Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조 결과

소개

Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조 결과

목차

1. 서론
2. 이론
3. 실험방법
4. 결과 및 토론
5. 결론
6. 참고문헌

본문내용

Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.

2. 이론
전자 장치 중에는 MOS형 트랜지스터와 같이 Bulk 결정의 맨 끝 표면층만을 활성층으로 사용하는 것과
Planar 트랜지스터 또는 집적회로 디바이스와 같이 Bulk 결정 내에 PN접합이 만들어지며 그 끝부분이
결정 표면에 나타나는 구조로 되어있는 것 등 결정표면의 특성이 디바이스 전체의 특성에 기여하고
있는 예가 많다. 표면층의 특성은 외부의 분위기에 좌우되기 때문에 디바이스의 특성이 사용 중에 불안
정하게 되는 경우가 있고 이것을 방지할 목적으로 결정표면을 절연물의 얇은 막으로 보호하는 방법이
채택되고 있다. 그러나 Bulk 결정과 절연 막과는 재료물성도 다르고 또 절연 막의 형성법에 따라서는
bulk 결정 표면층 자체의 구조와 특성이 영향을 받아 원래의 표면층과는 다른 성질을 나타내는 것도
많아 결정과 절연 막과의 경계성질을 제어하는 것은 대단히 어려운 기술로 되어있다.

<중 략>

물에 잘 녹아드는 수용성 이물질을 제거한 후 유기용매에 잘 녹는 유기 물질을 제거하기 위해서이다. 슬라이드 글라스의 한 쪽 면에만 증착을 하게 되므로 한쪽면만 닦아주면 된다. 그러나 우리는 양쪽면을 다 닦아주었다. 이물질을 제거한 슬라이드 글라스를 장치에 설치하면 된다. 장치를 사용하기 위해서 먼저 내부에 호일로 코팅을 해야한다. 왜냐하면 장치내부에 호일로 코팅을 하지 않으면 알루미늄 증기가 장치 밖으로 나가 증착이 잘 되지 않기 때문이다. 호일로 코팅을 할 때에는 장치와의 빈틈이 없게 꼼꼼히 붙여야 한다. 그러나 미리 다 코팅이 되어있어서 우리가 실험을할 때 이 과정은 생략을 하였다. 실험에서 사용한 장치의 원리는 알루미늄금속에 전류를 걸어주어 저항을 이용하여 가열해 증기로 만들어 붙이는 방법이다. system display에서 장치의 전원을 켜기 위해서는 먼저 증류수와 공기를 장치로 넣으면 불이 들어오는데 이 때 전원을 켤 수 있다. 전원을 켠 후에 R/P를 켠다. 그 후에 F/V를 켜는데 이 두 개를 동시에 켜면 pump가 양쪽에서 빨아들여서 진공 pump오일이 역류하게 되므로 주의해야 한다.

참고자료

· 전자재료공학 / 청문각 / 1996.1.10 / 이문희, 김광배, 박동욱 / 204p~239p
· 전자재료공학실험 / 학문사 / 1990.2.10 / 이동현, 손병기 / 113p~115p
· RF 및 마이크로웨이브 전자/Matthew M. Radmanesh/홍릉과학출판사/2005/3~32
· 마이크로웨이브 법을 이용한 ZnS/CdS나노입자형성/나은경/울산대학교 대학원/2007/6~13, 29
· 명화학대사전 6/김창홍 외 6/도서출판 세화/2001/326~327, 439~440, 595~596
· 전기 전자 재료/진경시, 신재수/기전연구사/2008/137