"대기압 플라즈마"의 검색결과 입니다.

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pecvd 태양전지 스퍼터링 펌프 원자 흡수 분광계 스퍼터링 박막증착실험 반도체 증착 Deposition bayard-alpert gauge icp-oes

"대기압 플라즈마" 검색결과 341-360 / 459건

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재료산화실험

대기압에서 개방상태의 석영 관(open tube)으로 하거나 기압을 상승시켜 닫힌 상태의 석영관(closed tube)으로 하는 방법이 있다. 또한 낮은 온도에서의 증착법(CVD ... - 스퍼터링 및 플라즈마 공정250~600도 - CVD(Chemical Vapor Deposition)600~900도 - 화합물의 열분해를 통한 산화 막 형성900~1,250도 - 열산화

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.06

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[반도체]진공증착

Plating)으로서 알루미늄 증착을 하는 방법입니다.진공증착(Evaporation Plating)에 있어서 진공이 무엇인지에 대해~진공과 자연진공은 공간의 기체압력이 대기압보다 낮 ... 영역으로 표현된다.진공의 구분압력(Pa)응용 분야저진공105 (대기압) ~ 102기계공학, 식품공학중진공102 ~ 10-1전자공학, 광학 진공야금고진공10-1 ~ 10-5반도체 ... 지마를 사용하지 않는 일반적은 PVD 즉 Evaporation이라고하는 저항가열식 증착 방법과2) 플라즈마를 사용하는 PAPVD(Plasma assited PVD)로 나뉩니다

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.26

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진공

완전한 진공 상태의 제작은 불가능합니다. 우주 공간의 경우도 미약하지만 물질의 입자들이 계속 움직이고 있기 때문에 기압이 지구상의 대기압의 약 10분의 1정도는 됩니다. 지구 ... 껍질의 표피두께도 안 되는 것입니다.또한, 진공이란 기체가 하나도 없는 상태만을 일컫는 것이 아니라 일반적으로 압력이 대기압(760Torr)보다 낮은 상태를 모두 진공이라고 합니다 ... . 즉, 압력의 정도를 나타내는 것으로 표준대기압보다 어느 정도 낮은 압력부터를 진공이라 할 수 있습니다. 기준이 없기 때문에 어느 정도의 압력부터가 진공의 시작이라고 단정하기

리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.01.07

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PDP.hwp

발생되는 PDP 플라스마는 대기압에 가까운 고 압력 글로우 방전이며, 이때의 전자온도는 0.8∼1eV의 값을 가지며, Ne 및 Xe 이온밀도는 각각 5×1010 cm－3 및 4 ... PDP1) PDP란플라스마 표시 평판장치(Plasma Display Panel : PDP)는 기본적으로 기체방전을 이용한 표시장치이다. 플라스마 표시 평판에 쓰이는 방전기체

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.10.16

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[박막공학]박막공정

법임. 종류 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD) 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD) 대기압 화학 기상 ... : PECVD가열기전극웨이퍼전극RF 동력 입력가스 배출구, 펌프가스 주입구 (SiH4, O2)플라즈마APCVD 시스템의 특징 Atmospheric Pressure CVD. 대기압 상태 ... inductlasma electron beam guns) 플라즈마를 이용한 전자 방출로 focusing을 임의로 효과적으로 통제할 수 있고 열 전자빔 타입보다 고압에서 사용 가능함.물리

리포트 | 43페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.12.29

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한양대학교 항공우주공학 탐구과제 연습문제 제2장

에 많이 사용되었으나 고공에서 대기압이 낮아지면 연소가 불안정해져 연소정지현상이 생기기 쉬우며, 기관의 시동시 과열 시동을 일으키기 쉽고 출구온도분포가 불균일한 단점이 있다.애뉼러형 ... -- 대기중을 비행하는 비행체에 흡입되는 공기는 공기흡입구에서 감속이 되면서 동압이 정압으로 전환되어 압력이 상승하게 되는데 이를 램효과라고 한다. 램효과로 고압상태의 공기에 연료 ... (Resist jet)가 있다.② 전자기 추력기: 추진제 가스가 이온화되어 플라즈마가 형성된다. 이 플라즈마를 전기장이나 자기장에 보내 가속을 시킨 후 분사하여 추력을 얻는다. 그래서

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.17

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PDP공정

를 이온화 시킨다. 이러한 과정을 반복하여 기체의 절연파괴가 일어나게 되는데, 이 과정을 avalanche 방전이라 한다. PDP 플라스마는 기체방전현상 중에서도 대기압에 가까운 ... 되고 있다. PDP(Plasma Display Panel)와 TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display), 새로운 형태 ... 는 Plasma Display Panel의 약자로 이름에서 짐작할 수 있듯이 Plasma를 이용하여 문자나 영상을 표시하는 장치이다. 특히 PDP에서는 글로우 방전을 사용하고 이러

