TEM 이란?

소개

투과전자현미경(TEM : transmission electron microcope)

목차

투과전자현미경(TEM : transmission electron microcope)
주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)
현미경 시료제작법

본문내용

투과전자현미경(TEM : transmission electron microcope)은 생물, 의학, 재료 등 거의 모든 자연과학과 기술의 연구에서 필수적인 도구로 활용되고 있는 데, 이는 전자현미경의 해상력이 뛰어나서 미시적인 내부구조를 고배율로 확대하여 직접 관찰할 수 있고 마이크론 이하의 국부적인 영역의 화학조성까지도 정확하게 분석할 수 있기 때문이다. 재료의 모든 물리, 화학적인 성질은 미세조직과 직접적으로 연관되어 있어서 조직을 구성하고 있는 각종 상과 결함의 종류와 밀도, 형상과 크기 및 분포, 화학조성 그리고 국부적인 편석 등에 대한 정확한 계측을 필요로 한다. 물질의 미세조직과 관련하여 고분해능(High Resolution) 투과전자현미경(HRTEM)으로는 원자크기 정도의 미세조직과 약 1,000nm3 이하의 작은 부피를 구성하고 있는 미세조직 구성성분에 대하여 구조와 화학성분을 정량화할 수 있다.
TEM에서 가속된 전자빔을 얇은 시료에 조사하면, 고에너지 전자는 원자와 충돌하여 산란하면서 시편을 통과한다. 이 과정에서 전자빔은 재료와 무관하게 원래대로 진행하거나 산란과정을 겪게 된다. 두께가 1,000Å 이하로 얇은 경우, 시편에 의해서 산란되지 않은 전자빔은 초기 에너지나 진행방향의 변화가 없으므로 시편에 대한 정보를 가장 적게 갖고 있다. TEM에서 투과빔이 이에 속한다. 시편을 통과하면서 많은 양의 전자는 원자핵의 쿨롱전위(coulomb potential)나 혹은 전자각(electron shell)과 반응하여 산란된다. 첫 번째 경우를 탄성산란(elastic scattering)이라 한다. 탄성산란으로 입사전자의 진행방향이 변화되지만, 에너지의 감소는 없거나 무시할 수 있을 정도로 적다.

참고자료

· 없음