"박막공학"의 검색결과 입니다.

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화공생명공학과 기계제어공학부 나노소자> 비할로겐 카이스트 반도체 화학공학과 gist 신소재 포스텍 대학원

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"박막공학" 검색결과 61-80 / 1,563건

[공학기술]박막증착 기술보고서<스퍼터링&CVD>

어 대부분의 Sputtering 공정에서 이용되고 있는 추세이다.박막증착이 특히 핵심적인 분야인 반도체 산업에서는 RF 스퍼터링 혹은 Ion beam 스퍼터링 기술을 이용해왔으나 최근 ... 제조 공정에 중요하게 적용되기 시작하였다. ALD는 향후 기존의 모든 CVD 박막 공정을 대체할 잠재력을 갖고 있는 공정으로 거의 모든 CVD 장비 업체들이 개발에 박차를 가하고 있 ... 는 기술이다. 반도체 소자의 집적도가 증가함에 따라, 보다 얇으며, 양질의 박막이 요구되지만, 기존 박막 형성 기술로써는 그 요구를 만족시키기에는 한계가 있으며, 이 한계를 극복

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.06.14

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[박막공학] CVD의 모든것

Ⅰ. CVD(Chamical Vapor Deposition) 의 정의와 원리1. CVD의 정의박막과학과 기술은 중요한 산업으로 성장해 왔으며, 많은 연구의 대상이 되어왔다. 이유 ... 는 박막이 반도체의 제조에 중요하기 때문이다. 박막은 물리기상증착(Physical Vapor Deposition)과 화학기상증착(Chamical Vapor Deposition)등 ... 의 다양한 방법으로 성장되며, 일단 형성된 박막은 어떤 형태로든 최종적으로 기판에 남아 제품의 신뢰성에 깊이 관여하게 된다. 표면위로의 물질의 수송과 증착에 있어서의 과정에 대한

리포트 | 12페이지 | 4,000원 | 등록일 2002.07.20

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[반도체공학]박막 재료의 표면처리 및 식각 실험

1. 실 험 제 목 : 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실 험 목 적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지 ... 는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막 ... 을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다

리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.27

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[박막공학 진공장비] 진공이론

과 같은 하전 입자 주위 공기 분자 충돌이 작아지므로 콘트롤이 용이 - AES, XPS 등의 박막표면 분석 장비- 표면상태에 매우 민감 Unit of vacuum - 일정 용기

리포트 | 51페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.07.08

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[디스플레이공학]OLED 박막상태에서의 UV흡수, PL측정

< 박막의 UV 흡수 측정, 형광 및 인광 PL 측정 >1. 조 및 보고자- B조 /2. 보고 일자- 2006년 4월 18일 화요일3. 목적- Solid film 상태에서 유기 ... 발광 물질인 BAlq, Ir(piq)2-(acac) 및 S-66 유기박막의 UV흡수를 측정하고 형광 및 인광 PL을 측정하여 용액 상태의 유기물질 특성과 비교하여 보자.4. 실험 ... 는다.⑥ Auto zero를 누른다.⑦ 측정을 시작한다.- 유기박막의 UV-Vis 흡수 측정 방법 -① UV-VIS-NIR Spectrophotometer를 켠다.② 컴퓨터를 켜고, 윈도우

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.05.06

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[표면공학]박막을 제작시 확산 방지를 위한 방안

< 금속재료공학 20013455 조성근 >박막을 제작하였을 때 막과 막 사이의 확산 방지를 위한 방안TiN 박막은 그 재료의 높은 융점과 낮은 전기저항도, 그리고 금색의 표면광택 ... 방지막으로서도 TiN은 많이 사용되고 있다. 이러한 TiN 박막의 증착은 보통 화학기상 증착방식과 반응성 sputtering에 의한 증착방식으로 크게 구분할 수 있는데, 이 때 ... 중요한 점은 증착시 공정변수(기판 온도, Ar/N2 ratio, 반응압력, 기판의 bias 유무)에 따라 증착된 TiN 박막의 물리적 성질이 크게 변화한다는 점이다. 일반적인 s

리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.22

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[공학기술]박막 공정,PVD,증착,진공증착,스퍼터링 보고서

박막 공정THIN-FILM PROCESS목 차1.박막공정6p1.1. 박막공정의 정의7p1.2. 박막공정의 과정7p2. 세척7p3. 증착8p3.1. 증착의 정의9p3.2. 증착 ... p5.3. APCVD50p6. 분자빔 결정법(MBE)51p7. 박막 증착의 예53p7.1. 실리콘 박막 트랜지스터(TFT)53p8. PVD와 CVD의 차이 비교55p9. 증착법 ... . 웨이퍼tep coverage, 그리고 불순물의 영향 등이 있다. thermal evaporation은 성막 속도는 크나 박막의 밀착 강도가 작고 균일한 박막제조에는 불리하다. 특히

리포트 | 70페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.08.16

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[공학기술]micro-structure(XRD,SEM), 박막증착ALD

■ 박막의 XRD와 SEM사진을 이용하여,① 두 시편의 micro-structure,② 기판과의 접착력, growth rate등을 이론적으로 설명하고③ nano grain s ... ize박막을 증착하기위한 방법을 제시하여라.■ micro-structure① XRD 해석XRD결과를 보면 R.T.와 400℃ 에서의 박막 둘 다 같은 각도(2θ=71~72도)에서 가장 ... 큰 피크가 뜬다. 또한 다른 피크들도 intensity의 차이만 있을 뿐 피크가 발견되는 각도가 거의 완벽하게 일치하는 것을 볼 수 있는데, 이를 통해 두 시편의 박막이 잘 입혀

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.06.15

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[신소재공학] Ellipsometry를 이용한 박막두께 측정

