스플레이(Flat Panel Display, FPD), 차세대 2차 전지 등 정보

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.22

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[공학기술]Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조

도진공증착은 스퍼터 증착법과 더불어 박막 작성의 기본 기술이다. 더욱이 최근에는 이온 어시스트 증착 등, 진공 증착과 이온 공학기술을 복합화 한 기술도 탄생했다. 여기서 기술 ... 1. 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.2. 이론◎ 박막제조공정의 개요Thin film ... 의 개요박막을 제조하는 기술은 크게 물리적 방식을 이용하는 Physical Vapor Deposition(PVD)와 화학적 방식을 이용하는 Chemical Vapor Deposition

리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.02

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[반도체공학] 박막증착의 방법

(1) CVD : Chemical Vapor Deposition의 약어로 화학적기상성장법을 말하는데 반도체기판상에 화학반응을 이용해 실리콘(SiO⁴) 등의 박막을 형성 ... 시키는 공정을 말한다. 반도체기판상에 박막을 형성시키는 방법인 CVD는 기판표면의 배선.전극 등에 다른 종류의 가스와 고체 또는 가스와 액체의 화학반응에 의해 생성되는 박막 퇴적물 ... 박막을 형성하는 기술이며, 이러한 화학반응을 일으키기 위해서는 에너지가 필요한데, 가해주는 에너지원에 따라 다음과 같이 분류된다. ● Thermal CVD : 기판을 가열

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.05.08

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[공학]반도체 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

■ 실험 제목- 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거■ 실험 목적- 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것 ... 이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.■ 실험

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.15

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[박막공학과 성분분석] 성분분석법 및 박막증착법

{성분 분석방법개 요재료물성의 요인해석을 할 때에 이용되는 분석에는 일반적으로 내부 물성분석 외에 표면층과 국재화한 미소부가 대상이 되고, 국소분석이 중요시된다.전자 및 이온, 광학, 진공, 레이저, 반도체 및 컴퓨터의 각종 기술이 최근에 눈부신 발전에 따라 이 15년..

리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.12.16

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[공학]Spin coating 법을 이용한 발광박막의 제조

Ⅰ. 서 론1-1. 실험 목적Spin coating 법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조공정의 이 해를 돕는다.1-2. 실험 배경스퍼터링(sputtering ... ) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며, 현재 는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. 스퍼터링 (sputtering)은 높은 에너지(> 30 eV ... 화되어 중성 원자로 target에 충돌 하기 때문이다.Ⅱ. 이 론박막이란 기계가공으로는 실현 불가능한 두께 μm 이하의 엷은 막을 말한다. 박 막의 형성에는 '세척(Cleaning

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.22

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[공학기술]Spin coating 법을 이용한 발광박막의 제조

1. 서론Spin coating 법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조공정에 대해 알아보았다. 박막 제조 방법은 액상법과 기상법으로 나누어지는데 기상법은 기상증착 ... 하다. 그리고 반도체 공정상에 많이 사용된다. 반도체는 기판이라는 크리스탈 위에 다른 물질을 스핀코팅해서 박막을 만들어서 소자를 만드는데 많은 반도체 업계에서 사용되고 있다. 일반 ... 하지 못하도록 물체를 잡고 있는 진공 튜브가 있다.이번 실험을 통해 광학현미경을 사용하여 기판에 증착된 유기발광박막의 표면 상태를 관찰하고 액상법 기술에 대해서 알아보고 스핀코팅법

리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.02

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[재료공학] 박막측정,기구

● 박막의 두께 측정 방법★ ESCA를 이용한 박막의 두께 측정박막이 ESCA로 관찰할 수 있는 깊이 이내의 두께를 가질 때에는 ESCA에 의한 박막의 두께 측정이 가능해진다 ... . 그림에서 S는 박막 F를 입히는 데에 사용한 기질이고 O는 박막 위에 생긴 덧층(overlayer, 주로 진공 중에 존재하는 탄화수소로 인한 불순물 층)이라고 하자.l_f와l_s ... 는 각각 박막과 기질을 구성하는 원자로부터 나오는 광전자 신호의 세기이다. 이륙각 θ를 변화시킴에 따라 채집 깊이가 달라지며 이 때 박막의 두께 d는 이륙각 θ와 다음의 관계에 있

리포트 | 28페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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[전자공학] 박막형성법과 그성질

박막형성법과 그성질1. 물리적 방법중 스퍼터법스퍼터 법은 박막이 되어야 할 재료의 target을 글로 방전으로 이온화시킨 가스를 충돌시켜 끌어낸 입자를 기판에 붙이는 방법 ... 으로 진공증착법으로는 붙이기 어려운 고융점재료의 박막 형성이 가능하다. 이방법에는 Diode sputtering, RF sputtering, Triode sputtering ... 방법중 CVD방법(1) 이론적 배경CVD법에 의한 박막 형성은 PVD법에 비하여 고속입자의 기여가 적기 때문에 기판 표면의 손상이 적은 잇점 이 있으므로 주목되고 있으며, 국제

리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.01.18

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