ITO 증착에 관한 이론보고서

소개글

최종 보고서 에 앞서 작성한 이론보고서 입니다.
에이쁠 받은 조 입니다.

목차

1. ITO
2.Sputtering 장치
3. UV/Vis Spectrometer (ITO film 투과도 측정방법)
4. 4-Point Probe (ITO film 저항 측정방법)
5. 실험 방법

본문내용

5. 실험 방법

1) ITO Film 제작
- Roll Sputter를 이용하여 ITO Film을 제작한다.
만드는 순서 : 저진공 → 고진공
→ Ar 주입
→ Power 공급
→ Ar+가 Target- 로 충돌
→ Target은 ITO 원자가 Roll 형태의 Film 위로
증착됨

2) ITO Film 투과도 측정
- UV-Vis Spectrometer 이용
기기 조작 방법 : 장비를 ON → 약 1분후 프로그램 실행 →
프로그램 실행 후 텅스텐 램프 ON
(10∼15분 예열) → Spectrum 측정

3) ITO Film 저항 측정
- 4-Point Probe 이용

참고 자료

http://www.icm.re.kr/ 재료 연구 정보센터 재료DB>실험노트
http://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%9D%B8%EB%93%90_%EC%A3%BC%EC%84%9D_%EC%82%B0%ED%99%94%EB%AC%BC(ITO)
http://cafe.naver.com/hynsr.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=153(UV/Vis Spectrometer)
http://four-point-probes.com/index.html(4-Point Probe)