MEMS 란

소개

MEMS 가 무엇인지 , 그 역사와 사용분야, 그리고 앞으로 발전 가능성 있는 분야까지 자세하게 기술되어 있다 .

목차

1. MEMS 란 무엇인가 ?
* MEMS 의 역사
* MEMS 의 가공기술
* MEMS 의 장점
2. MEMS 의 사례 , 제품
3. MEMS 의 활용방안

본문내용

1. MEMS 란 무엇인가 ?

MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems ) 란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착 되었다. 한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수 mm에서 수 nm까지에 이르며 수 cm크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.
마이크로 머신의 아이디어가 제창된 초기에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계에 대한 구상도 있었다. 허나 지금 기존의 기계를 단순히 축소해야 마이크로 머신이 되리라는 생각은 이제 과거의 것이 되었다. MEMS 란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동하는 시스템을 일컫는다.
뿐만 아니라, 깊은 식각을 하는 벌크 마이크로 머시닝 기술(bulk micromachining)과 LIGA 기술(Lithographie, Galvanoformung, Abformung) 등이 개발되었다. MEMS기술은 응용 분야에 따라 생물, 의학, 의료 분야 응용의 Bio/medical MEMS, 광학 응용의 Optical MEMS, 통신 분야 응용의 RF MEMS, 소형 전력쪽의 Power MEMS, 우주 분야 응용의 Space MEMS 등으로 분류된다.
최소 수 mm(1mm=10-3m)이상의 기존 기계 부보다는 작고, 나노(1nm=10-9m)영역의 분자 소자나 탄소 나노 튜브보다는 큰 영역에 속하고 있으며, 이보다 더 작은 영역은 NEMS (Nano Electro Mechanical Systems)로 분류한다.

참고자료

· [RF MEMS THEORY, DESIGN and TECHNOLOGY - Gabriel M. Rebeiz]