"진공증착법"의 검색결과 입니다.

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cvd sputtering 금코팅 박막 증착 진공증착 IGZO 증착 스퍼터링 sputtering pvd

EasyAI “진공증착법” 관련 자료

+[박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅등록일 2023.03.07 | 총 4,115자 | 9페이지 | 3,500원
+photolithography 및 ..등록일 2024.10.27 | 총 8,811자 | 11페이지 | 3,000원

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"진공증착법" 검색결과 1-20 / 1,075건

진공여과증착법을 이용한 SWNT-PdOx계 수소센서 (Hydrogen sensor of SWNTs-PdOx system using the vacuumfiltering deposition method)

한국센서학회 김일진, 박기배

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.18 | 수정일 2025.03.28

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진공여과증착법을 이용한 SWNT-PtOx계 마이크로 톨루엔 가스센서 (Micro toluene gas sensor of SWNTs-PtOx system using the vacuum filtering deposition method)

한국센서학회 김일진, 이영욱, 최시영, 한상도, 전영집, 최창규, 한창수

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.19 | 수정일 2025.03.28

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진공증착법으로 제조된 PVDF 유기박막의 초음파 응답 특성에 관한 연구 (A Study on the Ultrasonic Response Characteristic of PVDF Organic Thin Film by Physical Vapor Deposition Metho)

한국진공학회 박수홍

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.04 | 수정일 2025.03.06

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진공증착법으로 제조된 PVDF 유기박막의 압전 센서응답 특성에 관한 연구 (A Study on the Piezoelectric Sensor Response Characteristic of PVDF Organic Thin Film by Vapor Deposition Method)

본 논문의 목적은 진공증착법을 이용한 β-PVDF(β-Polyvinylidene fluoride) 유기 박막의 제조와 제조된 유기 박막의 압전 특성을 연구하는데 있다. 진공 증착 ... 은 증발원 온도 270℃, 인가 전계 142.4㎸/㎝, 진공도 2.0×10-5Torr에서 실시하였다. 기판온도의 증가에 따라서 β형태의 PVDF 함유량은 72%에서 95.5 ... output voltage increased from 1.39V to 7.04V. 한국진공학회 Applied Science and Convergence Technology 박수홍

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.05 | 수정일 2025.06.09

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진공증착법을 이용한 P(VDF-TrFE) 공중합체 박막의 압전특성에 관한 연구 (A Study on the Piezoelectric Characteristic of P(VDF-TrFE) Copolymer Thin Film byPhysical Vapor Deposition Method)

본 실험은 P(VDF-TrFE) 공중합체 박막을 제조하고 압전특성을 검토하는데 있다. 또한 압전 특성 분석에서 압전 계수 d33와 압전 전압 계수 g33는 증착 온도가 260 ... ℃의 온도에서 P(VDF-TrFE) 공중합체 박막을 제조 할 때 최적의 특성이 나타남을 알 수 있었다. 반면에 증착온도가 320℃에서 증착한 경우에는 각각 25.3pC/N, 680.3 ... oefficient(g33) 680×10-3V·m/N. 한국진공학회 Applied Science and Convergence Technology 박수홍

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.06.05 | 수정일 2025.06.09

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진공증착법으로 제작한 CdS 박막의 열처리효과

한국재료학회 박태성, 진교원, 김영호, 한은주, 김근묵

논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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진공 증착법에 의한 Terbium Complex 박막의 제작 및 특성 연구

한국유화학회 표상우, 김영관, 손병청

논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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다중소스 진공증착법에서의 대면적 박막균일도에 관한 전산모사 연구

한국재료학회 김창규, 이원종

논문 | 11페이지 | 4,200원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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진공 증착법에 의한 Eu(TTA)3(phen) 박막의 제작 및 특성 연구

한국유화학회 황장환, 권오관, 김영관, 손병청

논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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플라즈마, glow방전, 진공증착법

: 열 플라즈마의 고온, 고활성을 이용하여 기상반응으로 합성된 입자를 급 랭시켜 초미립자로 합성○ 플라즈마 화학 또는 물리 증착 : 플라즈마를 이용한 기능성 막을 생성○ 열

