[공학기술]Spin coating 법을 이용한 발광박막의 제조

소개

Spin coating 법을 이용한 발광박막의 제조자료입니다.
전자재료 실험중 하나로 Spin coating 법을 이용한 박막 제조입니다.
예비자료 입니다.

목차

1. 서론
2. 이론
* Spin coating법
* 회전 코팅 법
* Spin Coating에서의 결함
3. 실험방법
4. 참고문헌

본문내용

1. 서론
Spin coating 법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조공정에 대해 알아보았다. 박막 제조 방법은 액상법과 기상법으로 나누어지는데 기상법은 기상증착과 화학 증착으로 나누어지고 액상법은 spin coating와 용액코팅법으로 나누어진다. 스핀코팅은 물체를 회전 시켜서 물체 위에 올려진 액체를 원심력 때문에 밖으로 밀려나게 하는 방법으로 물체에 임의의 액체를 코팅하는 방법이다. 사용하는 액체의 점도가 적당히 있어야 한다. 순수한 물은 점도가 없어서 이러한 스핀코터에 사용할수 없고, 끈적이는 액체가 가능하다. 그리고 반도체 공정상에 많이 사용된다. 반도체는 기판이라는 크리스탈 위에 다른 물질을 스핀코팅해서 박막을 만들어서 소자를 만드는데 많은 반도체 업계에서 사용되고 있다. 일반적으로 스핀 코팅 법에 사용되는 스핀코터는 약 1000rpm에서 10000rpm 정도 사이를 사용하고 가변저항으로 회전수를 조절할 수 있다. 중심에는 물체를 회전하는 동안 밖으로 이탈하지 못하도록 물체를 잡고 있는 진공 튜브가 있다.
이번 실험을 통해 광학현미경을 사용하여 기판에 증착된 유기발광박막의 표면 상태를 관찰하고 액상법 기술에 대해서 알아보고 스핀코팅법에 의한 발광재료들을 조사해본다.

참고자료

· 없음