(재료공학실험)진공증착기를 이용한 ohmic contact 형성용 metal박막증착

소개글

1. 실험 목적
진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.

목차

1. 실험목적

2. 실험예비문제

본문내용

1. 실험 목적
진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.

2. 실험 예비 문제
1) 진공에 대해서 조사하시오.
진공의 사전적 의미는 물질이 전혀 존재하지 않는 공간이다. 진공상태는 인위적으로 만들어 내기가 상당히 힘들다.
진공상태를 만들기가 매우 어렵기 때문에 실제로는 1/1000mmHg 정도 이하의 저압을 진공이라 하고, 그렇게 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그때의 진공도라 한다.
진공전구의 진공도는 mmHg, 수신용 진공관은 mmHg, TV 브라운관은 mmHg 정도이다. 현재 인공적으로 도달할 수 있는 최고진공도는 mmHg 정도인데, 이때에도 당 약 3만 5000개나 되는 기체분자가 남아 있다고 한다.
진공을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 진공을 발생시키고 제어해야 한다. 진공펌프를 이용하여 진공상태를 만드는데, 진공도를 유지하기 위해서는 진공펌프를 계속 동작시키면서 작업하는 진공건조기와 같은 조립장치나, 전구·진공관처럼 배기 후에 용기를 밀봉하는 방법 등을 이용한다. 예를 들면 조립장치 용기로는 금속제품을 사용하는데, 접합부에는 기체가 방출하기 쉬운 고무 등은 사용할 수 없다. 진공관 내에 봉입한 전극 등 금속부분은 배기하면서 빨갛게 달군 상태에서 기체를 사전에 방출하는 작업을 한다. 관 내부에는 바륨·마그네슘·붉은인 등을 주재료로 하는 금속조각을 증발시킴으로써 관 벽에 막을 만들어 전극에서 나오는 기체를 이것에 흡착시킨다.
현재 전구나 각종 진공관을 비롯하여, 진공 속에서 물질을 증발시켜 그 속에 놓아 둔 물체 표면에 균일한 막을 입히는 진공증착법(眞空蒸着法) 진공증착(Vacuum plating) : 금속이나 비금속의 작은 조각을 진공 속에서 가열하여 그 증기를 물체 면에 부착시키는 일이다. 모든 물품에 적용할 수 있다는 특징이 있다.
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참고 자료

1), 2) 이영환, ‘진공의 기초와 펌프’, (주)에스티씨
http://100.naver.com/100.nhn?docid=143365
http://www.scienceall.com/dictionary/dictionary.sca?todo=scienceTermsView&classid=&articleid=254833&bbsid=619&popissue=
3) 안일신, ‘진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부,1999
http://100.naver.com/100.nhn?docid=143368
http://terms.naver.com/item.nhn?dirId=2213&docId=7962
A.ROTH, `VACUUM TECHNOLOGY`, NOTH HOLLAND
서울대학교 재료공학부 ‘박막공학’
http://krdic.naver.com/detail.nhn?docid=30606100
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http://cafe.naver.com/goodcoating/39726