리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.04.04

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[신소재]진공증착법

을 방출하는 가이슬러관을 사용하여 식별한다.⑤ 두께 측정(검사)☞ 진공 증착 System에 사용되는 두께 측정(기록)장치☞ 광학적 두께 측정 방법: 이 방법은 Substrate ... HCD에서 전자는 내부가스의 이온화, 이차전자 방출로 생성되며 낮은 전류와 높은 전압을 특징으로 한다.☞ 아크 증발계: TiN의 증착에서 Ti 음극에 아크 방전법을 이용하기도 한다 ... 해 나가고 있다.- 본론 -1. 박막제작에 필요한 진공장치(1) 물리적인 방법에 의한 박막 제작물질에 열에너지나 역학적 에너지 특별한 경우는 전자기적 에너지를 가해 공간 중에서 원자

리포트 | 102페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.09.13

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[진공증착] MOCVD법

는교? 5. MOCVD는 어디에 쓰이는교?1. MOCVD가 뭐라고예?Metal Organic Chemical Vapor Deposition (유기 금속 화학 기상 증착법) 화학 기상 ... 증착(CVD) 방법 중의 한가지로, 유기 금속 증기를 열 분해 반응시켜 반도체 기판상에 금속 화합물을 퇴적 증착 시키는 방법. 주로 화합물 반도체 제조 시 널리 사용된다.2 ... . MOCVD는 어떻게 작동하는교?3. MOCVD는 뭐가 마음에 들고 안 드요?* 마음에 드는 점 - 반응 온도를 상당히 낮출 수 있어 낮은 온도에서의 증착이 가능. - 공정이 간단해서

리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.07.06

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[광학실험] 진공증착법에 대한 박막제작

진공 증착법에 의한 박막제작실험 목적진공 증착법으로 박막을 직접 제작함으로써, 박막 프로세스에 대한 기초를 습득한다.2. 실험 기구시료: Al 고리, 텅스텐 와이어 보트 세척 ... 박막 제작 방법PVD(Physical Vapor Deposition) 진공증착법, 스퍼터링법, 이온빔증착법, 레이저빔증착법 등등 CVD(Chemical Vapor Deposition ... ) 플라즈마 CVD, Photon CVD 등등진공 증착법진공 중에서 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주 보고 있는 상태표면에 박막을 형성하는 방법.진공 증착법의 장점장치전체

리포트 | 25페이지 | 2,000원 | 등록일 2005.05.02

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[박막] 진공 증착법에 의한 박막 제작

Vaccum Deposition method에 의한 박막 제작1.실험목적진공 증착법으로 박막을 직접 제작함으로써, 박막 프로세스에 대한 기초를 습득한다.2.실험 기구(1)시료 ... 반응성 이온 도금법이 개발되어 있다. PVD 법에는 진공 증착법, 스퍼터링법 등이 있다.③진공 증착법진공 증착법이란 진공 중에는 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주보고 있 ... 이 일어나기 때문에 이를 억제하기 위해서이다. 도금과 진공 증착과의 차이는 일반적으로 도금은 금속표면에 내식성이나 아름다움을 주기 위해 판을 전해질 수용액 속에 담가서 행하는 것

리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.15

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[박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅

이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가. 실리퍼 웨이퍼 기판 위에 진공증착법을 이용한 탄소코팅과 이온 스퍼트링법을 이용한 금코팅을 성막함에 있어 진공증착과 이온스퍼터링의 원리 ... 물 등에 충돌하게 되면 그 에너지를 잃고 기판이 아닌 다른 곳으로 가서 증착될 수 있다. 그래서 추가로 다른에너지를 가하여주는 다른 PVD법들에 비하여 가장 높은 진공도를 요구 ... 붙으면서 증착이 이루어지게 되는 것이 스퍼터링법이다. 스퍼터링법이 진공증착 및 이온 플레이팅과 다른 가장 큰 차이점은 증착시킬 소스 물질에 운동량을 직접 전달한다는 점이다.그림 3

