MOSCAP_기술기획_및_웨이퍼분할보고서

목차

1. 요약(Executive Summary)
2. 소자 개념 및 동작 개요
3. 목표 규격(Target Specifications) @125°C
4. 스택 및 재료 사양
5. 동작 조건 & 알고리즘
6. 신뢰성(보유/교란/내구) 및 가속 기법
7. 웨이퍼 분할(DoE) 제안
8. 테스트 플랜 및 메트릭
9. 모델링 및 코너 가이드
10. 일정 및 리스크
11. 수락 기준(Acceptance Criteria)

부록 A. 추천 계측 조건

본문내용

1. 요약(Executive Summary)
본 문서는 다음 스택을 기반으로 한 비휘발성 MOSCAP(트랩 기반) 소자의 기술 기획과 초도 양산 전(Pre-Pilot) 웨이퍼 분할(DoE) 계획을 제시한다.
스택: Metal / SiO₂(1.0 nm) / Al₂O₃(블로킹 1.8 nm) / SiB(z)Al(y)O(x) (5 nm, x=1.75,
y=0.06, z=0.10) / Al₂O₃(1.8 nm) / SiO₂(터널 2.2 nm) / Si
목표 특성(@125°C): 유효 트랩 에너지 Et_eff = 2.1–2.4 eV, Read 20–35 ns, Program
0.4–0.8 μs/step, 데이터 보유 1–5 년.

2. 소자 개념 및 동작 개요
• 저장 메커니즘: SiBAlOx(=SiB(z)Al(y)O(x)) 트랩층 내 깊은 트랩(Et_eff 2.1–2.4 eV)에 전하 저장.
• 구조적 역할: 상부/하부 Al₂O₃는 블로킹/배리어 역할, 터널 SiO₂는 프로그램/소거 시전하 주입 통로.
• 동작 시나리오: Program(양/음 펄스) – Verify 반복, Read 는 저전압·단시간(20–35 ns) 감지.
• 고온 조건(125°C)에서의 보유: Arrhenius 가속 인자 기반으로 1–5 년 타깃.
권장 구동 스케치: Program 은 0.4–0.8 μs 단 펄스(step)로 Verify-While-Program(VWP)
알고리즘 적용. Read 는 20–35 ns 의 저전압 펄스(예: |Vread| ≤ 0.2–0.5 V) + 감지 증폭기로 비파괴 판독

참고자료

· 없음