[물리학과][진공 및 박막실험]진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 결과 보고서

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2020.09.23
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소개글

"[물리학과][진공 및 박막실험]진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 결과 보고서"에 대한 내용입니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험결과
3. 결론
4. 토의
5. 참고문헌

본문내용

1. 실험 목적

(1) Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착해보자.
(2) Sputter 장비의 증착 순서를 익히고, 각각의 부품 역할을 이해하자.
(3) ITO 박막의 특성을 결정하는 조건(증착압력, RF power 등등)에 대하여 알아보자.

2. 실험결과

3. 결론

Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착을 할 수 있다. Sputter 장비의 증착 순서를 익히고, 각각의 부품 역할을 이해할 수 있었다. 또한 ITO 박막의 특성을 결정하는 조건(증착압력, RF power 등등)에 대하여 알 수 있었다.

참고 자료

https://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%A7%84%EA%B3%B5
http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=miyp1991&logNo=186133851
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