리포트 | 18페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.05.15

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[신소재]진공증착법

게이지여러 가지로 개선된 게이지가 개발되고 있지만 대기압에서 초고진공까지를 측정할 수 있는 진공 게이지는 아직 없다. 따라서 진공 펌프의 경우처럼 진공 영역에 따라 2~3개의 게이지 ... , 분자 또는 그 소수 개의 집합체를 만들어 즉 넓은 의미로서 기화시키고, 다른 장소에서 결합 또는 응축시킨다.이 과정에서 만약 대기가 기화한 물질과 함께 존재한다면,-박막물질 ... hollow cathode discharge가 이용됨.② RF voltage 사용- electron field vector의 진폭과 방향이 다양하기 때문에 한 주기 내에서 플라즈마 내

리포트 | 102페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.09.13

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[공학]디스플레이 재료및 공정

이 대기압보다 낮을 때를 진공이라 부른다. 1대기압에서 0기압까지 용기 내의 압력을 만든다는 것이 진공장치의 설치목적이다. 그러나 그와 같은 상황을 성취한다는 것은 불가능하며, 그것 ... )PVD -Vacuum evaporation-sputtering4. 리소그래피공정(Lithography Process)1)식각 - Plasma etching진공공정(vacuum ... 에 가깝게 되도록 노력하는 것이다. 진공시스템은 보통작동압력에 의해 분류된다. 가장 널리 사용되는 분류방법중의 하나는 다음과 같다.구분(CLASSIFICATION)압 력 (PRESS

리포트 | 33페이지 | 2,500원 | 등록일 2006.02.22

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[환경공학]VOC 제거기술

VOCs 제거 기술(Control technologies)휘발성유기화합물질(VOCs, Volatile Organic Compounds)는 증기압이 높아 대기중으로 쉽게 증발 ... 대체 연료로 사용가능하며, 다른 제품 생산을 위한 연료로도 재사용할 수 있다.5. 플라즈마 처리법(Plasma technologies)방전된 플라즈마에 의해 생성된 고에너지의 전자 ... 되고, 대기중에서 질소 산화물과 공존시 태양광의 작용을 받아 광화학반응을 일으켜 오존 및 PAN 등 광화학 산화성 물질을 생성시켜 광화학스모그를 유발하는 물질의 총칭이다. 그러나

리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.13

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[에너지학] 「메탄 분해에 의한 수소 및 카본블랙 제조」 실험적 고찰

에서 대기압까지 운전이 가능하도록 압력조절 밸브를 설치하였으며, 플라즈마 발생은 6kW급 Magnetron에서 microwave 파장을 도파관(wave-guide)과 E-H tuner ... 다. 특히 500 torr 이상의 대기압 상태에서 플라즈마를 이용하면, 거의 대부분의 메탄이 수소와 카본블랙으로 분해될 것으로 예측된다.{Fig. 2. Plot of methane c ... 블랙을 얻는 실험을 실시하였다. 실험에 이용된 장치를 Fig. 1에 나타내었다. 플라즈마장비로는 독일의 iplas사의 6kW Microwave Plasma System인

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.11

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산염기 균형 교육자료 & 제세동

TensionsDecreased PiO2Hypoxemic Hypoxia원인 고도- 대기압 감소 (PB) suffocation (질식) Abnormal gas mixture Oxygenation 영향 ... ) : non-volatile - fixed acid Hemoglobin (fixed acid 중 80% 작용) Plasma proteins (fixed acid 중 15% 작용

리포트 | 104페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.04.30

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[유체역학] 플라즈마

되고 있다. 관내를 저압으로 하여 만들어진 플라즈마는 플라즈마CVD, 플라즈마중합, 등방성에칭, 표면 개질 등에 사용되고 있다. 또한 대기압 중에서 작동시키면 열플라즈마가 생겨 초미립자 ... 를 전리기체 또는 플라즈마(plasma)라고 한다. 우리들 주변에는 네온사인이나 형광등, 번개 등의 발광체 정도 밖에 볼 수 없으나 이러한 것은 극히 일부분의 원자들만이 전리되어 있 ... ℃)으로 하면 된다. 이러한 플라즈마를 고온 플라즈마(high temperature plasma)라고 한다. 지상에서 핵융합에 의해 새로운 에너지원을 개발하려는 연구에서는 1억℃라는