Ellipsometry를 이용한 박막두께 측정실험목표 Ellipsometry Ellipsometer Ellipsometry 의 특징 Polarization Ellipsometry ... 이 지닌 정보를 찾아내는 기술EllipsometerEllipsometry 의 특징측정환경에 있어서의 융통성 측정방법에 우수성 초박막 민감도(monolayer sensitivity ... 박막의 두께를 각각 측정한다 4.평균두께를 구한다 5.표준편차를 구한다{nameOfApplication=Show}

리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.05

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[재료공학] 초음파 분무 분해법의 종류와 박막증착

{Spray pyrolysis 법의 종류 및 그에 의한 박막 증착- Spray pyrolysis Technique and thin film deposition -I

리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.12

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[화학공학] 박막의 표면처리 및 식각공정(예비)

◈ 실험제목박막 재료의 표면처리 및 식각 실험◈ 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착공정 ... 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식 각하는 것이 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.◈ 실험내용가장

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.07.04

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[재료공학실험]전착 공정을 이용한 박막의 제조 및 특성 분석

전착 (electrodeposition)1) 전착의 원리와 다른 증착방법들과 비교하였을 때의 장단점은 무엇인가?전착의 원리전착도장은 전착도료 용액 중에 양극 또는 음극으로 침적한 피도물과 그 대극 사이에 직류 전류를 통하면 다음과 같은 현상이 동시에 일어나면서 피도물 ..

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.24

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[공학]Thermal Evaporation법을 이용한 발광박막의 제조-알루미늄(Alq3)

1. 서론1. 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.2. 실험적 배경Spin coating이나 진공 ... 의 경우는 용매에 고분자를 녹여 코팅 또는 프린팅 기술을 이용하여 형성을 하고 있다.2. 박막제조공정(Thin film process)의 개요Thin film process ... 으로 제조할 수 있는 박막재료는 금속, 합금을 비롯하여 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하다. 이러한 재료로 산업분야로 응용을 함으로써 소자

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.01.03

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[재료공학] 플라즈마,PVD,박막형성기구

할 수 있다.♣ 플라즈마의 응용분야(1) 신소재 합성 ☞ 종래의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 형태로 얻어지고 있 ... ~ 10배 정도 크다.3. 박막 형성 기구진공증착장치(Evaporator)진공증착장치는 기판위에 박막을 형성하는 기구로서, 주로 금속막을 증착합니다. 진공증착장치는 탄소나노튜브가 형성

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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[공학] Sol-gel법을 이용한 박막의 제조

..PAGE:1졸-겔법을 이용한 박막 제조2003.03.17나노세라믹센터 이선우요업(세라믹)기술원..PAGE:2서 론전자 세라믹스와 같은 정밀 세라믹스 재료가 높은 신뢰성을 가지 ... 가 된다.그리고 겔을 열처리함으로써 세라믹스를 만든다.(혹은 졸 상태에서 열처리 함으로 겔상태를 거쳐 분말 혹은 박막을 만든다.)..PAGE:4콜로이드 졸-겔법알콕사이드 졸-겔법금속 ... 으며, 최종 열처리된 박막에서 얻고자 하는 물질의요소들이 화학 양론적(stoichiometry)으로 결합된 것을 의미하는 균일성(homogeneity)을 가진 박막을 제조 할 수 있

리포트 | 27페이지 | 1,500원 | 등록일 2003.05.10

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[재료공학]SBT 박막제조와 누설전류 정전기용량 측정 결과 보고서

재료공학기초실험ⅢSBT 박막제조와 누설전류,정전기용량 측정 결과 보고서분반 :조 :학번 :이름 :■ 실험목적SBT 박막 증착 과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 온도 및 ... 었던 것 같다.■ 참고문헌- ZrO2 완충층과 SBT 박막을 이용한 MFIS 구조의 제조 및 특성에 관한 연구(2002. 2월) 공학석사 논문- 비 휘발성 기억소자용 SrBi2Ta ... 2O9 박막의 강유전체 특성, 조선대학교 재료공학과- http://www.icm.re.kr (재료연구정보센터) HYPERLINK " - http://home.pusan.ac.kr

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19

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[재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd)

분야저진공105 (대기압) ~ 102기계공학, 식품공학중진공102 ~ 10-1전자공학, 광학 진공야금고진공10-1 ~ 10-5반도체, 레이저 광학초고진공10-5 ~ 10-10반도체 ... 고 이로 인해 박막이 형성되게 된다. 이어서 기상의 부산물들은 reaction chamber를 빠져나간다.박막은 여러가지 방법으로 제조될 수 있는데, 그 중에서 무엇보다도 화학기상증착 ... 이 가장 널리 쓰이고 있다. 화학기상증착은 반응기체의 유입하에서 가열된 substrate 표면에 화학반응에 의해 고체 박막이 형성되는 것을 일컫는다. 이 공정은 어떤 박막을 형성

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.15

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[화학공학]각막의 처리 - 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험

1. 실험제목 : 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실험목적 : 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지 ... 는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각 ... 하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3

리포트 | 20페이지 | 10,000원 | 등록일 2005.10.31

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[화학공학] [실험보고서]박막의표면처리 및 식각 보고서

1. 실험제목? 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실험목적? 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각 ... 하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2005.06.14

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[화학공학] FT-IR 분광법을 이용한 고체박막의 특성분석

FT-IR 분광법을 이용한 고체박막의 특성분석Characterization of Solid Thin Films by FT-IR Spectroscopy1. 실험목적광학적 분석기법 ... , 물질의 구조, 전하농도, 박막층 두께 등을 조사하는 기술을 습득한다.2. 이론적외선 분광법은 물질과 적외선 사이의 에너지 교환 현상을 이용한 측정법이다. 특정 물질의 적외선 흡수

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.10.26

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