리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07

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photolithography 및 etching 공정 레포트

는다- Chamber내를 고진공으로 맞춰놓고 증착을 진행 한다(그렇기에 메인벨브 닫고 벤트벨브 열어준다)- 대기압으로 다시 낮춰서 넣어줘야 하기 때문에 벤트벨브에서 질소를 넣어준다. ... - 진공이 풀리면 벤트벨브를 끄고 질소 넣는거 멈춘다.- Chamber를 열고 타겟교체와 증착을 원하는 물질을 넣고 저진공을 잡고 고진공을 잡는다. (2시간 소요)- 진공도 확인 ... 실리콘을 녹인후, 단결정 잉곳으로 성장한다.- 단결정 성장방법 - 쵸크랄스키법, 플로팅 존법- 다결정 성장방법 - . Bridgman, Casting, EMCb) Slicing

리포트 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2024.10.27 | 수정일 2024.11.08

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[신소재공학실험]진공 및 박막 실험

하여, 진공 속에서 물질을 증발시켜 그 속에 놓아 둔 물체 표면에 균일한 막을 입히는 진공증착법(眞空蒸着法)이 개발되어 렌즈의 반사방 지막이나 반사경 제조 등 광학공업에 획기적인 기술 ... ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 · 초전도(超電導)박막 등이 진공증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기도 금법, 기체 또는 액체 속의 산화법 ... 한 공 증착법가장 기본적인 방법으로, 대부분의 도금법은 진공증착을 기본으로 한다. 증착이라고 부르는 현상은 기체 상태로 증발된 원자나 분자 혹은 입자가 낮은 온도의 다른 물체(기판

리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.08.28

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금오공대 신소재 반도체공정 시험 정리

증착 공정 ? 금속 배선 공정 ? EDS ? 패키징 공정웨이퍼 제조는 모래에서 추출한 규소를 고온으로 가열하여 쵸크랄스키법으로 용융된 Poly Si을 단결정 Si 잉곳으로 성장 ... 전자가 눈덩이처럼 불어나는 avalanche가 발생하여 전자, 양이온 라디칼, 원자로 이루어진 plasma가 형성된다.PVD, CVDPVD는 물리 기상 증착법(Physical ... 하여 녹여 증착하고, 전자빔을 이용하는 e-beam evaporation은 전자빔을 국부적으로 조사하여 기화시켜 증착하는 방법이다. 고진공에서 진행하여 불순물 오염이 적고 저온 공정이

리포트 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2024.11.08

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스퍼터링(Sputtering) 이론레포트

에 비해 성분 조절이 용이하다.e. 하향 증착, 수평 방향 증착이 가능하다. 이는 상향 증착만 가능한 진공 증착(Vacuum Plating) 및 Ion Plating 기법과 차별 ... 화되는 장점이다.f. 진공 증착 기법에 비해 박막의 순도가 높다.2) Sputtering 기법의 단점a. 증착 속도가 다소 느리다.b. Ar 이온이 타겟 표면에 충돌 시, 표면과 화학 ... 반응을 하여 화합물 층을 형성, 증착 속도에 영향을 줄 수 있다.c. 고전압을 사용하므로 다소 위험성이 있다.d. Ion Plating 기법보다 박막의 부착력이 떨어진다.e. 진공

리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.05.21

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2-1. AMOLED Tooling Process & 막 두께 측정 report (A+)

AMOLED 소자 및 공정실험 캡스톤 디자인1. 실험 제목 : Tooling Process & 막 두께 측정2. 실험 목표- 진공의 이해 & Chamber의 사용법- Z ... level에 따라 Vacuum을 나누어 놓은 표그림 3 Glove Box그림 2 Ante Chamber그림 1 Load Lock ChamberOLED를 증착할 때는 High ... vacuum에서 공정을 한다. 왜냐하면 증착을 할 때 Thermal evaporation을 하는데, 그 때 균일한 증착을 위해 High vacuum에서 공정을 한다. 표에 의하면 High

리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.07.30 | 수정일 2023.08.18

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