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2005.03.26

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[공학기술]박막

Injector발열체HeaterCVD 장비의 주요 ConceptAPCVD 시스템의 특징 Atmospheric Pressure CVD. 대기압 상태에서 화학적 증기 증착을 함. (760 ... 속도와 높은 균일성의 특징이 있으며, 폴리 실리콘에 사용LPCVDLPCVD 구조PECVD 시스템의 특징 Plasma-enhanced CVD 플라즈마 원리를 이용하여 화학 기상 ... throughput.Single wafer다양한(신재료) 재료 대응 가능. 장비구조 복잡(LDS등).MOCVD증착속도 빠름. PVD + CVD 저온화 가능.PECVD(Plasma

리포트 | 38페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.05.23

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진공펌프의 종류와 용도

진 공 펌 프서 론우리는 주변에서 진공이란 말을 많이 들으면서 살고 있습니다. 넓은 의미로 정의하면 대기압보다 낮은 기체의 압력 상태를 말하는데 가까이에서 많이 접하고 있다. 높 ... 다. 실제로 반도체 재료인 실리콘 10ppm 정도의 붕소를 첨가하면 전기 전도도가 약 1000배정도 증가한다 이 정도면 대기중에서 수소분자를 만나는 확률이다. 따라서 이런 경우에는 오염 ... 용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태이다. 음식건조, 증류, 박막 증착,플라즈마 공정, 네온사인 등이 이영역의 진공대에서 운용되고 있다. 고진공은 10-3~10

리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.10

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반도체

System에서의 건식공정으로 폐액 또는 대기오염 등의 공해가 없다③ 막의 밀착성이 우수- 진공증착법 이나 습식도금에 비해 밀착력이 50∼100배 강함④ 높은 Throwing Power ... 를 띤 입자의 수는 약 10-5정도이다. 따라서, negative glow를 cold, quasi-neutral 플라즈마라고 한다.② The sheath regioncathode s ... 이 가장 널리 활용되고 있으며, 주로 BMS, UBMS, CAD 등의 PAPVD 기술로 제조된다. EB-RIP 기술로 TiAlN을 제조한 예도 있지만 Ti과 Al의 증기압 차이

리포트 | 16페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.02.06

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[재료공학]박막의 증착 공정

의 기체압력이 대기압보다 낮은 상태, 즉 분자밀도가 약 2.5×1019 분자/cm3 보다 적은 상태를 의미한다. 지상으로부터 고도에 따른 진공도의 비교는 아래 그림과 같다.진공 ... 게 구별할 수 있다. 이 중에서 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(plasma etching) 및 증착 (PECVD ... 효과, 입자의 장거리 비행가능, 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성이 있다.진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체

리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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[용접]용접공학

를 대기압의 분위기에서의 공정으로 주변 공기가 플라즈마 제트 불꽃내에 혼입되어 결과적으로 기공도가 높고 부착율이 약해진다- 피막재에 따라 산화물 또는 질화물이 형성되어 불순물이 섞인 ... 9 용접 관련 공정개요n산소 절단n아크와 플라즈마 절단n워터제트 절단n자동 형상 절단n용사n접착n플라스틱 접합n복합재료와 세라믹 접합n예열 및 후열 처리n기계적 응력 제거산소 ... 로 절단한다.아크와 플라즈마 절단아크와 플라즈마 절단공정들은 전극과 가공물 사이에 아크열로 금속을 용융하여 절단 또는 제거하는 일종의 열절단법이다.기본절단법으로1. 산소 아크 절단

리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.16

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[박막] PECVD에 대하여

- APCVD (Atmospheric Pressure CVD) : 대기압 (1 atm) - LPCVD (Low Pressure CVD) : 수십 mTorr~ 수십 Torr (3 ... -Type Continuous Processing APCVD상압(대기압 700 mTorr)의 반응 용기 내에서 단순한 열에너지에 의한 화학반응을 이용하여 박막을 증착하는 방법장점 ... Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPlasma Enhanced Chemical Vapor Deposition1. Introduction 2

리포트 | 18페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.11.02

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[진공]진공도

진공도에 따라 진공 만드는 법게이지상의 진공도는 절대진공도와는 역으로 대기압을 0으로 놓고 완전진공을 760mmHg 또는 76cmHg로 표시하는 것으로, 일부 부르동 게이지의 눈 ... 다. 진공 영역별로 구분되는 공정 및 펌프의 기종은 아래의 표와 같다 .진공 영역진공도 범위적용되는 공정진공펌프의 기종저진공(Rough Vacuum)대기압-1Torr진공 흡착이송 ,인쇄 ... 에서 우수한 성능을 발휘합니다. 그러나 배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로, 로타리 베인펌프 등 다른 보조펌프와 연결하여 사용되고 있다.7. 수봉식 펌프여러개의 날개를 가진

리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.20

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