SIMS( Secondary Ion Mass Spectroscopy )

목차

1. SIMS의 정의
2. SIMS의 종류
3. SIMS의 원리
4. SIMS의 장단점
5. SIMS의 활용분야

본문내용

SIMS의 정의
Secondary Ion Mass Spectroscopy
이차 이온 질량 분석기
SIMS의 정의
SIMS의 종류
Dynamic SIMS
Statics SIMS
SIMS의 원리
일차 이온의 생성과 운반
스퍼터링(Sputtering)
질량 분석

<중 략>

SIMS의 장단점
장점
- 극소량의 시료도 분석 가능
- 마이크로 단위의 미세분석 가능
- 시료에 화학적 전처리 과정 필요 없이 분석 가능
- 불활성 기체를 제외한 거의 모든 원소를 분석가능
단점
- 정확한 정량화의 어려움
- 복잡한 질량 스펙트럼에 따른 질량 간섭
- 고가장비
SIMS의 활용분야
반도체 박막, 나노 박막 등의 시료 표면의 극미량 원소

참고자료

· 네이버 블로그 http://blog.naver.com/nanomate?Redirect=Log&logNo=110003145362
· 이차이온질량분석기의 원리와 지질학적 응용 , 최변각 (서울대 지구과학교육학과)
· 그림( 한국기초과학지원연구원 부산센터 )
· 디지털 타임스 http://www.dt.co.kr/contents.html?article_no=2007083102011257630002