AES ( Auger Electron Spectroscopy :오제이전자분광기)

소개글

AES ( Auger Electron Spectroscopy :오제이전자분광기)에 대해 간단히 소개

목차

1. AES의 원리
2. AES의 장치
3. AES의 용도

본문내용

1. AES의 원리

AES는 시료의 표면에 특성 전자빔(3~25eV)을 입사하여, 방출하는 Auger 전자를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 Electron이 사용되어 도체 및 반도체 또한 절연체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있으며 Electron Beam의 크기가 조절 가능하므로 국소영역의 분석 또한 가능하다. 또한 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 대한 분포도를 측정할 수 있다

2. AES의 장치
3. AES의 용도

표면에서 방출되는 전자를 직접 검출하므로 표면 민감도가 매우 뛰어나 고체표면의 원소 뿐만아니라, 전자구조에 관한 정보를 직접 얻을 수 있는 가장 유력한 수단이다.

① Semiconductor Devices : Shorting problems, Contact contamination, Cleaning residue
② Magnetic Storage Media : Surface particles, Interdiffusion of layers

참고 자료

없음