[신소재]진공증착법

소개

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목차

[1] 서론

[2] 본론
1. 박막제작에 필요한 진공장치
2. 진공증착법
6. 진공증착의 원리
7. 진공증착의 분류
8. 진공 증착막의 특징
9. 진공 증착 장비의 종류와 특징
Ⅸ. Thermal Evaporation
3. 스퍼터링 법
4. 플라즈마 프로세스
6, 막두께 측정법

[3]결론

본문내용

박막의 제작기술은, 전세기 혹은 그 이전부터 존재하고 있었는데, 특히 최근에 매우 일반화 되어 대학, 기업, 연구소 등의 연구실이나 생산현장에 보급되어 왔다. 현대의 선단공업 기술은 박막기술은 빼놓고 이야기 할 수 없게 되었다. 특히, 반도체 공업, 표면처리기술 등에의 박막기술의 진출은 눈부시다. 여기에 대응하여 교육 현장에도 박막의 제작과 이에 관련한 기술은 물리학의 실험기술의 일부로서 어느 정도 큰 비중을 점하게 되었다.
박막의 제조방법이라는 것은 실제로 매우 다양하게 많다. 절단, 연마, 롤 가공등 기계적이라 불리어오는 방법, 도금이나 기상성장, 액상성장 등의 화학적방법 등이 요구에 대하여 이용되고 있다.
박막 기술은 표면코팅을 통한 구조재료의 응용과 같은 전통적 연구 분야에서 현대에 들어서 고집적을 요하는 반도체 재료, 의료용 micro machine, 대면적, 평판형 디스플레이 등의 첨단 산업의 기초 기반 기술로써 새로이 자리매김 함으로써 그 응용범위를 점차 확대해 나가고 있다.

1. 박막제작에 필요한 진공장치
(1) 물리적인 방법에 의한 박막 제작
물질에 열에너지나 역학적 에너지 특별한 경우는 전자기적 에너지를 가해 공간 중에서 원자, 분자 또는 그 소수 개의 집합체를 만들어 즉 넓은 의미로서 기화시키고, 다른 장소에서 결합 또는 응축시킨다.
이 과정에서 만약 대기가 기화한 물질과 함께 존재한다면,
-박막물질의 직진이 방해되고, 공간 중에서 이슬과 같은 미립자가 형성되고 말아 같은 모양으로 편평한 박막의 형성이 어렵게 된다.
-공기분자가 박막 속에 들어가 불순물이 된다.
-공기 중의 활성분자가 박막물질과 화합물을 형성한다.
-기화 혹은 증발을 위한 가열장치나 증발물질과 공기분자가 반응하여 화합 물을 형성하여 정상의 증발이 불가능하게 된다.
등의 장애를 발생시킨다.
여기서 공기분자를 박막제작을 위한 장치에서 배제할 필요가 생긴다. 이것을 배기라 하고, 공기가 1기압 이하의 압력으로 배기된 상태를 진공이라 부른다. 그래서 진공을 만들기 위한 장치를 진공펌프, 진공으로 배기되는 용기를 진공조라 부르고, 진공펌프와 진공조를 일괄하여 진공장치라 부른다.

참고자료

· -http://huniv.hongik.ac.kr/%7Egmlee/homework/plasma.htmhttp://swofs.kerihome.re.kr/dosik/03%20optical%20fiber/034%20of%20manufacture/034%20of%20manufacture.htm
· -http://blog.naver.com/tungsten1?Redirect=Log&logNo=120013473307
· -http://quanta.kyunghee.ac.kr/physics/98Undergraduate_Theses/sws/tf301.HTM
· -http://onreport.co.kr/data/304/F303304.html
· -http://microsensor.kyungpook.ac.kr:8080/upload20/files/deposition.hwp
· -http://www.wsautoma.co.kr/product/procuctpump.htm
· -http://www.autoelec.co.kr/next-board/data/board2/D1314.hwp
· -책 : 박막프로세스의 기초(저자 이형직, 윤상옥, 최두진)