여러가지 분석장비

소개

여러가지 분석 장비에 대해서 정리된 레포트 입니다.
EDS., 전자 현미경. ESCA, XRD, NMR, ICP등등

목차

제목 : 전자현미경

제목 : EDS(Energy Dispersive X-ray Microanalysis:에너지 분산형 X선 측정기)를 이용한 원소분석

제목 : ESCA(Electrom Specroscopy for Chemical Analysis)

제목 : XRD(X-ray Diffraction)

제목 :NMR(핵자기 공명 분광학)

제목 : 원자현미경

제목 : X-ray Fluorescence Analyzer(X-선 형광분석기)

제목 : Atomic Absorption Spectrophotometer(원자흡광분광광도계)

제목 : ICP-OES(Inductively Coupled Plasma-Atomic Emisson Spectrometer:유도결합 플라즈마 원자방출 분광기)

본문내용

제목 : 전자현미경
간단설명 : SEM 이란 10-3Pa이상의 진공 중에 놓인 시료표면을 1~100nm 정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광선, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등의 분석을 행하는 장치이다.

적용 : 주로 금속 등의 도체, IC 산화물 등의 반도체, 고분자재료나 세라믹 등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다. 주로 2차전자가 시료의 형태관찰, 반사전자나 X선이 성분분석에 사용된다. 금속, 광물, 무기물, 세라믹, 시멘트, 유리, 플라스틱, 고무, 석유, 도료, 의생물, 반도체IC, 집적회로, 전자부품등의 형태관찰, 혹은 품질관리에 2차전자상, 원소분석에 반사전자상이나 X선화상으로 응용이 가능하다.

제목 : EDS(Energy Dispersive X-ray Microanalysis:에너지 분산형 X선 측정기)를 이용한 원소분석
주사전자 현미경의 큰 장점중의 하나가 시편이 장착되는 시료실이 크다는 것이다. 따라서 주사전자현미경은 시편의 크기에 그다지 제약을 받지 않을 뿐만 아니라 파장분산형 X선 측정기(WDS)또는 에너지 분산형 X선 측정기(EDS)등의 부가 장치들을 현미경에 장착시킬 수 있는 확장능력을 갖게 된다.
최근 대부분의 주사현미경에서 중요한 분석 장치로써 자리를 차지한 에너지 분산형 X선 측정기에 대해 간단하게 설명하고자 한다. EDS와 WDS는 다 같이 시편상에서 발생되는 미약한X선을 검출하여 시편을 이루고 있는 원소의 정성 및 정량분석, 성분별 분포맵핑(X-ray Mapping), 특정라인에서의 원소 농도 프로파일(Line Profile)등을 할 수 있으나 EDS는 WDS에 비해 속도, 간편성, 다원소 동시분석등의 장점이 있어 주사전자현미경에서의 가정 보편적인 분석 장비로서 위치를 확고히 하고 있다.

참고자료

· 없음