SIMS( Secondary Ion Mass Spectroscopy )

최초 등록일
2008.05.03
최종 저작일
2007.09
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SIMS( Secondary Ion Mass Spectroscopy )라는 이차이온질량분석기의 원리와 특징을 조사 발표

목차

1. Contents
2. SIMS의 구성
3. SIMS의 원리
4. SIMS의 장단점
5. SIMS의 활용분야

본문내용

3. SIMS의 원리

1. 일차 이온의 생성과 운반
– 듀오즈마트론과 일차이온발생장치에서 주로 O¯, Cs + 일차이온이 생성
되고 가속 전압에 의해 일차칼럼을 통과하여 시료로 운반됨

2. 스퍼터링(Sputtering)
- 고속의 일차이온이 고체시료 표면에 충돌하게 되면 충돌에너지에 의해서
결합된 입자들이 끊어지고 시료에서 방출
- 방출된 입자 중 일부는 이온의 형태인데 시료에 전압(4.5~10kV)을 걸어주면
방출된 이차이온들이 질량분석 장치를 향해 가속됨

참고 자료

- 네이버 블로그
http://blog.naver.com/nanomate?Redirect=Log&logNo=110003145362
- 이차이온질량분석기의 원리와 지질학적 응용 , 최변각
(서울대 지구과학교육학과)
- 그림( 한국기초과학지원연구원 부산센터 )
- 디지털 타임스
http://www.dt.co.kr/contents.html?article_no=2007083102011257630002

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