9. 4-point probe

소개

전자재료및실험

목차

1. 실험 제목
2. 실험 목적
3. 실험 방법
4. 실험 준비물
5. 이론적배경
6. 실험 결과
7. 실험 고찰
8. 실험 결론
9. 참고문헌

본문내용

- . 표면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)이란?
표면저항은 보통 단위 ohm/sq로 표시됩니다. 일반적인 선저항은 두개의 probe로 임의의
거리에 대한 저항을 측정하지만, 표면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게
됩니다.
이때 쓰이는 Probe가 Four point probe이고, 보통 탐침은 mm간격으로 일렬 구성된
probe를 사용하며, 4개의 탐침으로 전류와 전압을 이용하여 저항을 구한 후, 표면저항 단위
인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용합니다. 표면저항값은 Wafer, LCD, 태양
전지, 연료전지, OLED 등 박막증착 후 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰입니다.
V/I = ohm
Ohm × C.F = ohm/sq
2. 비저항(ohm·cm)이란?
비저항은 물질의 고유저항으로서 순수물질의 경우에는 그 비저항값이 많이 알려져 있지
만, 혼합물의 경우 여러가지 방법에 의하여 구할 수 있습니다. 4-point probe방식의 표면저
항측정기를 이용할 경우 박막의 두께를 알고 있어야 하지만, 다음식으로 구할 수 있습니다.
ohm/sq × Thickness(cm) = ohm·cm
3. 금속의 박막두께측정도 가능한가?
금속의 박막두께를 측정하는 데에는 여러가지 방식이 있지만, 면저항값을 이용한 금속박
막두께 계산법을 소개합니다. 위의 비저항(ohm·cm)값을 이용하는 것인데, 이는 비저항값을
알 수 있는 순도 높은 재료의 박막일 경우에 쉽게 이용할 수 있습니다.
Thickness(cm) = ohm·cm ÷ ohm/sq
4. 보정계수(Correction Factor)란?
면저항값을 계산하기 위해서는 저항값(ohm)에 보정계수를 적용해 줘야합니다. 보정계수
는 Sample size와 박막의 두께 그리고 측정 시 온도까지 3가지 계수를 이용하여 산출됩니
다. Sample size 계수는 40mm이상의 직경의 Sample일 경우 4.532이고

참고자료

· http://www.google.co.kr/search?hl=ko&gbv=2&gs_sm=e&gs_upl=9485l268l0l3743l8l8l0lll0l655l23l4.l2l0&q=%EB%B0%98%EB%8F%84%EC%B2%B4%20%E%B3%B5%EC%0%95%20%EC