진공펌프실험

소개

진공펌프실험 레포트입니다

목차

1. 진공의 정의

2. 진공펌프
- 진공펌프의 기능
- 진공펌프의 종류
- 진공의 응용 분야

3. 펌프의 성능 계산
- 펌프의 배기량
- 압축비
- 펌핑 속도
- 컨덕턴스 (C , Conductance)

4. 실험장치와 방법
- 구성
- 실험방법

5. 결과데이터

6. 결과그래프

7. 토의 및 결론

본문내용

1. 진공의 정의
- 진공(Vacuum)의 어원은 비어있음(empty)을 의미하는 그리스어로부터 유래한다. 실제로는 공기 중에 노출되어 있는 진공용기가 사용되므로 몇 가지의 진공장치에 의해 공기가 제거 됨 으로써 진공상태를 얻게 된다. 따라서 진공용기로부터 제거되는 공기 양에 따라 진공의 정도가 결정된다. 기체의 표준상태는 온도 0℃, 압력 101325(1 기압 = 760)의 상태를 말하며 진공(Vacuum)은 통상 대기의 상태보다 낮은 압력의 기체로 채워진 공간내의 상태이며 진공도에 따라 저 진공(압력100 이상인 진공), 중진공(압력 100~0.1인 진공), 고진공(압력 0.1~인 진공), 초고진공(압력~), 극 고진공(이하인 진공) 으로 구분 된다. 저 진공은 기체 상태의 분자 수량이 진공용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태이다. Food process(음식 건조, freeze drying : 커피 등의 향은 그대로 두고 수분만 제거하는 방법), 증류(distillation), 박막 증착(sputtering, LPCVD : low pressure chemical vapor deposition), 플라즈마 공정, 네온사인 등이 이 영역의 진공대에서 운용되고 있다. 고진공에서는 기체의 평균자유행로가 진공용기의 크기보다 긴 상태이기 때문에 분자간의 충돌보다는 진공용기 내벽과의 충돌이 많다. 진공관 제작, CRT(cathode ray tube), 이온주입(ion implantation), 증착(evaporation), 전자현미경 등이 이 영역의 진공대에서 운용되고 있다. 초고진공내의 분자밀도는 상당히 떨어진 상태로 분자가 진공용기 내부 표면에 단일층(monolayer)을 형성하는 시간이 충분히 오래 걸려 여러 가지 표면에 관한 실험을 할 수 있는 상황이 된다. 우주관련 연구, 물질연구, 표면분석, 가속기, 핵융합 연구가 초고진공을 필요로 하고 있다. 저자에 따라서는 저진공과 고진공 사이에 중진공(medium vacuum)을 그리고 초고진공 다음에 극고진공(extremely high vacuum, EHV)을 두는 경우도 있는데 큰 의미는 없다.

참고자료

· 없음