[발광디스플레이 실험] Sputtering

소개

발광디스플레이 실험 보고서입니다.

목차

실험 목적
실험 이론
실험방법
실험 결과
실험 고찰

본문내용

실험 고찰 :
1. Diffusion pump가 Rotary pump와 연결되어 있는 이유는 Diffusion pump의 경우 자체 pumping 능력이 없기 때문이다.
2. 두 개의 valve를 동시에 열게 되면 낮은 압력의 펌프 장치 쪽으로 오일이 역류할 수 있으므로 조심해야 한다. 디퓨전 펌프의 오일 뿐만 아니라, 로타리 펌프에도 오일이 있으므로, 조심해야 한다.
3. 디퓨전 펌프의 chiller를 반드시 켜 가열의 위험을 막아야 한다. Chiller를 켠 경우 손으로 만져보면 아래 부분(오일의 가열부)은 뜨겁고 윗부분은 냉각되어 차가운 것을 느낄 수 있을 정도이다.
4. Argon 기체를 사용하는 이유는 비활성이며, 높은 질량을 가지고 있으므로 플라즈마 형태에서 높은 운동에너지를 가질 수 있고, 이로 인해 쉽게 metal의 증기화를 시킬 수 있기 때문이다.
5. 기체 유입 시 굳이 10-2torr 근방에서 평형을 이루게 하는 이유는 플라즈마의 형성이 10-2torr에서 가장 잘되고, sputtering은 10-3torr 정도에서 가장 잘 되기 때문이다. Diffusion pump의 작동 범위에 10-2도 포함 되므로 진공장치에 문제가 발생하지는 않는다.
6. 10여분을 기다려 pre sputtering을 하는 이유는 니켈 메탈 표면에 불순물이 있을 수 있으므로, 이를 제거하는 것이다.
7. venting valve의 모양은 육각의 모양에 각 면마다 원추형으로 구멍이 뚫려 있는데, 이것은 유체 역학 적으로 공기의 흐름이 분산되게 되어 chamber 내로 한번에 공기가 들어가는 것을 막아준다.

참고자료

· 없음