MEMS개론 기말과제

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mems개론 기말과제입니다

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이거 마지막에 c가아니라 d로 계산해야됨

개미는 무게가 작기에 관성도 적고 자신들의 무게와 구조에 비해 물성이 매우 튼튼하다. 하지만 코끼리는 그 반대로 무게가 많이 나가기에 관성도 크고 자기의 무게를 지탱하기 위해 다리도 매우 두꺼운 형태를 지닌다. 이렇게 무게 구조 물성에 따라 Scale에 따른 구조물의 차이가 극명하기 때문에 MEMS공정을 통해 작은 Scale의 특징을 파악해야 할 필요가 있다.
 

Pattern definition, additive process(성층, 증착), Subtractive Process(식각)

Bulk micromachining은 500μm ~ 1mm의 두께의 실리콘 기판 자체를 파내거나 특정 공정을 통해 원하는 구조체를 만드는 것이다.
Surface micromachining은 반도체 공정에서 많이 사용되며 실리콘 기판을 손상시키지 않고 그 표면에서의 얇은 막만으로 만드는 것. 차이는 Silicon 기판을 손상시키느냐 아니냐이다.

참고자료

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